उद्योग बातम्या

ASM साठी SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर हा केवळ एपिटॅक्सी सिस्टीममध्ये बदललेला भाग नाही. हा एक प्रक्रिया-गंभीर वाहक आहे जो थर्मल एकरूपता, वेफर स्वच्छता, कोटिंग टिकाऊपणा, चेंबर स्थिरता आणि दीर्घकालीन उत्पादन खर्चावर प्रभाव टाकतो.

CVD TaC कोटिंग कव्हर हे फक्त एक संरक्षक झाकण किंवा लेपित ग्रेफाइट घटक नाही. उच्च-तापमान अर्धसंवाहक प्रक्रियांमध्ये, ते चेंबरची स्वच्छता, थर्मल स्थिरता, आंशिक जीवनकाळ आणि प्रक्रियेची सुसंगतता प्रभावित करू शकते.

PECVD उत्पादनामध्ये, अनेक कोटिंग आणि डिपॉझिशन समस्या प्लाझ्मा पॉवर किंवा गॅस केमिस्ट्रीपासून सुरू होत नाहीत. ते वेफर्स ठेवणाऱ्या वाहकापासून सुरुवात करतात.