टँटलम कार्बाइड कोटिंग

VeTek सेमीकंडक्टर ही सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी टँटलम कार्बाइड कोटिंग मटेरियलची आघाडीची उत्पादक आहे. आमच्या मुख्य उत्पादन ऑफरिंगमध्ये CVD टँटलम कार्बाइड कोटिंग पार्ट, SiC क्रिस्टल ग्रोथ किंवा सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी प्रोसेससाठी सिंटर्ड TaC कोटिंग पार्ट यांचा समावेश आहे. ISO9001 उत्तीर्ण, VeTek सेमीकंडक्टरचे गुणवत्तेवर चांगले नियंत्रण आहे. VeTek सेमीकंडक्टर चालू संशोधन आणि पुनरावृत्ती तंत्रज्ञानाच्या विकासाद्वारे टँटलम कार्बाइड कोटिंग उद्योगात नाविन्यपूर्ण बनण्यासाठी समर्पित आहे.

मुख्य उत्पादने आहेतTaC लेपित मार्गदर्शक रिंग, CVD TaC लेपित तीन-पाकळ्यांची मार्गदर्शक रिंग, टँटलम कार्बाइड TaC लेपित हाफमून, CVD TaC कोटिंग ग्रहांचा SiC एपिटॅक्सियल ससेप्टर, टँटलम कार्बाइड कोटिंग रिंग, टँटलम कार्बाइड लेपित सच्छिद्र ग्रेफाइट, TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टर, टँटलम कार्बाइड रिंग, TaC कोटिंग रोटेशन प्लेट, TaC लेपित वेफर ससेप्टर, TaC लेपित डिफ्लेक्टर रिंग, CVD TaC कोटिंग कव्हर, TaC लेपित चकइ., शुद्धता 5ppm पेक्षा कमी आहे, ग्राहकांच्या गरजा पूर्ण करू शकते.

TaC कोटिंग ग्रेफाइट उच्च-शुद्धतेच्या ग्रेफाइट सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर टँटलम कार्बाइडच्या बारीक थराने प्रोप्रायटरी केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (CVD) प्रक्रियेद्वारे कोटिंग करून तयार केले जाते. फायदा खालील चित्रात दर्शविला आहे:

Excellent properties of TaC coating graphite

टँटलम कार्बाइड (TaC) लेपने त्याच्या 3880°C पर्यंत उच्च वितळण्याचा बिंदू, उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ती, कडकपणा आणि थर्मल धक्क्यांचा प्रतिकार यामुळे लक्ष वेधून घेतले आहे, ज्यामुळे ते उच्च तापमान आवश्यकतांसह मिश्रित सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी प्रक्रियेसाठी एक आकर्षक पर्याय बनले आहे. जसे की Aixtron MOCVD सिस्टीम आणि LPE SiC epitaxy प्रक्रिया. यामध्ये देखील विस्तृत अनुप्रयोग आहे PVT पद्धत SiC क्रिस्टल वाढ प्रक्रिया.

प्रमुख वैशिष्ट्ये:

●तापमान स्थिरता

●अल्ट्रा उच्च शुद्धता

●H2, NH3, SiH4, Si ला प्रतिकार

●थर्मल स्टॉकचा प्रतिकार

●ग्रेफाइटला मजबूत आसंजन

●कॉन्फॉर्मल कोटिंग कव्हरेज

● 750 मिमी व्यासापर्यंतचा आकार (चीनमधील एकमेव निर्माता या आकारापर्यंत पोहोचतो)

अर्ज:

●वेफर वाहक

● प्रेरक हीटिंग ससेप्टर

● प्रतिरोधक गरम घटक

●सॅटेलाइट डिस्क

●शॉवर डोके

●मार्गदर्शक रिंग

●एलईडी Epi रिसीव्हर

●इंजेक्शन नोजल

●मास्किंग रिंग

● हीट शील्ड

मायक्रोस्कोपिक क्रॉस-सेक्शनवर टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

