CVD टँटलम कार्बाइड (TaC) लेपित ससेप्टर

प्रमुख वैशिष्ट्ये

अर्ज

ठराविक अनुप्रयोगांमध्ये हे समाविष्ट आहे:

• SiC एपिटॅक्सियल ग्रोथ

• GaN MOCVD Epitaxy

• AlN एपिटॅक्सियल ग्रोथ

• थर्ड जनरेशन सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग

• हाय-पॉवर इलेक्ट्रॉनिक्स

• RF उपकरणे

• मायक्रोएलईडी उत्पादन

• संशोधन आणि पायलट उत्पादन प्रणाली

सुसंगत उपकरणे

सुसंगत प्लॅटफॉर्ममध्ये हे समाविष्ट आहे:

• Aixtron

• LPE

• वीको

• AMEC

• NuFlare

• सानुकूल CVD आणि MOCVD अणुभट्ट्या

तसेच उपलब्ध:

• वेफर वाहक

• ग्रहांचे संवेदक

• बॅरल ससेप्टर्स

• रोटेशन डिस्क

• अर्ध-चंद्राचे भाग

• कव्हर प्लेट्स

• ग्रेफाइट असेंब्ली

• सानुकूल थर्मल फील्ड घटक

तांत्रिक तपशील

वारंवार विचारले जाणारे प्रश्न

1. CVD TaC कोटेड ससेप्टर म्हणजे काय?

दाट CVD TaC कोटिंगद्वारे संरक्षित केलेला उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट घटक एपिटॅक्सियल वाढीदरम्यान वेफर वाहक म्हणून वापरला जातो.

2. TaC coa का वापराSiC कोटिंग ऐवजी टिंग?

TaC उच्च तापमान प्रतिकार, उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता आणि दीर्घ सेवा आयुष्य देते.

3.कोणत्या सेमीकंडक्टर प्रक्रिया TaC-c वापरतातoated susceptors?

SiC epitaxy, GaN MOCVD, AlN epitaxy, आणि इतर उच्च-तापमान क्रिस्टल वाढ प्रक्रिया.

4. VETEK सानुकूलित ससेप्टर्स तयार करू शकतो?

होय. आम्ही ग्राहक रेखाचित्रे आणि प्रक्रिया आवश्यकतांवर आधारित सानुकूलित डिझाइन प्रदान करतो.

5. कोणते अणुभट्टी ब्रँड समर्थित आहेत?

Aixtron, LPE, Veeco, AMEC, NuFlare आणि इतर मुख्य प्रवाहातील प्रणाली.