सॉलिड SiC गॅस शॉवर हेड

सॉलिड एसआयसी गॅस शॉवर हेड

VeTek Semiconductor ही एक एकीकृत कंपनी आहे जी संशोधन, उत्पादन आणि विक्रीसाठी समर्पित आहे. VeTek Semiconductor अनेक वर्षांपासून सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी, एचिंग आणि इतर प्रक्रिया-संबंधित उत्पादनांवर काम करत आहे, विशेषत: CVD SiC कोटिंग, CVD TaC कोटिंग आणि CVD सॉलिड SiC ही आमची प्रमुख उत्पादने आहेत.

वेटेक सेमीकंडक्टर सॉलिड एसआयसी गॅस शॉवर हेड सामान्यत: सेमीकंडक्टर सीव्हीडी प्रक्रियेदरम्यान सब्सट्रेट पृष्ठभागावर पूर्ववर्ती वायू समान प्रमाणात वितरित करण्यासाठी वापरले जाते. शॉवर हेडसाठी सीव्हीडी-एसआयसी सामग्री वापरणे अनेक फायदे देते. त्याची उच्च थर्मल चालकता सब्सट्रेटवर एकसमान तापमान वितरण सुनिश्चित करून सीव्हीडी प्रक्रियेमध्ये तयार होणारी उष्णता नष्ट करण्यास मदत करते. याव्यतिरिक्त, सीव्हीडी एसआयसी शॉवर हेडची रासायनिक स्थिरता सामान्यत: सीव्हीडी प्रक्रियेमध्ये उद्भवलेल्या संक्षारक वायू आणि कठोर वातावरणास प्रतिकार करण्यास सक्षम करते. 

CVD SiC शॉवर हेड्सचे डिझाइन विशिष्ट CVD सिस्टम आणि प्रक्रियेच्या आवश्यकतांनुसार तयार केले जाऊ शकते. तथापि, त्यामध्ये विशेषत: सुस्पष्टता-ड्रिल केलेल्या छिद्रे किंवा स्लॉट्सच्या मालिकेसह प्लेट किंवा डिस्क-आकाराचे घटक असतात. सब्सट्रेट पृष्ठभागावर एकसमान गॅस वितरण आणि प्रवाह वेग सुनिश्चित करण्यासाठी छिद्र नमुना आणि भूमिती काळजीपूर्वक डिझाइन केली आहे.

घन sic चे भौतिक गुणधर्म