एसआयसी एपिटॅक्सियल वाढीसाठी एसआयसी कोटिंग एक मुख्य कोर सामग्री का आहे?

सीव्हीडी उपकरणांमध्ये, सब्सट्रेट थेट धातुवर किंवा फक्त एपिटॅक्सियल जमा करण्यासाठी बेसवर ठेवता येत नाही, कारण त्यात गॅस फ्लो डायरेक्शन (क्षैतिज, अनुलंब), तापमान, दबाव, निर्धारण आणि घसरण प्रदूषक यासारख्या विविध घटकांचा समावेश आहे. म्हणून, बेस आवश्यक आहे, आणि नंतर सब्सट्रेट डिस्कवर ठेवला जातो आणि नंतर सीव्हीडी तंत्रज्ञानाचा वापर करून सब्सट्रेटवर एपिटॅक्सियल डिपॉझिट केले जाते. हा बेस आहेएसआयसी लेपित ग्रेफाइट बेस.

मुख्य घटक म्हणून, ग्रेफाइट बेसमध्ये उच्च विशिष्ट सामर्थ्य आणि मॉड्यूलस, चांगले थर्मल शॉक प्रतिरोध आणि गंज प्रतिरोध आहे, परंतु उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान, अवशिष्ट गंजात्मक वायू आणि धातूच्या सेंद्रिय पदार्थांमुळे ग्रेफाइट कोरडे आणि चूर्ण केले जाईल आणि ग्रेफाइट बेसचे सेवा आयुष्य मोठ्या प्रमाणात कमी केले जाईल. त्याच वेळी, पडलेल्या ग्रेफाइट पावडरमुळे चिपमध्ये दूषित होईल. च्या उत्पादन प्रक्रियेतसिलिकॉन कार्बाईड एपिटॅक्सियल वेफर्स, ग्रेफाइट मटेरियलसाठी लोकांच्या वाढत्या कठोर वापराच्या आवश्यकता पूर्ण करणे कठीण आहे, जे त्याचा विकास आणि व्यावहारिक अनुप्रयोगास गंभीरपणे प्रतिबंधित करते. म्हणून, कोटिंग तंत्रज्ञान वाढू लागले.

सेमीकंडक्टर उद्योगात एसआयसी कोटिंगचे फायदे

कोटिंगच्या भौतिक आणि रासायनिक गुणधर्मांमध्ये उच्च तापमान प्रतिकार आणि गंज प्रतिकार करण्यासाठी कठोर आवश्यकता असते, जे उत्पादनाच्या उत्पन्नावर आणि जीवनावर थेट परिणाम करते. एसआयसी मटेरियलमध्ये उच्च सामर्थ्य, उच्च कडकपणा, कमी थर्मल विस्तार गुणांक आणि चांगली थर्मल चालकता आहे. हे एक महत्त्वाचे उच्च-तापमान स्ट्रक्चरल सामग्री आणि उच्च-तापमान सेमीकंडक्टर सामग्री आहे. हे ग्रेफाइट बेसवर लागू केले जाते. त्याचे फायदे आहेत:

१) एसआयसी गंज-प्रतिरोधक आहे आणि ग्रेफाइट बेस पूर्णपणे लपेटू शकतो. यात चांगली घनता आहे आणि संक्षारक वायूने ​​नुकसान टाळले आहे.

२) एसआयसीमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि ग्रेफाइट बेससह उच्च बंधन शक्ती आहे, हे सुनिश्चित करते की एकाधिक उच्च-तापमान आणि कमी-तापमान चक्रानंतर कोटिंग खाली पडणे सोपे नाही.

)) उच्च-तापमान आणि संक्षारक वातावरणात कोटिंगचे अपयश टाळण्यासाठी एसआयसीमध्ये चांगली रासायनिक स्थिरता आहे.

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म

याव्यतिरिक्त, भिन्न सामग्रीच्या एपिटॅक्सियल फर्नेसेसमध्ये भिन्न कार्यप्रदर्शन निर्देशकांसह ग्रेफाइट ट्रे आवश्यक आहेत. ग्रेफाइट मटेरियलच्या थर्मल एक्सपेंशन गुणांकांच्या जुळणीसाठी एपिटॅक्सियल फर्नेसच्या वाढीच्या तपमानाशी जुळवून घेणे आवश्यक आहे. उदाहरणार्थ, तापमानसिलिकॉन कार्बाईड एपिटॅक्सीउच्च आहे, आणि उच्च थर्मल एक्सपेंशन गुणांक जुळणीसह एक ट्रे आवश्यक आहे. एसआयसीचा थर्मल विस्तार गुणांक ग्रेफाइटच्या अगदी जवळ आहे, ज्यामुळे ते ग्रेफाइट बेसच्या पृष्ठभागाच्या लेपसाठी पसंतीची सामग्री म्हणून योग्य आहे.

एसआयसी मटेरियलमध्ये विविध प्रकारचे क्रिस्टल फॉर्म आहेत. सर्वात सामान्य म्हणजे 3 सी, 4 एच आणि 6 एच. वेगवेगळ्या क्रिस्टल फॉर्मच्या एसआयसीचे भिन्न उपयोग आहेत. उदाहरणार्थ, 4 एच-एसआयसी उच्च-शक्ती उपकरणे तयार करण्यासाठी वापरली जाऊ शकते; 6 एच-एसआयसी सर्वात स्थिर आहे आणि ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक डिव्हाइस तयार करण्यासाठी वापरला जाऊ शकतो; 3 सी-एसआयसीचा वापर जीएएन एपिटॅक्सियल थर तयार करण्यासाठी आणि एसआयसी-गॅन आरएफ उपकरणे तयार करण्यासाठी केला जाऊ शकतो कारण जीएएन सारख्याच संरचनेमुळे. 3 सी-एसआयसी देखील सामान्यत: β- सीआयसी म्हणून संबोधले जाते. पातळ फिल्म आणि कोटिंग सामग्री म्हणून β- सिकचा एक महत्त्वपूर्ण वापर आहे. म्हणून, सध्या कोटिंगसाठी β- सीआयसी ही मुख्य सामग्री आहे.

रासायनिक-रचना- sic- सिक

सेमीकंडक्टर उत्पादनात सामान्य उपभोग्य म्हणून, एसआयसी कोटिंग प्रामुख्याने सब्सट्रेट्स, एपिटॅक्सीमध्ये वापरली जातेऑक्सिडेशन प्रसार, एचिंग आणि आयन रोपण. कोटिंगच्या भौतिक आणि रासायनिक गुणधर्मांमध्ये उच्च तापमान प्रतिकार आणि गंज प्रतिकार करण्यासाठी कठोर आवश्यकता असते, जे उत्पादनाच्या उत्पन्नावर आणि जीवनावर थेट परिणाम करते. म्हणून, एसआयसी कोटिंगची तयारी गंभीर आहे.