टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग म्हणजे काय? गुणधर्म, CVD आणि अनुप्रयोग

टँटलम कार्बाइड (TaC) म्हणजे काय?

टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग हा उच्च-तापमानाचा सिरेमिक संरक्षणात्मक स्तर आहे जो ग्रेफाइट आणि निवडलेल्या कार्बन-आधारित घटकांवर लागू होतो. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये, CVD TaC कोटिंग्जचा वापर सिसी सिंगल-क्रिस्टल ग्रोथ आणि एपिटॅक्सियल प्रोसेसिंगसह मागणी असलेल्या ऍप्लिकेशन्समध्ये गंभीर भट्टी आणि अणुभट्टी भागांचे संरक्षण करण्यासाठी केला जातो. कोटिंगची कार्यक्षमता त्याच्या मायक्रोस्ट्रक्चर, शुद्धता, जाडी, आसंजन आणि ऑपरेटिंग वातावरणाशी सुसंगतता यावर अवलंबून असते.

टँटलम कार्बाइड कोटिंगगरम अमोनिया, हायड्रोजन, सिलिकॉन बाष्प आणि वितळलेल्या धातूच्या प्रभावापासून ग्रेफाइट घटकांचे प्रभावीपणे संरक्षण करू शकते, कठोर वापर वातावरणात, ग्रेफाइट घटकांचे सेवा जीवन लक्षणीयरीत्या वाढवते आणि ग्रेफाइटमधील अशुद्धतेचे स्थलांतर दडपते, गुणवत्ता सुनिश्चित करते.एपिटॅक्सियलआणिक्रिस्टल वाढ.

आकृती 1. सामान्य टँटलम कार्बाइड लेपित घटक

CVD प्रक्रियेद्वारे TaC कोटिंग तयार करणे

ग्रेफाइट पृष्ठभागांवर TaC कोटिंग्ज तयार करण्यासाठी रासायनिक वाफ जमा करणे (CVD) ही सर्वात परिपक्व आणि इष्टतम पद्धत आहे.

TaCl5 आणि Propylene यांचा अनुक्रमे कार्बन आणि टँटलम स्त्रोत म्हणून आणि आर्गॉनचा वाहक वायू म्हणून वापर करून, उच्च-तापमान वाष्पयुक्त TaCl5 वाष्प अभिक्रिया कक्षेत आणले जाते. लक्ष्य तापमान आणि दाबावर, ग्रेफाइटच्या पृष्ठभागावर पूर्ववर्ती सामग्री वाष्प शोषून घेते, ज्यामध्ये कार्बन आणि टँटलम स्त्रोतांचे विघटन आणि संयोजन यासारख्या जटिल रासायनिक अभिक्रियांच्या मालिकेतून तसेच पूर्ववर्तीच्या उप-उत्पादनांचे प्रसार आणि विच्छेदन यासारख्या पृष्ठभागाच्या प्रतिक्रियांची मालिका होते. शेवटी, ग्रेफाइटच्या पृष्ठभागावर एक दाट संरक्षणात्मक थर तयार होतो, जो अत्यंत पर्यावरणीय परिस्थितीत ग्रेफाइटचे स्थिर अस्तित्वापासून संरक्षण करतो आणि ग्रेफाइट सामग्रीच्या अनुप्रयोगाच्या परिस्थितीचा लक्षणीय विस्तार करतो.

आकृती 2.रासायनिक वाष्प जमा (CVD) प्रक्रियेचे तत्त्व

CVD TaC कोटिंग तयार करण्याच्या तत्त्वांबद्दल आणि प्रक्रियेबद्दल अधिक माहितीसाठी, कृपया लेख पहा:CVD TaC कोटिंग कशी तयार करावी?

वेटेकसेमिकॉन का निवडावे?

