सॉलिड sic एचिंग फोकसिंग रिंग

वेटेक सेमीकंडक्टरने सीव्हीडी सॉलिड एसआयसी तंत्रज्ञानामध्ये मोठी प्रगती केली आहे आणि आता जागतिक-आघाडीच्या पातळीसह सॉलिड एसआयसी एचिंग फोकसिंग रिंग तयार करण्यास सक्षम आहे. वेटेक सेमीकंडक्टरची सॉलिड एसआयसी एचिंग फोकसिंग रिंग ही एक अति-उच्च शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड मटेरियल उत्पादन आहे जे रासायनिक वाष्प जमा करण्याच्या प्रक्रियेद्वारे तयार केले गेले आहे.

सॉलिड एसआयसी एचिंग फोकसिंग रिंग सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेत, विशेषत: प्लाझ्मा एचिंग सिस्टममध्ये वापरली जाते. एसआयसी फोकस रिंग हा एक महत्त्वपूर्ण घटक आहे जो सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) वेफर्सचे अचूक आणि नियंत्रित एचिंग साध्य करण्यात मदत करतो.

प्लाझ्मा एचिंग प्रक्रियेदरम्यान, फोकस रिंग अनेक भूमिका निभावते खालीलप्रमाणे आहे:

● प्लाझ्मा फोकस करणे: सॉलिड SiC एचिंग फोकसिंग रिंग वेफरच्या सभोवतालच्या प्लाझ्माला आकार देण्यास आणि लक्ष केंद्रित करण्यास मदत करते, हे सुनिश्चित करते की कोरीव काम एकसमान आणि कार्यक्षमतेने होते. हे प्लाझ्माला इच्छित क्षेत्रापर्यंत मर्यादित ठेवण्यास मदत करते, भटक्या कोरीव काम किंवा आसपासच्या प्रदेशांना होणारे नुकसान टाळते.

●  चेंबरच्या भिंतींचे संरक्षण: फोकसिंग रिंग प्लाझ्मा आणि चेंबरच्या भिंतींमधील अडथळा म्हणून काम करते, थेट संपर्क आणि संभाव्य नुकसान टाळते. SiC प्लाझ्मा इरोशनसाठी अत्यंत प्रतिरोधक आहे आणि चेंबरच्या भिंतींसाठी उत्कृष्ट संरक्षण प्रदान करते.

●  Tतापमान नियंत्रण: sic फोकस रिंग नक्षी प्रक्रियेदरम्यान संपूर्ण वेफरमध्ये समान तापमान वितरण राखण्यात मदत करते. हे उष्णता नष्ट करण्यास मदत करते आणि स्थानिकीकृत ओव्हरहाटिंग किंवा थर्मल ग्रेडियंट्स प्रतिबंधित करते जे एचिंग परिणामांवर परिणाम करू शकतात.

थर्मल आणि रासायनिक स्थिरता, उच्च यांत्रिक सामर्थ्य आणि प्लाझ्मा इरोशनला प्रतिकार केल्यामुळे रिंग्ज फोकस करण्यासाठी सॉलिड एसआयसी निवडले जाते. हे गुणधर्म एसआयसीला प्लाझ्मा एचिंग सिस्टममध्ये कठोर आणि मागणी असलेल्या परिस्थितीसाठी योग्य सामग्री बनवतात.

हे लक्षात घेण्यासारखे आहे की फोकसिंग रिंगची रचना आणि वैशिष्ट्ये विशिष्ट प्लाझ्मा एचिंग सिस्टम आणि प्रक्रियेच्या आवश्यकतांवर अवलंबून बदलू शकतात. VeTek सेमीकंडक्टर फोकसिंग रिंग्सचा आकार, परिमाणे आणि पृष्ठभागाची वैशिष्ट्ये इष्टतम नक्षीची कार्यक्षमता आणि दीर्घायुष्य सुनिश्चित करण्यासाठी अनुकूल करते. सॉलिड SiC मोठ्या प्रमाणावर वेफर कॅरिअर्स, ससेप्टर्स, डमी वेफर, गाइड रिंग्स, एचिंग प्रक्रियेचे भाग, CVD प्रक्रिया इत्यादींसाठी वापरले जाते.