VeTek सेमीकंडक्टरचे अनन्य कार्बाइड कोटिंग्स SiC Epitaxy प्रक्रियेतील ग्रेफाइट भागांना मागणी असलेल्या सेमीकंडक्टर आणि संमिश्र सेमीकंडक्टर सामग्रीच्या प्रक्रियेसाठी उत्कृष्ट संरक्षण प्रदान करतात. याचा परिणाम म्हणजे विस्तारित ग्रेफाइट घटकांचे आयुष्य, प्रतिक्रिया स्टोइचियोमेट्रीचे संरक्षण, एपिटॅक्सी आणि क्रिस्टल ग्रोथ ऍप्लिकेशनमध्ये अशुद्धतेचे स्थलांतर रोखणे, परिणामी उत्पादन आणि गुणवत्ता वाढते.
आमचे टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स उच्च तापमानात (2200°C पर्यंत) गंभीर भट्टी आणि अणुभट्टी घटकांना गरम अमोनिया, हायड्रोजन, सिलिकॉन वाष्प आणि वितळलेल्या धातूपासून संरक्षित करतात. VeTek सेमीकंडक्टरमध्ये तुमच्या सानुकूलित गरजा पूर्ण करण्यासाठी ग्रेफाइट प्रक्रिया आणि मोजमाप क्षमतांची विस्तृत श्रेणी आहे, त्यामुळे आम्ही तुमच्यासाठी आणि तुमच्या विशिष्ट अनुप्रयोगासाठी योग्य उपाय डिझाइन करण्यासाठी आमच्या तज्ञ अभियंत्यांच्या टीमसह फी-पेइंग कोटिंग किंवा पूर्ण-सेवा देऊ शकतो. .
मिश्रित अर्धसंवाहक क्रिस्टल्स
VeTek सेमीकंडक्टर विविध घटक आणि वाहकांसाठी विशेष TaC कोटिंग प्रदान करू शकतो. VeTek सेमीकंडक्टरच्या उद्योगातील अग्रगण्य कोटिंग प्रक्रियेद्वारे, TaC कोटिंग उच्च शुद्धता, उच्च तापमान स्थिरता आणि उच्च रासायनिक प्रतिरोधकता प्राप्त करू शकते, ज्यामुळे क्रिस्टल TaC/GaN) आणि EPl स्तरांची उत्पादन गुणवत्ता सुधारते आणि गंभीर अणुभट्टी घटकांचे आयुष्य वाढवते.
थर्मल इन्सुलेटर
क्रुसिबल, सीड होल्डर, डिफ्लेक्टर आणि फिल्टरसह SiC, GaN आणि AlN क्रिस्टल वाढीचे घटक. रेझिस्टिव्ह हीटिंग एलिमेंट्स, नोझल्स, शिल्डिंग रिंग्स आणि ब्रेझिंग फिक्स्चर, GaN आणि SiC एपिटॅक्सियल CVD रिॲक्टर घटकांसह वेफर कॅरियर्स, सॅटेलाइट ट्रे, शॉवर हेड्स, कॅप्स आणि पेडेस्टल्स, MOCVD घटकांसह औद्योगिक असेंब्ली.
उद्देश:
● LED (प्रकाश उत्सर्जक डायोड) वेफर वाहक
● ALD(सेमीकंडक्टर) रिसीव्हर
● EPI रिसेप्टर (SiC Epitaxy प्रक्रिया)
SiC कोटिंग आणि TaC कोटिंगची तुलना:
|
|
SiC
|
TaC
|
|
मुख्य वैशिष्ट्ये
|
अल्ट्रा उच्च शुद्धता, उत्कृष्ट प्लाझ्मा प्रतिकार
|
उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता (उच्च तापमान प्रक्रिया अनुरूपता)
|
|
शुद्धता
|
>99.9999%
|
>99.9999%
|
|
घनता (g/cm3)
|
3.21
|
15
|
|
कडकपणा (किलो/मिमी2)
|
2900-3300
|
६.७-७.२
|
|
प्रतिरोधकता [Ωcm]
|
0.1-15,000
|
<1
|
|
थर्मल चालकता (W/m-K)
|
200-360
|
22
|
|
थर्मल विस्ताराचे गुणांक(10-6/℃)
|
४.५-५
|
6.3
|
|
अर्ज
|
सेमीकंडक्टर उपकरणे सिरेमिक जिग (फोकस रिंग, शॉवर हेड, डमी वेफर)
|
SiC सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ, Epi, UV LED उपकरणे भाग
|
