उत्पादने

VeTek सेमीकंडक्टरच्या उच्च-शुद्धतेच्या क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब हे सेमीकंडक्टर थर्मल प्रोसेसिंग उपकरणांसाठी कोर प्रोसेस चेंबर घटक आहेत. सेमीकंडक्टर-ग्रेड डिहायड्रॉक्सिलेटेड फ्यूज्ड क्वार्ट्जपासून बनवलेल्या, या नळ्या ऑक्सिडेशन भट्टी, प्रसार भट्टी, ॲनिलिंग भट्टी आणि LPCVD प्रणालींमध्ये सीलबंद प्रतिक्रिया पोकळी म्हणून काम करतात. ते 4/6/8/12-इंच वेफर प्रक्रियेसाठी एकसमान तापमान क्षेत्र, स्थिर वायू प्रवाह आणि अति-कमी दूषितता सुनिश्चित करून अपवादात्मक शुद्धता, थर्मल स्थिरता आणि रासायनिक प्रतिकार प्रदान करतात.

Aixtron G10-SiC प्लॅटफॉर्मसाठी VeTek सेमीकंडक्टरचे सॉलिड SiC ॲक्सेसरीज हे उच्च-शुद्धतेचे, पूर्णपणे दाट सिलिकॉन कार्बाइड घटक आहेत जे SiC एपिटॅक्सियल ग्रोथच्या मागणीच्या थर्मल आणि रासायनिक वातावरणासाठी डिझाइन केलेले आहेत. हे भाग उत्कृष्ट उच्च-तापमान स्थिरता, रासायनिक प्रतिकार आणि अल्ट्रा-लो कण निर्मिती प्रदान करतात, उच्च-थ्रूपुट 9×150 mm / 6×200 mm प्लॅनेटरी रिॲक्टर कॉन्फिगरेशनला समर्थन देतात जे पॉवर उपकरण निर्मितीमध्ये वापरतात.

CVD SiC Coated Graphite Parts साठी VETEK प्रोफेशनल क्लीनिंग सर्व्हिस ही Aixtron/Veco MOCVD उपकरणे ससेप्टर्स आणि GaN/AlN/AlGaN एपिटॅक्सियल प्रक्रियेत वापरल्या जाणाऱ्या ग्रेफाइट घटकांसाठी डिझाइन केलेली एक विशेष तांत्रिक सेवा आहे. आमची मालकी साफसफाईची प्रक्रिया पृष्ठभागावरील स्मृती प्रभाव पूर्णपणे काढून टाकते, अणुभट्टीमध्ये स्थिर वायू प्रवाह पुनर्संचयित करते आणि 100 µm CVD SiC कोटिंगचे पूर्णपणे शून्य जाडीचे नुकसान आणि शून्य धातूच्या अवशेषांसह कठोरपणे संरक्षण करते.

वेफर कॅरियरसाठी VETEK CVD SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर हा सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेला उच्च-कार्यक्षमता वेफर सपोर्ट घटक आहे. सब्सट्रेट म्हणून उत्पादन उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट वापरते आणि एकसमान CVD सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) लेयरने लेपित आहे, उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, रासायनिक प्रतिकार आणि कण नियंत्रण प्रदान करते. एक गंभीर ग्रेफाइट ससेप्टर घटक म्हणून, ते प्रतिक्रिया कक्षातील वेफर्सना थेट समर्थन देते आणि समान तापमान वितरण आणि स्थिर एपिटॅक्सियल वाढीची स्थिती राखण्यास मदत करते.

VeTek सेमीकंडक्टर प्रीमियम-ग्रेड हाय प्युरिटी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) पावडर विशेषत: उच्च-उत्पन्न असलेल्या SiC क्रिस्टल ग्रोथ (PVT प्रक्रिया), सेमीकंडक्टर सब्सट्रेट उत्पादन आणि प्रगत फंक्शनल सिरॅमिक्ससाठी तयार करते. अल्ट्रा-क्लीन प्युरिफिकेशन तंत्रज्ञानाद्वारे प्रक्रिया केलेले, आमचा उच्च शुद्धता SiC कच्चा माल अपवादात्मकपणे कमी ट्रेस मेटल स्तर, पुनरुत्पादक उदात्तीकरण कार्यप्रदर्शन आणि कठोर सेमीकंडक्टर उत्पादन आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी अत्यंत सुसंगत बॅच-टू-बॅच गुणवत्ता प्रदान करतो.

TEL सेमीकंडक्टर उपकरणांसाठी VETEK हाय प्युरिटी क्वार्ट्ज वेफर बोट सेमीकंडक्टर-ग्रेड क्वार्ट्ज मटेरियलपासून तयार केली गेली आहे आणि डिफ्यूजन, ऑक्सिडेशन, ॲनिलिंग आणि CVD सारख्या उच्च-तापमान प्रक्रियांमध्ये वेफर हाताळण्यासाठी डिझाइन केलेली आहे. उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, रासायनिक प्रतिकार आणि कमी दूषित वैशिष्ट्यांसह, ते सेमीकंडक्टर उत्पादन अनुप्रयोगांसाठी विश्वसनीय वेफर समर्थन प्रदान करते.