SiC Epitaxy प्रक्रिया

VeTek सेमीकंडक्टरचे अनन्य कार्बाइड कोटिंग्स SiC Epitaxy प्रक्रियेतील ग्रेफाइट भागांना मागणी असलेल्या सेमीकंडक्टर आणि संमिश्र सेमीकंडक्टर सामग्रीच्या प्रक्रियेसाठी उत्कृष्ट संरक्षण प्रदान करतात. याचा परिणाम म्हणजे विस्तारित ग्रेफाइट घटकांचे आयुष्य, प्रतिक्रिया स्टोइचियोमेट्रीचे संरक्षण, एपिटॅक्सी आणि क्रिस्टल ग्रोथ ऍप्लिकेशनमध्ये अशुद्धतेचे स्थलांतर रोखणे, परिणामी उत्पादन आणि गुणवत्ता वाढते.

आमचे टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स उच्च तापमानात (2200°C पर्यंत) गंभीर भट्टी आणि अणुभट्टी घटकांना गरम अमोनिया, हायड्रोजन, सिलिकॉन वाष्प आणि वितळलेल्या धातूपासून संरक्षित करतात. VeTek सेमीकंडक्टरमध्ये तुमच्या सानुकूलित गरजा पूर्ण करण्यासाठी ग्रेफाइट प्रक्रिया आणि मोजमाप क्षमतांची विस्तृत श्रेणी आहे, त्यामुळे आम्ही तुमच्यासाठी आणि तुमच्या विशिष्ट अनुप्रयोगासाठी योग्य उपाय डिझाइन करण्यासाठी आमच्या तज्ञ अभियंत्यांच्या टीमसह फी-पेइंग कोटिंग किंवा पूर्ण-सेवा देऊ शकतो. .

मिश्रित अर्धसंवाहक क्रिस्टल्स

VeTek सेमीकंडक्टर विविध घटक आणि वाहकांसाठी विशेष TaC कोटिंग प्रदान करू शकतो. VeTek सेमीकंडक्टरच्या उद्योगातील अग्रगण्य कोटिंग प्रक्रियेद्वारे, TaC कोटिंग उच्च शुद्धता, उच्च तापमान स्थिरता आणि उच्च रासायनिक प्रतिरोधकता प्राप्त करू शकते, ज्यामुळे क्रिस्टल TaC/GaN) आणि EPl स्तरांची उत्पादन गुणवत्ता सुधारते आणि गंभीर अणुभट्टी घटकांचे आयुष्य वाढवते.

थर्मल इन्सुलेटर

क्रुसिबल, सीड होल्डर, डिफ्लेक्टर आणि फिल्टरसह SiC, GaN आणि AlN क्रिस्टल वाढीचे घटक. रेझिस्टिव्ह हीटिंग एलिमेंट्स, नोझल्स, शिल्डिंग रिंग्स आणि ब्रेझिंग फिक्स्चर, GaN आणि SiC एपिटॅक्सियल CVD रिॲक्टर घटकांसह वेफर कॅरियर्स, सॅटेलाइट ट्रे, शॉवर हेड्स, कॅप्स आणि पेडेस्टल्स, MOCVD घटकांसह औद्योगिक असेंब्ली.

उद्देश:

● LED (प्रकाश उत्सर्जक डायोड) वेफर वाहक

● ALD(सेमीकंडक्टर) रिसीव्हर

● EPI रिसेप्टर (SiC Epitaxy प्रक्रिया)

CVD TaC कोटिंग ग्रहांचा SiC एपिटॅक्सियल ससेप्टर SiC एपिटॅक्सियल अणुभट्टीसाठी TaC लेपित रिंग TaC लेपित तीन-पाकळ्यांची रिंग LPE साठी टँटलम कार्बाइड लेपित हाफमून भाग

SiC कोटिंग आणि TaC कोटिंगची तुलना:

	SiC	TaC
मुख्य वैशिष्ट्ये	अल्ट्रा उच्च शुद्धता, उत्कृष्ट प्लाझ्मा प्रतिकार	उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता (उच्च तापमान प्रक्रिया अनुरूपता)
शुद्धता	>99.9999%	>99.9999%
घनता (g/cm³)	3.21	15
कडकपणा (किलो/मिमी²)	2900-3300	६.७-७.२
प्रतिरोधकता [Ωcm]	0.1-15,000	<1
थर्मल चालकता (W/m-K)	200-360	22
थर्मल विस्ताराचे गुणांक(10^-6/℃)	४.५-५	6.3
अर्ज	सेमीकंडक्टर उपकरणे सिरेमिक जिग (फोकस रिंग, शॉवर हेड, डमी वेफर)	SiC सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ, Epi, UV LED उपकरणे भाग

View as

सीव्हीडी टीएसी लेपित थ्री-पिटल मार्गदर्शक रिंग

वेटेक सेमीकंडक्टरने बर्‍याच वर्षांच्या तांत्रिक विकासाचा अनुभव घेतला आहे आणि सीव्हीडी टीएसी कोटिंगच्या अग्रगण्य प्रक्रियेच्या तंत्रज्ञानामध्ये प्रभुत्व मिळवले आहे. सीव्हीडी टीएसी लेपित थ्री-पेटल गाईड रिंग वेटेक सेमीकंडक्टरच्या सर्वात परिपक्व सीव्हीडी टीएसी कोटिंग उत्पादनांपैकी एक आहे आणि पीव्हीटी पद्धतीने एसआयसी क्रिस्टल्स तयार करण्यासाठी एक महत्त्वपूर्ण घटक आहे. वेटेक सेमीकंडक्टरच्या मदतीने, माझा विश्वास आहे की आपले एसआयसी क्रिस्टल उत्पादन नितळ आणि अधिक कार्यक्षम असेल.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

