QR कोड

आमच्याबद्दल
उत्पादने
आमच्याशी संपर्क साधा
फॅक्स
+86-579-87223657
ई-मेल
पत्ता
वांगडा रोड, झियांग स्ट्रीट, वुई काउंटी, जिन्हुआ सिटी, झेजियांग प्रांत, चीन
प्लाझ्मा एचिंग उपकरणे, सॉलिड सिलिकॉन कार्बाईड (सॉलिड सिलिकॉन कार्बाईड) मधील वेटेक सेमीकंडक्टर सॉलिड सिलिकॉन कार्बाईड एक महत्त्वपूर्ण सिरेमिक घटक आहे (सीव्हीडी सिलिकॉन कार्बाईड) एचिंग उपकरणांमधील भागांमध्ये समाविष्ट आहेरिंग फोकसिंग, गॅस शॉवरहेड, ट्रे, एज रिंग्ज इ. क्लोरीनमध्ये घन सिलिकॉन कार्बाईड (सीव्हीडी सिलिकॉन कार्बाईड) च्या कमी प्रतिक्रिया आणि चालकतेमुळे - आणि फ्लोरिन -युक्त एचिंग गॅस, प्लाझ्मा एचिंग उपकरणांसाठी रिंग्ज आणि इतर घटकांवर लक्ष केंद्रित करण्यासाठी ही एक आदर्श सामग्री आहे.
उदाहरणार्थ, फोकस रिंग हा वेफरच्या बाहेर आणि वेफरच्या थेट संपर्कात ठेवलेला एक महत्त्वाचा भाग आहे, रिंगमधून जाणा P ्या प्लाझ्मावर लक्ष केंद्रित करण्यासाठी रिंगवर व्होल्टेज लावून, ज्यायोगे प्रक्रियेची एकसारखेपणा सुधारण्यासाठी वेफरवर प्लाझ्मावर लक्ष केंद्रित केले जाते. पारंपारिक फोकस रिंग सिलिकॉन किंवा बनलेली आहेक्वार्ट्ज, कंडक्टिव्ह सिलिकॉन एक सामान्य फोकस रिंग सामग्री म्हणून, हे सिलिकॉन वेफर्सच्या चालकतेच्या अगदी जवळ आहे, परंतु फ्लोरिनयुक्त प्लाझ्मा, एचिंग मशीन पार्ट्स सामग्रीमध्ये बहुतेक वेळा वापरल्या जाणार्या एचिंग मशीन पार्ट्स मटेरियलमध्ये कमतरता कमी आहे, तेथे गंभीर गंज इंद्रियगोचर होईल, त्याची उत्पादन कार्यक्षमता गंभीरपणे कमी होईल.
Sऑलिड एसआयसी फोकस रिंगकार्यरत तत्व:
एसआय आधारित फोकसिंग रिंग आणि सीव्हीडी एसआयसी फोकसिंग रिंगची तुलना
एसआय आधारित फोकसिंग रिंग आणि सीव्हीडी एसआयसी फोकसिंग रिंगची तुलना | ||
आयटम | आणि | सीव्हीडी sic |
घनता (जी/सेमी3) | 2.33 | 3.21 |
बँड गॅप (ईव्ही) | 1.12 | 2.3 |
औष्णिक चालकता (डब्ल्यू/सेमी ℃) | 1.5 | 5 |
सीटीई (एक्स 10-6/℃) | 2.6 | 4 |
वंशज | 150 | 440 |
कडकपणा (जीपीए) | 11.4 | 24.5 |
परिधान आणि गंज प्रतिकार | गरीब | उत्कृष्ट |
वेटेक सेमीकंडक्टरने सेमीकंडक्टर उपकरणांसाठी रिंग्ज फोकसिंग रिंग्ज सारख्या प्रगत सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड (सीव्हीडी सिलिकॉन कार्बाइड) भाग उपलब्ध करुन दिले आहेत. आमचे सॉलिड सिलिकॉन कार्बाईड फोकसिंग रिंग्ज यांत्रिक सामर्थ्य, रासायनिक प्रतिरोध, औष्णिक चालकता, उच्च-तापमान टिकाऊपणा आणि आयन एचिंग प्रतिरोध या दृष्टीने पारंपारिक सिलिकॉनला मागे टाकतात.
कमी एचिंग दरासाठी उच्च घनता.
उच्च बँडगॅपसह उत्कृष्ट इन्सुलेशन.
उच्च औष्णिक चालकता आणि थर्मल विस्ताराचे कमी गुणांक.
उत्कृष्ट यांत्रिक प्रभाव प्रतिकार आणि लवचिकता.
उच्च कडकपणा, परिधान प्रतिकार आणि गंज प्रतिकार.
वापरुन उत्पादितप्लाझ्मा-वर्धित रासायनिक वाष्प जमा (पीईसीव्हीडी)तंत्र, आमची एसआयसी फोकसिंग रिंग्ज सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये एचिंग प्रक्रियेच्या वाढत्या मागण्या पूर्ण करतात. ते विशेषत: मध्ये उच्च प्लाझ्मा शक्ती आणि उर्जा सहन करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेतकॅपेसिटिव्हली युग्मित प्लाझ्मा (सीसीपी)सिस्टम.
वेटेक सेमीकंडक्टरच्या एसआयसी फोकसिंग रिंग्ज सेमीकंडक्टर डिव्हाइस मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये अपवादात्मक कामगिरी आणि विश्वासार्हता प्रदान करतात. उत्कृष्ट गुणवत्ता आणि कार्यक्षमतेसाठी आमचे एसआयसी घटक निवडा.
Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.
Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.
Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.
To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.
+86-579-87223657
वांगडा रोड, झियांग स्ट्रीट, वुई काउंटी, जिन्हुआ सिटी, झेजियांग प्रांत, चीन
कॉपीराइट © 2024 वेटेक सेमीकंडक्टर टेक्नॉलॉजी कंपनी, लि. सर्व हक्क राखीव आहेत.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |