सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड

VeTek सेमीकंडक्टर सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड हा प्लाझ्मा एचिंग उपकरण, सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइडमध्ये एक महत्त्वाचा सिरेमिक घटक आहेCVD सिलिकॉन कार्बाइड) नक्षीकाम उपकरणांमधील भागांचा समावेश होतोफोकसिंग रिंग, गॅस शॉवरहेड, ट्रे, एज रिंग्स इ. घन सिलिकॉन कार्बाइड (सीव्हीडी सिलिकॉन कार्बाइड) ची क्लोरीन - आणि फ्लोरिनयुक्त नक्षी वायूंची कमी प्रतिक्रिया आणि चालकता यामुळे, हे प्लाझ्मा एचिंग उपकरणे फोकस करणाऱ्या रिंग्ज आणि इतरांसाठी एक आदर्श सामग्री आहे. घटक

उदाहरणार्थ, फोकस रिंग हा एक महत्त्वाचा भाग आहे जो वेफरच्या बाहेर ठेवला जातो आणि वेफरच्या थेट संपर्कात असतो, रिंगमधून जाणारा प्लाझ्मा फोकस करण्यासाठी रिंगला व्होल्टेज लागू करून, त्याद्वारे प्लाझ्मा वेफरवर फोकस करून एकसमानता सुधारते. प्रक्रिया करत आहे. पारंपारिक फोकस रिंग सिलिकॉन किंवा बनलेले आहेक्वार्ट्ज, एक सामान्य फोकस रिंग सामग्री म्हणून प्रवाहकीय सिलिकॉन, ते जवळजवळ सिलिकॉन वेफर्सच्या चालकतेच्या जवळ आहे, परंतु कमतरता फ्लोरिन-युक्त प्लाझ्मामध्ये खराब कोरीव प्रतिरोधक आहे, एचिंग मशीन भाग साहित्य अनेकदा ठराविक कालावधीसाठी वापरले जाते, तेथे गंभीर समस्या असतील. गंज घटना, गंभीरपणे त्याची उत्पादन कार्यक्षमता कमी.

Solid SiC फोकस रिंगकार्य तत्त्व：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

आणि आधारित फोकसिंग रिंग आणि CVD SiC फोकसिंग रिंगची तुलना:

आणि आधारित फोकसिंग रिंग आणि CVD SiC फोकसिंग रिंगची तुलना
आयटम	आणि	CVD SiC
घनता (g/cm³)	2.33	3.21
बँड गॅप (eV)	1.12	2.3
थर्मल चालकता (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
लवचिक मापांक (GPa)	150	440
कडकपणा (GPa)	11.4	24.5
पोशाख आणि गंज प्रतिकार	गरीब	उत्कृष्ट

VeTek सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उपकरणांसाठी SiC फोकसिंग रिंगसारखे प्रगत सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड (CVD सिलिकॉन कार्बाइड) भाग ऑफर करते. यांत्रिक शक्ती, रासायनिक प्रतिकार, थर्मल चालकता, उच्च-तापमान टिकाऊपणा आणि आयन एचिंग प्रतिरोधकता या बाबतीत आमची घन सिलिकॉन कार्बाइड फोकसिंग रिंग पारंपारिक सिलिकॉनला मागे टाकते.

आमच्या SiC फोकसिंग रिंग्सची प्रमुख वैशिष्ट्ये समाविष्ट आहेत:

कमी नक्षी दरांसाठी उच्च घनता.

उच्च बँडगॅपसह उत्कृष्ट इन्सुलेशन.

उच्च थर्मल चालकता आणि थर्मल विस्तार कमी गुणांक.

उत्कृष्ट यांत्रिक प्रभाव प्रतिरोध आणि लवचिकता.

उच्च कडकपणा, पोशाख प्रतिकार आणि गंज प्रतिकार.

वापरून उत्पादितप्लाझ्मा-वर्धित रासायनिक वाष्प संचय (PECVD)तंत्रे, आमच्या SiC फोकसिंग रिंग्स सेमीकंडक्टर उत्पादनात एचिंग प्रक्रियेच्या वाढत्या मागण्या पूर्ण करतात. ते विशेषतः उच्च प्लाझ्मा पॉवर आणि उर्जेचा सामना करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेतकॅपेसिटिवली कपल्ड प्लाझ्मा (सीसीपी)प्रणाली

VeTek सेमीकंडक्टरच्या SiC फोकसिंग रिंग्स सेमीकंडक्टर उपकरण निर्मितीमध्ये अपवादात्मक कामगिरी आणि विश्वासार्हता प्रदान करतात. उत्कृष्ट गुणवत्ता आणि कार्यक्षमतेसाठी आमचे SiC घटक निवडा.

