उत्पादने

VETEK CVD सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटेड ग्रेफाइट RTP RTA वाहक सेमीकंडक्टर उत्पादनात वापरल्या जाणाऱ्या जलद थर्मल प्रोसेसिंग (RTP) आणि रॅपिड थर्मल ऍनिलिंग (RTA) प्रणालींसाठी डिझाइन केलेले आहे. दाट CVD SiC कोटिंगसह उच्च-शुद्धतेच्या आयसोस्टॅटिक ग्रेफाइटपासून तयार केलेले, ते उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, उत्कृष्ट तापमान एकसमानता, उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार आणि अति-लो कण निर्मिती प्रदान करते. पुनरावृत्ती जलद गरम आणि थंड होण्याच्या चक्रांना तोंड देण्यासाठी अभियंता, वाहक सिलिकॉन वेफर ॲनिलिंग आणि इतर उच्च-तापमान सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगांसाठी विश्वसनीय वेफर समर्थन आणि स्थिर प्रक्रिया कार्यप्रदर्शन सुनिश्चित करते.

VETEK CVD TaC कोटेड ससेप्टर उच्च-शुद्धता आयसोस्टॅटिक ग्रेफाइट सब्सट्रेटला दाट CVD टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंगसह एकत्रित करते ज्यामुळे अपवादात्मक थर्मल स्थिरता, गंज प्रतिरोधकता आणि अर्धसंवाहक एपिटॅक्सीची मागणी करण्यासाठी कमी कण निर्मिती होते. SiC, GaN आणि AlN एपिटॅक्सियल वाढीसाठी डिझाइन केलेले, ते दूषितता कमी करते, वेफर तापमान एकसमानता सुधारते आणि उच्च-तापमान MOCVD आणि CVD प्रक्रियांमध्ये घटक सेवा आयुष्य वाढवते.

VeTek सेमीकंडक्टर मधील CVD SiC कोटेड RTP ससेप्टर सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये वापरल्या जाणाऱ्या रॅपिड थर्मल प्रोसेसिंग (RTP) आणि रॅपिड थर्मल ॲनिलिंग (RTA) उपकरणे पुरवतो. सब्सट्रेट उच्च-शुद्धतेच्या आयसोस्टॅटिक ग्रेफाइटपासून तयार केले जाते, ज्यावर दाट CVD सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) थर जमा केला जातो. हे बांधकाम उच्च औष्णिक चालकता, मजबूत रासायनिक जडत्व आणि वारंवार उच्च-तापमान सायकलिंग अंतर्गत शाश्वत आयामी स्थिरता देते.

सेमीकंडक्टर क्रिस्टल ग्रोथ ऍप्लिकेशन्सची मागणी करण्यासाठी, VETEK थ्री-पीस ग्रेफाइट क्रूसिबल प्रक्रियेसाठी आवश्यक असलेली स्थिरता, शुद्धता आणि थर्मल समानता प्रदान करते. हाय-ग्रेड आयसोस्टॅटिक ग्रेफाइटपासून बनवलेले—पर्यायी SiC, TaC किंवा PyC कोटिंगसह—त्याचे विभाजन डिझाइन केवळ सोयीसाठी नाही. हे सक्रियपणे थर्मल ताण कमी करते, देखभाल जलद करते आणि सायकलनंतर सायकल चालू ठेवते.

VETEK PG (Pyrolytic Graphite) कोटेड रिंग सेमीकंडक्टर थर्मल फील्ड आणि क्रिस्टल ग्रोथ वातावरणासाठी उद्देशाने तयार केली गेली आहे जिथे समान उष्णता वितरण आणि स्थिर तापमान गैर-निगोशिएबल आहे. उच्च-शुद्धतेच्या ग्रेफाइट बेसपासून सुरुवात करून आणि दाट पायरोलिटिक ग्रॅफाइट कोटिंगसह पूर्ण झालेला, हा घटक अपवादात्मक थर्मल चालकता प्रदान करतो, तीव्र थर्मल शॉकपर्यंत टिकतो आणि अत्यंत तापमानात दीर्घकाळापर्यंत त्याचे परिमाण टिकवून ठेवतो. क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेसेस, उच्च-तापमान ओव्हन आणि सेमीकंडक्टर्ससाठी थर्मल फील्ड असेंब्लीमध्ये या रिंग्स मोठ्या प्रमाणावर वापरल्या जातील—कुठेही अचूक तापमान नियंत्रण थेट प्रक्रियेची पुनरावृत्ती आणि अंतिम उत्पादन गुणवत्ता चालवते.

तुम्ही डिपॉझिशन चेंबरमध्ये असमान वायू प्रवाह किंवा कण दूषिततेचा सामना केला असल्यास, VETEK CVD SiC कोटेड ग्रेफाइट शॉवर हेड हे निराकरण करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. हे थर्मल स्थिरता आणि सुलभ मशीनिंगसाठी उच्च-शुद्धतेच्या आयसोस्टॅटिक ग्रेफाइटसह सुरू होते, नंतर एक दाट CVD सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग मिळते जे पृष्ठभागावर सील करते, संक्षारक वायूंचा प्रतिकार करते (जसे की HCl किंवा NF₃), आणि बाहेर पडणे प्रतिबंधित करते. परिणाम म्हणजे गॅस वितरण प्लेट जी संपूर्ण वेफरमध्ये एकसमान प्रवाह वितरीत करते, उच्च-तापमान एपिटॅक्सी हाताळते आणि बेअर ग्रेफाइट किंवा क्वार्ट्जपेक्षा जास्त काळ टिकते – ज्यामुळे ते CVD, PECVD, MOCVD, सिलिकॉन एपिटॅक्सी आणि SiC एपिटॅक्सी प्रक्रियेसाठी एक विश्वसनीय घटक बनते. आम्ही सानुकूल भोक नमुने आणि आकार देखील ऑफर करतो, कारण कोणतेही दोन अणुभट्ट्या एकसारखे नसतात.