सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड

VeTek सेमीकंडक्टर सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड हा प्लाझ्मा एचिंग उपकरण, सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइडमध्ये एक महत्त्वाचा सिरेमिक घटक आहेCVD सिलिकॉन कार्बाइड) नक्षीकाम उपकरणांमधील भागांचा समावेश होतोफोकसिंग रिंग, गॅस शॉवरहेड, ट्रे, एज रिंग्स इ. घन सिलिकॉन कार्बाइड (सीव्हीडी सिलिकॉन कार्बाइड) ची क्लोरीन - आणि फ्लोरिनयुक्त नक्षी वायूंची कमी प्रतिक्रिया आणि चालकता यामुळे, हे प्लाझ्मा एचिंग उपकरणे फोकस करणाऱ्या रिंग्ज आणि इतरांसाठी एक आदर्श सामग्री आहे. घटक

उदाहरणार्थ, फोकस रिंग हा एक महत्त्वाचा भाग आहे जो वेफरच्या बाहेर ठेवला जातो आणि वेफरच्या थेट संपर्कात असतो, रिंगमधून जाणारा प्लाझ्मा फोकस करण्यासाठी रिंगला व्होल्टेज लागू करून, त्याद्वारे प्लाझ्मा वेफरवर फोकस करून एकसमानता सुधारते. प्रक्रिया करत आहे. पारंपारिक फोकस रिंग सिलिकॉन किंवा बनलेले आहेक्वार्ट्ज, एक सामान्य फोकस रिंग सामग्री म्हणून प्रवाहकीय सिलिकॉन, ते जवळजवळ सिलिकॉन वेफर्सच्या चालकतेच्या जवळ आहे, परंतु कमतरता फ्लोरिन-युक्त प्लाझ्मामध्ये खराब कोरीव प्रतिरोधक आहे, एचिंग मशीन भाग साहित्य अनेकदा ठराविक कालावधीसाठी वापरले जाते, तेथे गंभीर समस्या असतील. गंज घटना, गंभीरपणे त्याची उत्पादन कार्यक्षमता कमी.

Solid SiC फोकस रिंगकार्य तत्त्व：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

आणि आधारित फोकसिंग रिंग आणि CVD SiC फोकसिंग रिंगची तुलना:

आणि आधारित फोकसिंग रिंग आणि CVD SiC फोकसिंग रिंगची तुलना
आयटम	आणि	CVD SiC
घनता (g/cm³)	2.33	3.21
बँड गॅप (eV)	1.12	2.3
थर्मल चालकता (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
लवचिक मापांक (GPa)	150	440
कडकपणा (GPa)	11.4	24.5
पोशाख आणि गंज प्रतिकार	गरीब	उत्कृष्ट

VeTek सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उपकरणांसाठी SiC फोकसिंग रिंगसारखे प्रगत सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड (CVD सिलिकॉन कार्बाइड) भाग ऑफर करते. यांत्रिक शक्ती, रासायनिक प्रतिकार, थर्मल चालकता, उच्च-तापमान टिकाऊपणा आणि आयन एचिंग प्रतिरोधकता या बाबतीत आमची घन सिलिकॉन कार्बाइड फोकसिंग रिंग पारंपारिक सिलिकॉनला मागे टाकते.

आमच्या SiC फोकसिंग रिंग्सची प्रमुख वैशिष्ट्ये समाविष्ट आहेत:

कमी नक्षी दरांसाठी उच्च घनता.

उच्च बँडगॅपसह उत्कृष्ट इन्सुलेशन.

उच्च थर्मल चालकता आणि थर्मल विस्तार कमी गुणांक.

उत्कृष्ट यांत्रिक प्रभाव प्रतिरोध आणि लवचिकता.

उच्च कडकपणा, पोशाख प्रतिकार आणि गंज प्रतिकार.

वापरून उत्पादितप्लाझ्मा-वर्धित रासायनिक वाष्प संचय (PECVD)तंत्रे, आमच्या SiC फोकसिंग रिंग्स सेमीकंडक्टर उत्पादनात एचिंग प्रक्रियेच्या वाढत्या मागण्या पूर्ण करतात. ते विशेषतः उच्च प्लाझ्मा पॉवर आणि उर्जेचा सामना करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेतकॅपेसिटिवली कपल्ड प्लाझ्मा (सीसीपी)प्रणाली

VeTek सेमीकंडक्टरच्या SiC फोकसिंग रिंग्स सेमीकंडक्टर उपकरण निर्मितीमध्ये अपवादात्मक कामगिरी आणि विश्वासार्हता प्रदान करतात. उत्कृष्ट गुणवत्ता आणि कार्यक्षमतेसाठी आमचे SiC घटक निवडा.

