सिलिकॉन कार्बाईड शॉवर हेड

वेटेक सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाईड शॉवर हेड प्रामुख्याने एसआयसीचे बनलेले आहे. सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंगमध्ये, सिलिकॉन कार्बाईड शॉवर हेडचे मुख्य कार्य म्हणजे एकसमान चित्रपटाची निर्मिती सुनिश्चित करण्यासाठी रिएक्शन गॅस समान रीतीने वितरित करणेरासायनिक वाष्प साठा (सीव्हीडी)किंवाभौतिक वाष्प साठा (पीव्हीडी)प्रक्रिया. उच्च थर्मल चालकता आणि रासायनिक स्थिरता यासारख्या एसआयसीच्या उत्कृष्ट गुणधर्मांमुळे, एसआयसी शॉवर हेड उच्च तापमानात कार्यक्षमतेने कार्य करू शकते, दरम्यान गॅसच्या प्रवाहाची असमानता कमी करतेठेव प्रक्रिया, आणि अशा प्रकारे फिल्म लेयरची गुणवत्ता सुधारित करा.

सिलिकॉन कार्बाईड शॉवर हेड समान छिद्रांसह एकाधिक नोजलद्वारे प्रतिक्रिया गॅस समान रीतीने वितरित करू शकते, एकसमान गॅस प्रवाह सुनिश्चित करू शकते, स्थानिक एकाग्रता खूप जास्त किंवा खूपच कमी आहे आणि अशा प्रकारे चित्रपटाची गुणवत्ता सुधारू शकते. च्या उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिकार आणि रासायनिक स्थिरतेसह एकत्रितसीव्हीडी sic, दरम्यान कोणतेही कण किंवा दूषित पदार्थ सोडले जात नाहीतफिल्म जमा प्रक्रिया, जे चित्रपटाच्या सादरीकरणाची शुद्धता राखण्यासाठी गंभीर आहे.

कोअर परफॉरमन्स मॅट्रिक्स

मुख्य निर्देशक तांत्रिक वैशिष्ट्ये चाचणी मानक

बेस मटेरियल 6 एन ग्रेड केमिकल वाष्प जमा सिलिकॉन कार्बाईड सेमी एफ 47-0703

औष्णिक चालकता (25 ℃) 330 डब्ल्यू/(एम · के) ± 5%एएसटीएम ई 1461

ऑपरेटिंग तापमान श्रेणी -196 ℃ ~ 1650 ℃ सायकल स्थिरता मिल-एसटीडी -883 पद्धत

अपर्चर मशीनिंग अचूकता ± 0.005 मिमी (लेसर मायक्रोहोल मशीनिंग तंत्रज्ञान) आयएसओ 286-2

पृष्ठभाग रफनेस आरए ≤0.05μm (मिरर ग्रेड उपचार) जीआयएस बी 0601: 2013

तिहेरी प्रक्रिया नाविन्यपूर्ण फायदा

नॅनोस्केल एअरफ्लो नियंत्रण

1080 होल मॅट्रिक्स डिझाइन: 95.7% गॅस वितरण एकसारखेपणा प्राप्त करण्यासाठी असममित हनीकॉम्ब स्ट्रक्चर स्वीकारते (मोजलेले डेटा)

ग्रेडियंट अपर्चर तंत्रज्ञान: 0.35 मिमी बाह्य रिंग → 0.2 मिमी सेंटर प्रोग्रेसिव्ह लेआउट, एज इफेक्ट काढून टाका

शून्य दूषित ठेव संरक्षण

अल्ट्रा-क्लीन पृष्ठभाग उपचार:

आयन बीम एचिंगमुळे उप -पृष्ठभाग खराब झालेले थर काढून टाकते

अणु थर जमा (एएलडी) अलड) प्रोटेक्टिव्ह फिल्म (पर्यायी)

औष्णिक यांत्रिक स्थिरता

थर्मल विकृतीकरण गुणांक: ≤0.8μm/m · ℃ (पारंपारिक सामग्रीपेक्षा 73% कमी)

3000 थर्मल शॉक चाचण्या उत्तीर्ण (rt↔1450 ℃ सायकल)

च्या एसईएम डेटासीव्हीडी एसआयसी फिल्म क्रिस्टल स्ट्रक्चर：

सीव्हीडीचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म Sic कोटिंग：

वेटेक सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाईड शॉवर हेड शॉप्स ●