टँटलम कार्बाईड लेपित सच्छिद्र ग्रेफाइट

टॅन्टलम कार्बाईड लेपित सच्छिद्र ग्रेफाइट सेमीकंडक्टर प्रक्रिया प्रक्रियेतील एक अपरिहार्य उत्पादन आहे, विशेषत: एसआयसी क्रिस्टल ग्रोथ प्रक्रियेमध्ये. सतत अनुसंधान व विकास गुंतवणूक आणि तंत्रज्ञान सुधारणानंतर, वेटेक सेमीकंडक्टरच्या टीएसी लेपित सच्छिद्र ग्रेफाइट उत्पादन गुणवत्तेने युरोपियन आणि अमेरिकन ग्राहकांकडून उच्च स्तुती केली आहे. आपल्या पुढील सल्लामसलत मध्ये आपले स्वागत आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सीव्हीडी टीएसी कोटिंग प्लॅनेटरी एसआयसी एपिटॅक्सियल संवेदनशील

CVD TaC कोटिंग प्लॅनेटरी SiC एपिटॅक्सियल ससेप्टर हा MOCVD प्लॅनेटरी अणुभट्टीच्या मुख्य घटकांपैकी एक आहे. CVD TaC कोटिंग प्लॅनेटरी SiC epitaxial susceptor द्वारे, मोठी डिस्क परिभ्रमण करते आणि लहान डिस्क फिरते, आणि क्षैतिज प्रवाह मॉडेल मल्टी-चिप मशीनपर्यंत विस्तारित केले जाते, जेणेकरून त्यात उच्च-गुणवत्तेचे एपिटॅक्सियल तरंगलांबी एकरूपता व्यवस्थापन आणि दोष ऑप्टिमायझेशन दोन्ही आहे. -चिप मशीन आणि मल्टी-चिपचे उत्पादन खर्च फायदे machines.VeTek सेमीकंडक्टर ग्राहकांना उच्च सानुकूलित CVD TaC कोटिंग प्लॅनेटरी SiC एपिटॅक्सियल ससेप्टर प्रदान करू शकते. तुम्हालाही Aixtron सारखी ग्रहांची MOCVD भट्टी बनवायची असेल तर आमच्याकडे या!

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

गॅन एपिटॅक्सी अंडरटेकर

वेटेक सेमीकंडक्टर ही एक चिनी कंपनी आहे जी जागतिक दर्जाची निर्माता आणि जीएएन एपिटॅक्सी सासेप्टरची पुरवठादार आहे. आम्ही बर्‍याच काळापासून सिलिकॉन कार्बाईड कोटिंग्ज आणि गॅन एपिटॅक्सी स्यूससेप्टर सारख्या सेमीकंडक्टर उद्योगात काम करत आहोत. आम्ही आपल्याला उत्कृष्ट उत्पादने आणि अनुकूल किंमती प्रदान करू शकतो. वेटेक सेमीकंडक्टर आपला दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी उत्सुक आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

टीएसी लेपित वेफर स्यूससेप्टर

वेफर गुणवत्ता आणि कार्यक्षमता सुधारण्यासाठी वेटेक सेमीकंडक्टर टीएसी लेपित वेफर स्यूससेप्टर एक ग्रेफाइट ट्रे टँटलम कार्बाईडसह सिलिकॉन कार्बाईड एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी लेपित आहे. उत्कृष्ट एसआयसी एपिटॅक्सी निकाल आणि विस्तारित संवेदनशील जीवन सुनिश्चित करण्यासाठी प्रगत कोटिंग तंत्रज्ञान आणि टिकाऊ उपायांमुळे वेटेकची निवड केली गेली आहे, आपल्या पुढील चौकशीचे स्वागत करा.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

टीएसी कोटिंग मार्गदर्शक रिंग्ज

चीनमधील टीएसी कोटिंग गाईड रिंग्ज उत्पादनांचे अग्रगण्य निर्माता म्हणून, वेटेक सेमीकंडक्टर टीएसी लेपित मार्गदर्शक रिंग्ज एमओसीव्हीडी उपकरणांमधील महत्त्वपूर्ण घटक आहेत, जे एपिटॅक्सियल ग्रोथ दरम्यान अचूक आणि स्थिर गॅस वितरण सुनिश्चित करतात आणि सेमीकंडक्टर एपिटेक्सियल वाढीमध्ये एक अपरिहार्य सामग्री आहेत. आमच्याशी सल्लामसलत करण्यासाठी आपले स्वागत आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

चीनमधील एक व्यावसायिक SiC Epitaxy प्रक्रिया निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून आमच्याकडे आमचा स्वतःचा कारखाना आहे. आपल्या प्रदेशाच्या विशिष्ट गरजा भागविण्यासाठी आपल्याला सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असल्यास किंवा चीनमध्ये बनविलेले प्रगत आणि टिकाऊ {77 brook खरेदी करायचे असल्यास आपण आम्हाला एक संदेश सोडू शकता.