View as

उच्च शुद्धता सीव्हीडी एसआयसी कच्चा माल

सीव्हीडीने तयार केलेली उच्च शुद्धता सीव्हीडी एसआयसी कच्चा माल भौतिक वाष्प वाहतुकीद्वारे सिलिकॉन कार्बाइड क्रिस्टल वाढीसाठी सर्वोत्तम स्त्रोत सामग्री आहे. वेटेक सेमीकंडक्टरने पुरविलेल्या उच्च शुद्धतेची सीव्हीडी एसआयसी कच्च्या मालाची घनता एसआय आणि सी-युक्त वायूंच्या उत्स्फूर्त ज्वलनामुळे तयार केलेल्या लहान कणांपेक्षा जास्त आहे आणि त्यासाठी एक डेसिडेटेड सिन्टरिंग फर्नेस आवश्यक नाही आणि जवळजवळ सतत बाष्पीभवन दर आहे. हे अत्यंत उच्च प्रतीचे एसआयसी सिंगल क्रिस्टल्स वाढू शकते. आपल्या चौकशीची अपेक्षा आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सॉलिड सिक वेफर कॅरियर

वेटेक सेमीकंडक्टरचे सॉलिड सिक वेफर कॅरियर सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल प्रक्रियेत उच्च तापमान आणि गंज प्रतिरोधक वातावरणासाठी डिझाइन केलेले आहे आणि उच्च शुद्धतेच्या आवश्यकतेसह सर्व प्रकारच्या वेफर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेसाठी योग्य आहे. वेटेक सेमीकंडक्टर चीनमधील अग्रगण्य वेफर कॅरियर पुरवठादार आहे आणि सेमीकंडक्टर उद्योगात आपला दीर्घकालीन भागीदार होण्याची अपेक्षा आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सॉलिड एसआयसी डिस्क-आकाराचे शॉवर हेड

वेटेक सेमीकंडक्टर हे चीनमधील एक आघाडीचे सेमीकंडक्टर उपकरणे निर्माता आहे आणि एक व्यावसायिक निर्माता आणि सॉलिड एसआयसी डिस्क-आकाराच्या शॉवर हेडचा पुरवठादार आहे. आमची डिस्क शेप शॉवर हेड रिएक्शन गॅसचे एकसारखे वितरण सुनिश्चित करण्यासाठी सीव्हीडी प्रक्रियेसारख्या पातळ फिल्म जमा उत्पादनात मोठ्या प्रमाणात वापरली जाते आणि सीव्हीडी फर्नेसच्या मुख्य घटकांपैकी एक आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

Sic सीलिंग भाग

चीनमधील प्रगत एसआयसी सीलिंग भाग उत्पादन उत्पादक आणि कारखाना म्हणून. वेटेक सेमीकंडक्टो एसआयसी सीलिंग भाग हा एक उच्च-कार्यक्षमता सीलिंग घटक आहे जो अर्धसंवाहक प्रक्रिया आणि इतर अत्यंत उच्च तापमान आणि उच्च दाब प्रक्रियेमध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरला जातो. आपल्या पुढील सल्ल्याचे स्वागत आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सिलिकॉन कार्बाईड शॉवर हेड

सिलिकॉन कार्बाईड शॉवर हेडमध्ये उत्कृष्ट तापमान सहिष्णुता, रासायनिक स्थिरता, औष्णिक चालकता आणि गॅस वितरण चांगले कामगिरी आहे, जे एकसमान गॅस वितरण प्राप्त करू शकते आणि चित्रपटाची गुणवत्ता सुधारू शकते. म्हणूनच, हे सहसा रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी) किंवा भौतिक वाष्प जमा (पीव्हीडी) प्रक्रियेसारख्या उच्च तापमान प्रक्रियेमध्ये वापरले जाते. आमच्यासाठी आपल्या पुढील सल्ल्याचे स्वागत करा, वेटेक सेमीकंडक्टर.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सिलिकॉन कार्बाईड सील रिंग

चीनमधील व्यावसायिक सिलिकॉन कार्बाईड सील रिंग उत्पादन निर्माता आणि फॅक्टरी म्हणून, वेटेक सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाईड सील रिंग त्याच्या उत्कृष्ट उष्णतेचा प्रतिकार, गंज प्रतिरोध, यांत्रिक सामर्थ्य आणि औष्णिक चालकता यामुळे सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग उपकरणांमध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरली जाते. हे विशेषत: उच्च तापमान आणि सीव्हीडी, पीव्हीडी आणि प्लाझ्मा एचिंग सारख्या प्रतिक्रियात्मक वायूंच्या प्रक्रियेसाठी योग्य आहे आणि सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेमध्ये ही एक महत्त्वाची सामग्री निवड आहे. आपल्या पुढील चौकशीचे स्वागत आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

चीनमधील एक व्यावसायिक सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून आमच्याकडे आमचा स्वतःचा कारखाना आहे. आपल्या प्रदेशाच्या विशिष्ट गरजा भागविण्यासाठी आपल्याला सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असल्यास किंवा चीनमध्ये बनविलेले प्रगत आणि टिकाऊ {77 brook खरेदी करायचे असल्यास आपण आम्हाला एक संदेश सोडू शकता.