QR कोड
आमच्याबद्दल
उत्पादने
आमच्याशी संपर्क साधा


फॅक्स
+86-579-87223657

ई-मेल

पत्ता
वांगडा रोड, झियांग स्ट्रीट, वुई काउंटी, जिन्हुआ सिटी, झेजियांग प्रांत, चीन
टॅन्टलम कार्बाइड (टीएसी) सिरेमिक मटेरियलमध्ये 3880 ℃ पर्यंत वितळणारा बिंदू आहे आणि उच्च वितळणारा बिंदू आणि चांगली रासायनिक स्थिरता असलेले एक कंपाऊंड आहे. हे उच्च तापमान वातावरणात स्थिर कार्यक्षमता राखू शकते. याव्यतिरिक्त, यात उच्च तापमान प्रतिकार, रासायनिक गंज प्रतिकार आणि कार्बन सामग्रीसह चांगले रासायनिक आणि यांत्रिक अनुकूलता देखील आहे, ज्यामुळे ते एक आदर्श ग्रेफाइट सब्सट्रेट संरक्षणात्मक कोटिंग सामग्री बनते.
टीएसी कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म
घनता
14.3 (जी/सेमी)
विशिष्ट एमिसिव्हिटी
0.3
औष्णिक विस्तार गुणांक
6.3*10-6/के
कडकपणा (एचके)
2000 एचके
प्रतिकार
1 × 10-5 ओम*सेमी
थर्मल स्थिरता
<2500 ℃
ग्रेफाइट आकार बदल
-10 ~ -20um
कोटिंग जाडी
≥20UM ठराविक मूल्य (35um ± 10um)
औष्णिक चालकता
9-22 (डब्ल्यू/एम · के)
टँटलम कार्बाईड कोटिंगग्रेफाइट घटकांच्या परिणामापासून ग्रेफाइट घटकांचे प्रभावीपणे संरक्षण करू शकते आणि कठोर वापर वातावरणात पिघळलेल्या धातूचे, ग्रेफाइट घटकांच्या सेवा जीवनात लक्षणीय विस्तारित करते आणि ग्रेफाइटमधील अशुद्धींचे स्थलांतर दडपते, याची खात्री करुन घ्या.Epitaxialआणिक्रिस्टल वाढ.
आकृती 1. सामान्य टँटलम कार्बाईड लेपित घटक
ग्रेफाइट पृष्ठभागावर टीएसी कोटिंग्ज तयार करण्यासाठी केमिकल वाफ जमा (सीव्हीडी) ही सर्वात परिपक्व आणि इष्टतम पद्धत आहे.
अनुक्रमे कार्बन आणि टॅन्टलम स्त्रोत म्हणून टीएसीएल 5 आणि प्रोपिलीनचा वापर करून आणि कॅरियर गॅस म्हणून आर्गॉन, उच्च-तापमान वाष्पयुक्त टीएसीएल 5 वाष्प प्रतिक्रिया चेंबरमध्ये ओळखला जातो. लक्ष्य तापमान आणि दबावानुसार, ग्रॅफाइटच्या पृष्ठभागावर पूर्ववर्ती मटेरियल वाष्प शोषण करते, जटिल रासायनिक प्रतिक्रियांच्या मालिकेत जसे की विघटन आणि कार्बन आणि टॅन्टलम स्त्रोतांचे संयोजन तसेच पृष्ठभागाच्या प्रतिक्रियांची मालिका जसे की प्रसार आणि पूर्ववर्तीच्या उप-उत्पादनांचे निर्दोष. अखेरीस, ग्रेफाइटच्या पृष्ठभागावर एक दाट संरक्षणात्मक स्तर तयार केला जातो, जो अत्यंत पर्यावरणीय परिस्थितीत स्थिर अस्तित्वापासून ग्रेफाइटचे संरक्षण करतो आणि ग्रेफाइट सामग्रीच्या अनुप्रयोगांच्या परिस्थितीत लक्षणीय विस्तार करतो.
आकृती 2.रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी) प्रक्रिया तत्त्व
सीव्हीडी टीएसी कोटिंग तयार करण्याच्या तत्त्वे आणि प्रक्रियेबद्दल अधिक माहितीसाठी, कृपया लेखाचा संदर्भ घ्या:सीव्हीडी टीएसी कोटिंग कसे तयार करावे?
सेमीकॉनप्रामुख्याने टॅन्टलम कार्बाईड उत्पादने प्रदान करतात: टीएसी मार्गदर्शक रिंग, टीएसी लेपित तीन पेटल रिंग,टीएसी कोटिंग क्रूसिबल, टीएसी कोटिंग सच्छिद्र ग्रेफाइटचा मोठ्या प्रमाणात वापर केला जातो एसआयसी क्रिस्टल ग्रोथ प्रक्रिया; टीएसी लेपित, टीएसी लेपित मार्गदर्शक रिंगसह सच्छिद्र ग्रेफाइटटीएसी लेपित ग्रेफाइट वेफर कॅरियर, टीएसी कोटिंग संवेदनाक्षम,ग्रह संवेदनशील, आणि या टॅन्टलम कार्बाईड कोटिंग उत्पादने मोठ्या प्रमाणात वापरली जातातएसआयसी एपिटॅक्सी प्रक्रियाआणिएसआयसी सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ प्रक्रिया.
आकृती 3.पशुवैद्यईके सेमीकंडक्टरची सर्वाधिक लोकप्रिय टँटलम कार्बाईड कोटिंग उत्पादने


+86-579-87223657


वांगडा रोड, झियांग स्ट्रीट, वुई काउंटी, जिन्हुआ सिटी, झेजियांग प्रांत, चीन
कॉपीराइट © 2024 VeTek Semiconductor Technology Co., Ltd. सर्व हक्क राखीव.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |
