उत्पादने

हाफमून हा एक ग्रेफाइट घटक आहे जो LPE SiC अणुभट्ट्यांच्या आत वापरला जातो, जो मुख्यतः चेंबर हॉट झोनभोवती स्थापित केला जातो. जरी ते वेफरशी थेट संपर्क साधत नाही, तरीही ते एपिटॅक्सियल वाढीदरम्यान गॅस प्रवाह स्थिरता आणि अणुभट्टी ऑपरेशनमध्ये भूमिका बजावते. उच्च तापमान आणि प्रतिक्रियाशील प्रक्रिया परिस्थिती हाताळण्यासाठी, घटक सामान्यतः CVD SiC कोटिंगसह संरक्षित केला जातो, तर काही अनुप्रयोगांसाठी TaC कोटिंग देखील उपलब्ध आहे. VETEK SiC epitaxy सिस्टीमसाठी ग्रेफाइट फील इन्सुलेशन आणि इतर कोटेड ग्रेफाइट भाग देखील पुरवते.

8-इंच SiC epi टॉप रिंग सेमीकंडक्टर रिॲक्टर्ससाठी हार्डवेअर भाग आहे. हे Si/SiC epitaxy आणि MOCVD/CVD सिस्टीममध्ये कार्य करते. ही रिंग चेंबरच्या आत उष्णता स्थिर करते. ते वायूंच्या प्रवाहावरही नियंत्रण ठेवते. सामग्री उच्च-शुद्धता CVD सिलिकॉन कार्बाइड आहे. त्यात ग्रेफाइटचे आउटगॅसिंग समस्या नाहीत. हे उत्पादनादरम्यान कणांचे प्रदूषण देखील कमी करते. आम्ही तुमच्या चौकशीचे स्वागत करतो.

VETEK ने अचूक कार्डिंग आणि एअर-जेट तंत्रज्ञानाचा वापर करून आमचे कार्बन फायबर सॉफ्ट फील विकसित केले आहे. आम्ही संपूर्ण सामग्रीमध्ये अत्यंत एकसमान फायबर संरचनाची हमी देऊ शकतो. हे आश्चर्यकारकपणे हलके असताना औद्योगिक भट्टीच्या तीव्र उष्णतेला तोंड देण्यासाठी तयार केले आहे. अशा कमी थर्मल वस्तुमान आणि लवचिक पोत द्वारे, ते स्थापित करणे सोपे आहे आणि भट्टीच्या कोपऱ्यात बसते, प्रत्येक चक्रात जास्तीत जास्त ऊर्जा कार्यक्षमता वाढविण्यात मदत करते.

प्रारंभिक स्त्रोत सामग्रीची गुणवत्ता हा SiC सिंगल क्रिस्टल्सच्या उत्पादनात वेफर उत्पन्न मर्यादित करणारा प्राथमिक घटक आहे. VETEK चे 7N उच्च-शुद्धता CVD SiC बल्क पारंपारिक पावडरसाठी उच्च-घनता पॉलीक्रिस्टलाइन पर्याय ऑफर करते, विशेषत: भौतिक वाष्प वाहतूक (PVT) साठी इंजिनियर केलेले. मोठ्या प्रमाणात CVD फॉर्म वापरून, आम्ही सामान्य वाढीचे दोष दूर करतो आणि फर्नेस थ्रूपुटमध्ये लक्षणीय सुधारणा करतो. तुमच्या चौकशीची वाट पाहत आहे.

डिफ्यूजन, ऑक्सिडेशन किंवा LPCVD सारख्या प्रगत फॅब्रिकेशनमध्ये, वेफर बोट केवळ एक धारक नाही - ती थर्मल वातावरणाचा एक महत्त्वाचा भाग आहे. 1000°C ते 1400°C पर्यंत पोहोचलेल्या तापमानात, मानक साहित्य अनेकदा वापिंग किंवा आउटगॅसिंगमुळे अपयशी ठरते. VETEK चे SiC-on-SiC सोल्यूशन (दाट CVD कोटिंगसह उच्च-शुद्धता सब्सट्रेट) हे उच्च-उष्ण व्हेरिएबल्स स्थिर करण्यासाठी विशेषतः डिझाइन केलेले आहे.

MOCVD चे उच्च-तापमान आणि रासायनिक प्रतिक्रियाशील वातावरण, प्रतिक्रिया कक्षांचे संरक्षण आणि प्रक्रिया नियंत्रणाची अचूकता सर्वोपरि आहे. VETEK प्रीमियम अपारदर्शक (मिल्की व्हाईट) क्वार्ट्ज घटक प्रदान करते, विशेषत: तुमच्या सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये "क्लीनरूम" आणि "परिसिजन गेट" म्हणून कार्य करण्यासाठी डिझाइन केलेले. हे घटक थर्मल रेडिएशन व्यवस्थापित करण्यासाठी आणि दूषित होण्यापासून रोखण्यासाठी एक किफायतशीर परंतु उच्च-कार्यक्षमता उपाय देतात.