VeTek सेमीकंडक्टर टँटलम कार्बाइड कोटिंगचे पॅरामीटर:

TaC कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म
घनता	14.3 (g/cm³)
विशिष्ट उत्सर्जन	0.3
थर्मल विस्तार गुणांक	६.३ १०^-6/के
कडकपणा (HK)	2000 HK
प्रतिकार	1×10^-5ओम* सेमी
थर्मल स्थिरता	<2500℃
ग्रेफाइटचा आकार बदलतो	-10~-20um
कोटिंग जाडी	≥20um ठराविक मूल्य (35um±10um)

TaC कोटिंग EDX डेटा：

EDX data of TaC coating

TaC कोटिंग क्रिस्टल स्ट्रक्चर डेटा:

घटक	अणु टक्के
	पं. १	पं. 2	पं. 3	सरासरी
सी के	52.10	57.41	52.37	53.96
एम	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC कोटिंग चक TaC कोटिंग प्लॅनेटरी डिस्क
TaC लेपित प्लेट TaC कोटिंग रोटेशन प्लेट TaC कोटिंग रिसीव्हर CVD TaC कोटिंग कव्हर CVD TaC कोटिंग रिंग TaC कोटिंग प्लेट

View as

CVD TaC लेपित ग्रेफाइट रिंग

Veteksemicon ची CVD TaC कोटेड ग्रेफाइट रिंग सेमीकंडक्टर वेफर प्रोसेसिंगच्या अत्यंत गरजा पूर्ण करण्यासाठी इंजिनिअर केलेली आहे. केमिकल वाफ डिपॉझिशन (CVD) तंत्रज्ञानाचा वापर करून, एक दाट आणि एकसमान टँटलम कार्बाइड (TaC) लेप उच्च-शुद्ध ग्रेफाइट सब्सट्रेट्सवर लागू केले जाते, अपवादात्मक कडकपणा, पोशाख प्रतिरोध आणि रासायनिक जडत्व प्राप्त करते. सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशनमध्ये, CVD TaC कोटेड ग्रेफाइट रिंगचा MOCVD, एचिंग, डिफ्यूजन आणि एपिटॅक्सियल ग्रोथ चेंबर्समध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापर केला जातो, जो वेफर वाहक, ससेप्टर्स आणि शील्डिंग असेंब्लीसाठी मुख्य स्ट्रक्चरल किंवा सीलिंग घटक म्हणून काम करतो. तुमच्या पुढील सल्लामसलतीची वाट पाहत आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सच्छिद्र TaC लेपित ग्रेफाइट रिंग

VETEK द्वारे उत्पादित सच्छिद्र TaC लेपित ग्रेफाइट रिंग हलक्या वजनाच्या सच्छिद्र ग्रेफाइट सब्सट्रेटचा वापर करते आणि उच्च-शुद्धतेच्या टँटलम कार्बाईड लेपसह लेपित आहे, उच्च तापमान, संक्षारक वायू आणि प्लाझ्मा इरोशन यांना उत्कृष्ट प्रतिकार वैशिष्ट्यीकृत करते.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

टीएसी लेपित ग्रेफाइट मार्गदर्शक रिंग

आमच्या टीएसी-लेपित ग्रेफाइट गाईड रिंग्ज सेमीकंडक्टर वेफर मॅन्युफॅक्चरिंगसाठी अचूक कोर घटक आहेत. त्यांच्यात वेअर-प्रतिरोधक आणि रासायनिक जड टॅन्टलम कार्बाईड (टीएसी) कोटिंगसह लेपित उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट सब्सट्रेट वैशिष्ट्यीकृत आहे. एपिटॅक्सियल जमा आणि प्लाझ्मा एचिंग यासारख्या प्रक्रियेची मागणी करण्यासाठी डिझाइन केलेले, ते तंतोतंत वेफर संरेखन आणि स्थिरता सुनिश्चित करतात, दूषिततेवर प्रभावीपणे नियंत्रण ठेवतात आणि घटकांचे जीवन लक्षणीय प्रमाणात वाढवतात. आपल्या उपकरणे आणि प्रक्रियेच्या आवश्यकतांशी योग्यरित्या जुळण्यासाठी वेटेकसेमॉन सानुकूलित सेवा ऑफर करते.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