वेटेकसेमिकॉनमुख्यतः टँटलम कार्बाइड उत्पादने प्रदान करते: TaC मार्गदर्शक रिंग, TaC लेपित तीन पाकळ्या रिंग,TaC कोटिंग क्रूसिबल,TaC कोटिंग सच्छिद्र ग्रेफाइट मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात SiC क्रिस्टल वाढ प्रक्रिया; TaC कोटेड, TaC कोटेड गाईड रिंगसह सच्छिद्र ग्रेफाइट,TaC लेपित ग्रेफाइट वेफर वाहक, TaC कोटिंग ससेप्टर्स,ग्रह संवेदक, आणि या टँटलम कार्बाइड कोटिंग उत्पादने मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातातSiC epitaxy प्रक्रियाआणिSiC सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ प्रक्रिया.

आकृती 3.VeTek सेमीकंडक्टरची सर्वाधिक लोकप्रिय टँटलम कार्बाइड कोटिंग उत्पादने

TaC कोटिंग बद्दल वारंवार विचारले जाणारे प्रश्न

1. TaC कोटिंग कशासाठी वापरली जाते?

TaC कोटिंगचा वापर ग्रेफाइट आणि निवडलेल्या कार्बन-आधारित घटकांचे औष्णिक आणि रासायनिक वातावरणात संरक्षण करण्यासाठी केला जातो. महत्त्वाच्या ऍप्लिकेशन्समध्ये SiC क्रिस्टल-ग्रोथ उपकरणे आणि काही सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल-प्रोसेसिंग घटक समाविष्ट आहेत.

2. TaC आणि SiC कोटिंगमध्ये काय फरक आहे?

TaC आणि SiC हे भिन्न थर्मल, रासायनिक आणि यांत्रिक गुणधर्मांसह भिन्न कार्बाइड सामग्री आहेत. TaC निवडलेल्या अति-तापमान क्रिस्टल-वाढीच्या वातावरणात उपयुक्त ठरू शकते, तर CVD SiC सेमीकंडक्टर रिॲक्टर घटकांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर स्थापित केले जाते. निवड अर्जावर अवलंबून असते.

3. SiC क्रिस्टल ग्रोथमध्ये TaC कोटिंग का वापरली जाते?

TaC कोटिंग्ज ग्रेफाइट घटकांना SiC PVT प्रक्रिया वातावरणाची मागणी करण्यापासून संरक्षण करण्यास मदत करू शकतात. योग्यरित्या पात्र कोटिंग डिझाइनमुळे सब्सट्रेटचा ऱ्हास आणि संबंधित दूषित होण्याचे धोके कमी होऊ शकतात.

4. TaC कोटिंग क्रॅकिंग किंवा डेलेमिनेशन कशामुळे होते?

संभाव्य कारणांमध्ये अवशिष्ट ताण, तापमान ग्रेडियंट, सब्सट्रेट दोष, विसंगत थर्मल सायकलिंग आणि कोटिंग-इंटरफेस डिग्रेडेशन यांचा समावेश होतो. वास्तविक कारण स्थापित करण्यासाठी तपशीलवार अपयशाचे विश्लेषण आवश्यक आहे.

5. TaC कोटिंग टँटलम मेटल कोटिंग किंवा ta-C कोटिंग सारखेच आहे का?

क्र. TaC हे टँटलम कार्बाइड आहे, टँटलम आणि कार्बनचे सिरॅमिक कंपाऊंड. टँटलम मेटल कोटिंग ही एक वेगळी सामग्री आहे, तर ta-C सामान्यत: टेट्राहेड्रल अमोर्फस कार्बनचा संदर्भ देते, हीरा-समान कार्बन कोटिंगचा एक प्रकार.

6. TaC-कोटेड ग्रेफाइट घटक सानुकूलित केले जाऊ शकतात?

अभियांत्रिकी पुनरावलोकनासाठी घटक भूमिती, ग्रेफाइट ग्रेड, कोटिंग आवश्यकता आणि तपासणी निकष निर्दिष्ट केले जाऊ शकतात. मॅन्युफॅक्चरिंग व्यवहार्यता आणि साध्य करण्यायोग्य सहिष्णुता अर्ज आणि मंजूर रेखाचित्रांविरुद्ध पुष्टी केली पाहिजे.