ॲल्युमिनियम नायट्राइड (AlN) सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक

1.फायदे

• कार्यक्षम उष्णता हस्तांतरण आणि तापमान एकरूपतेसाठी ~180 W/m·K पर्यंत थर्मल चालकता असलेले उच्च-शुद्धता AlN सिरेमिक

• मजबूत इलेक्ट्रिकल इन्सुलेशन आणि उच्च व्हॉल्यूम प्रतिरोधकता 1-3 kV वर स्थिर क्लॅम्पिंगला समर्थन देते (उच्च व्होल्टेज उपलब्ध)

• सानुकूल डायलेक्ट्रिक लेयर मटेरियल आणि इलेक्ट्रोड लेआउट: कुलॉम्ब किंवा जॉनसेन-राहबेक (जेआर); सिंगल किंवा मल्टी-झोन

• जलद क्लॅम्प आणि डी-क्लॅम्प कार्यप्रदर्शन, विशेषत: 0.1 सेकंदांपेक्षा कमी

• पृष्ठभाग डिंपल मायक्रोस्ट्रक्चर ~300 μm व्यासापर्यंत खाली, संपर्क क्षेत्र ~1% पर्यंत कमी करते

• उच्च सपाटपणा क्षमता; 300 मिमी वर्ग प्लॅटफॉर्मसाठी 0.5-3 μm PV च्या क्रमाने वैशिष्ट्यपूर्ण जागतिक सपाटपणा

• जवळजवळ शून्य पाणी शोषण आणि प्रक्रिया वातावरणासाठी चांगला रासायनिक प्रतिकार असलेली दाट सूक्ष्म संरचना

2.ठराविक अनुप्रयोग

ॲल्युमिनियम नायट्राइड सिरॅमिक इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक प्रक्रिया चरणांमध्ये वापरले जातात ज्यासाठी सुरक्षित वेफर होल्डिंग आणि नियंत्रित थर्मल वर्तन दोन्ही आवश्यक आहे:

• ड्राय प्लाझ्मा एच (ICP / RIE) आणि संबंधित चेंबर प्रक्रिया

• CVD, PEALD, थर्मल ALD आणि इतर पातळ-फिल्म जमा होण्याचे टप्पे

• एनीलिंग आणि थर्मल प्रक्रिया मॉड्यूल ज्यांना एकसमान वेफर तापमान आवश्यक असते

• तपासणी, मेट्रोलॉजी आणि अचूक टप्पे जेथे कमी कण आणि स्थिर क्लॅम्पिंग गंभीर आहेत

3.AlN मटेरियल ग्रेड - ठराविक गुणधर्म

VeTek थर्मल चालकता, यांत्रिक सामर्थ्य आणि ESC डिझाइनसाठी खर्च संतुलित करण्यासाठी अनेक ॲल्युमिनियम नायट्राइड ग्रेड ऑफर करते:

युनिट्स: W/(m·K) मध्ये थर्मल चालकता; केव्ही/मिमीमध्ये डायलेक्ट्रिक ताकद; Ω·cm (25 °C) मध्ये आवाज प्रतिरोधकता; डायलेक्ट्रिक स्थिरांक 1 MHz वर. मूल्ये वैशिष्ट्यपूर्ण आहेत आणि प्रक्रिया आणि भाग भूमितीनुसार बदलू शकतात.

4.ठराविक ESC डिझाइन पॅरामीटर्स

5.का चूसे VeTek AlN इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक्स?

VeTek सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर ग्राहकांसाठी ज्यांना थर्मल परफॉर्मन्स आणि विश्वासार्ह क्लॅम्पिंग दोन्हीची आवश्यकता आहे त्यांच्यासाठी अचूक ESC उत्पादनासह प्रगत AlN सिरेमिक समाकलित करते:

• प्रक्रिया थर्मल बजेट जुळण्यासाठी ~90 ते ~180 W/m·K पर्यंत थर्मल चालकता असलेले अनेक AlN ग्रेड

• कुलॉम्ब किंवा जेआर क्लॅम्पिंग वर्तनासाठी लवचिक इलेक्ट्रोड आणि डायलेक्ट्रिक डिझाइन

• सपाटपणा, पृष्ठभागाची सूक्ष्म संरचना आणि विद्युत इन्सुलेशन कार्यक्षमतेवर कडक नियंत्रण

• संपूर्ण जीवनचक्र समर्थन: डिझाइन, नवीन बिल्ड आणि बहु-स्तरीय नूतनीकरण

इच, डिपॉझिशन आणि थर्मल टूल्ससाठी जे एकसमान वेफर तापमान आणि स्वच्छ, पुनरावृत्ती करण्यायोग्य क्लॅम्पिंगवर अवलंबून असतात, VeTek Aluminium Nitride Ceramic Electrostatic Chucks अनुप्रयोग-केंद्रित अभियांत्रिकी समर्थनाद्वारे समर्थित उच्च-कार्यक्षमता सिरेमिक प्लॅटफॉर्म प्रदान करतात.