एसआयसी सिंगल क्रिस्टलच्या पीव्हीटी वाढीसाठी टीएसी कोटेड रिंग

चीनमधील टीएसी कोटिंग उत्पादन पुरवठादारांपैकी एक म्हणून, वेटेक सेमीकंडक्टर ग्राहकांना उच्च-गुणवत्तेचे टीएसी कोटिंग सानुकूलित भाग प्रदान करण्यास सक्षम आहे. एसआयसी सिंगल क्रिस्टलच्या पीव्हीटी ग्रोथसाठी टीएसी कोटेड रिंग वेटेक सेमीकंडक्टरच्या सर्वात थकबाकी आणि परिपक्व उत्पादनांपैकी एक आहे. हे एसआयसी क्रिस्टल प्रक्रियेच्या पीव्हीटी वाढीमध्ये महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते आणि ग्राहकांना उच्च-गुणवत्तेच्या एसआयसी क्रिस्टल्स वाढविण्यात मदत करू शकते. आपल्या चौकशीची अपेक्षा आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सीव्हीडी टीएसी लेपित थ्री-पिटल मार्गदर्शक रिंग

वेटेक सेमीकंडक्टरने बर्‍याच वर्षांच्या तांत्रिक विकासाचा अनुभव घेतला आहे आणि सीव्हीडी टीएसी कोटिंगच्या अग्रगण्य प्रक्रियेच्या तंत्रज्ञानामध्ये प्रभुत्व मिळवले आहे. सीव्हीडी टीएसी लेपित थ्री-पेटल गाईड रिंग वेटेक सेमीकंडक्टरच्या सर्वात परिपक्व सीव्हीडी टीएसी कोटिंग उत्पादनांपैकी एक आहे आणि पीव्हीटी पद्धतीने एसआयसी क्रिस्टल्स तयार करण्यासाठी एक महत्त्वपूर्ण घटक आहे. वेटेक सेमीकंडक्टरच्या मदतीने, माझा विश्वास आहे की आपले एसआयसी क्रिस्टल उत्पादन नितळ आणि अधिक कार्यक्षम असेल.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

टँटलम कार्बाईड कोटिंग रिंग

वेटेक सेमीकंडक्टर टॅन्टलम कार्बाईड कोटिंग रिंग सेमीकंडक्टर उद्योगातील एक अपरिहार्य घटक आहे, विशेषत: एसआयसी वेफर्सच्या एचिंगमध्ये. त्याचे ग्रेफाइट बेस आणि टीएसी कोटिंगचे संयोजन उच्च-तापमान आणि रासायनिक आक्रमक वातावरणात उत्कृष्ट कामगिरी सुनिश्चित करते. त्याच्या वर्धित थर्मल स्थिरता, गंज प्रतिरोध आणि यांत्रिक सामर्थ्यासह, टॅन्टलम कार्बाईड लेपित रिंग अर्धसंवाहक उत्पादकांना त्यांच्या उत्पादन प्रक्रियेत सुस्पष्टता, विश्वसनीयता आणि उच्च-गुणवत्तेचा परिणाम प्राप्त करण्यास मदत करते.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

चीनमधील एक व्यावसायिक टँटलम कार्बाइड कोटिंग निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून आमच्याकडे आमचा स्वतःचा कारखाना आहे. आपल्या प्रदेशाच्या विशिष्ट गरजा भागविण्यासाठी आपल्याला सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असल्यास किंवा चीनमध्ये बनविलेले प्रगत आणि टिकाऊ {77 brook खरेदी करायचे असल्यास आपण आम्हाला एक संदेश सोडू शकता.