View as

एसआयसी क्रिस्टल ग्रोथसाठी सीव्हीडी एसआयसी ब्लॉक

एसआयसी क्रिस्टल ग्रोथसाठी सीव्हीडी एसआयसी ब्लॉक, वेटेक सेमीकंडक्टरने विकसित केलेली एक नवीन उच्च शुद्धता कच्ची सामग्री आहे. यात उच्च इनपुट-आउटपुट गुणोत्तर आहे आणि उच्च-गुणवत्तेची, मोठ्या आकाराच्या सिलिकॉन कार्बाइड सिंगल क्रिस्टल्स वाढू शकतात, जे आज बाजारात वापरल्या जाणार्‍या पावडरची जागा घेण्यासाठी द्वितीय-पिढीतील सामग्री आहे. तांत्रिक मुद्द्यांविषयी चर्चा करण्यासाठी आपले स्वागत आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

एसआयसी क्रिस्टल ग्रोथ नवीन तंत्रज्ञान

रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी) ने तयार केलेले वेटेक सेमीकंडक्टरच्या अल्ट्रा-हाय शुद्धिटी सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) भौतिक वाष्प वाहतूक (पीव्हीटी) द्वारे वाढत्या सिलिकॉन कार्बाइड क्रिस्टल्ससाठी स्त्रोत सामग्री म्हणून वापरण्याची शिफारस केली जाते. एसआयसी क्रिस्टल ग्रोथ नवीन तंत्रज्ञानामध्ये, स्त्रोत सामग्री क्रूसिबलमध्ये लोड केली जाते आणि बियाणे क्रिस्टलवर सुबक केली जाते. वाढत्या एसआयसी क्रिस्टल्ससाठी स्त्रोत म्हणून उच्च शुद्धता सीव्हीडी-एसआयसी ब्लॉक्स वापरा. आमच्याबरोबर भागीदारी स्थापित करण्यासाठी आपले स्वागत आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सीव्हीडी sic शॉवर हेड

वेटेक सेमीकंडक्टर हे चीनमधील एक अग्रगण्य सीव्हीडी एसआयसी शॉवर हेड निर्माता आणि इनोव्हेटर आहे. आम्ही बर्‍याच वर्षांपासून एसआयसी मटेरियलमध्ये विशेष आहे. सीव्हीडी एसआयसी शॉवर हेड उत्कृष्ट थर्मोकेमिकल स्थिरता, उच्च यांत्रिकी सामर्थ्य आणि प्लाझ्मा इरोशनला प्रतिकार केल्यामुळे फोकसिंग रिंग सामग्री म्हणून निवडले जाते. आम्ही चीनमधील आपला दीर्घकालीन भागीदार होण्यास उत्सुक आहोत.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

Sic शॉवर हेड

वेटेक सेमीकंडक्टर हे चीनमधील एक आघाडीचे एसआयसी शॉवर हेड निर्माता आणि नाविन्यपूर्ण आहे. आम्ही बर्‍याच वर्षांपासून एसआयसी मटेरियलमध्ये विशेष आहे. उत्कृष्ट थर्मोकेमिकल स्थिरता, उच्च यांत्रिक सामर्थ्य आणि प्लाझ्मा इरोशनला प्रतिकार केल्यामुळे सिक शॉवर हेड एक फोकसिंग रिंग मटेरियल म्हणून निवडले जाते. आम्ही चीनमध्ये आपला दीर्घकालीन भागीदार होण्यास उत्सुक आहोत.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सॉलिड SiC गॅस शॉवर हेड

सीव्हीडी प्रक्रियेमध्ये गॅस एकसमान बनविण्यात सॉलिड एसआयसी गॅस शॉवर हेडची प्रमुख भूमिका आहे, ज्यामुळे सब्सट्रेटची एकसमान गरम करणे सुनिश्चित होते. वेटेक सेमीकंडक्टर बर्‍याच वर्षांपासून सॉलिड एसआयसी डिव्हाइसच्या क्षेत्रात खोलवर सामील आहे आणि ग्राहकांना सानुकूलित सॉलिड एसआयसी गॅस शॉवर हेड प्रदान करण्यास सक्षम आहे. आपल्या आवश्यकता काय आहेत हे महत्त्वाचे नाही, आम्ही आपल्या चौकशीची अपेक्षा करतो.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

रासायनिक वाष्प जमा प्रक्रिया सॉलिड एसआयसी एज रिंग

Vetek सेमीकंडक्टर नेहमीच प्रगत सेमीकंडक्टर मटेरियलच्या संशोधन आणि विकास आणि उत्पादनासाठी वचनबद्ध आहे. आज, वेटेक सेमीकंडक्टरने रासायनिक वाष्प जमा प्रक्रियेमध्ये सॉलिड एसआयसी एज रिंग उत्पादनांमध्ये मोठी प्रगती केली आहे आणि ग्राहकांना अत्यंत सानुकूलित सॉलिड एसआयसी एज रिंग्ज प्रदान करण्यास सक्षम आहे. सॉलिड एसआयसी एज रिंग्ज सुसंगत आणि विश्वासार्ह एचिंग परिणाम सुनिश्चित करून, इलेक्ट्रोस्टेटिक चकसह वापरल्यास चांगले एचिंग एकरूपता आणि अचूक वेफर पोझिशनिंग प्रदान करतात. आपल्या चौकशीची अपेक्षा आहे आणि एकमेकांचे दीर्घकालीन भागीदार बनले आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

चीनमधील एक व्यावसायिक सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून आमच्याकडे आमचा स्वतःचा कारखाना आहे. आपल्या प्रदेशाच्या विशिष्ट गरजा भागविण्यासाठी आपल्याला सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असल्यास किंवा चीनमध्ये बनविलेले प्रगत आणि टिकाऊ {77 brook खरेदी करायचे असल्यास आपण आम्हाला एक संदेश सोडू शकता.