TaC लेपित ग्रेफाइट वेफर कव्हर रिंग

मुख्य तांत्रिक फायदे

• अपवादात्मक रासायनिक प्रतिकार: 1200°C आणि 2000°C दरम्यानच्या तापमानात कठोर कोरीव वायू (H₂, NH₃, HCl) सहन करण्यासाठी अभियंता.

• थर्मल विस्तार जुळणी: आमची मालकी असलेली CVD प्रक्रिया TaC कोटिंगमध्ये ग्रेफाइट सब्सट्रेटशी ऑप्टिमाइझ केलेले CTE (थर्मल विस्तार गुणांक) जुळत असल्याची खात्री करते, जलद थर्मल सायकलिंग दरम्यान सोलणे किंवा क्रॅक होण्यापासून प्रतिबंधित करते.

• सुपीरियर पार्टिकल कंट्रोल: सच्छिद्र ग्रेफाइट पूर्णपणे सील करून, TaC लेयर कण कमी करते, थेट तुमचे वेफर उत्पन्न वाढवते आणि अणुभट्टीचा डाउनटाइम कमी करते.

• विस्तारित सेवा जीवन: उच्च पोशाख-प्रतिरोधक पृष्ठभाग जी वारंवार साफसफाईची चक्रे सहन करते, अनकोटेड किंवा SiC-कोटेड पर्यायांच्या तुलनेत लक्षणीयरीत्या कमी मालकीची किंमत (CoO) ऑफर करते.

मायक्रोस्कोपिक क्रॉस-सेक्शनवर टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग

TaC कोटेड ग्रेफाइट वेफर कव्हर रिंगचे उत्पादन पॅरामीटर

आमची TaC कव्हर रिंग का निवडावी?

आम्ही समजतो की सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशनमध्ये, विश्वासार्हता नफ्याच्या बरोबरीची असते. आमच्या TaC कोटेड ग्रेफाइट वेफर कव्हर रिंग्सची कोटिंग घनता आणि शुद्धतेसाठी बॅच-चाचणी केली जाते. तुम्ही 6-इंच ते 8-इंच वेफर उत्पादनात बदल करत असाल किंवा उच्च-तापमान MOCVD प्रक्रिया अनुकूल करत असाल, आमच्या रिंग जागतिक दर्जाच्या एपिटॅक्सीसाठी आवश्यक थर्मल आणि रासायनिक संरक्षण प्रदान करतात.