VeTek सेमीकंडक्टर अल्ट्रा प्युअर सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादनांच्या निर्मितीमध्ये माहिर आहे, हे कोटिंग्स शुद्ध ग्रेफाइट, सिरॅमिक्स आणि रेफ्रेक्ट्री मेटल घटकांवर लागू करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत.
आमची उच्च शुद्धता कोटिंग्ज प्रामुख्याने सेमीकंडक्टर आणि इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगांमध्ये वापरण्यासाठी लक्ष्यित आहेत. ते वेफर कॅरिअर्स, ससेप्टर्स आणि हीटिंग एलिमेंट्ससाठी संरक्षणात्मक स्तर म्हणून काम करतात, त्यांना MOCVD आणि EPI सारख्या प्रक्रियांमध्ये संक्षारक आणि प्रतिक्रियाशील वातावरणापासून संरक्षण देतात. या प्रक्रिया वेफर प्रक्रिया आणि उपकरण निर्मितीसाठी अविभाज्य आहेत. याव्यतिरिक्त, आमचे कोटिंग्स व्हॅक्यूम फर्नेस आणि सॅम्पल हीटिंगमधील अनुप्रयोगांसाठी योग्य आहेत, जेथे उच्च व्हॅक्यूम,
प्रतिक्रियाशील आणि ऑक्सिजन वातावरणाचा सामना करावा लागतो.
VeTek Semiconductor वर, आम्ही आमच्या प्रगत मशीन शॉप क्षमतेसह सर्वसमावेशक उपाय ऑफर करतो. हे आम्हाला ग्रेफाइट, सिरॅमिक्स किंवा रीफ्रॅक्टरी धातू वापरून बेस घटक तयार करण्यास आणि SiC किंवा TaC सिरेमिक कोटिंग्ज घरामध्ये लागू करण्यास सक्षम करते. विविध गरजा पूर्ण करण्यासाठी लवचिकता सुनिश्चित करून, आम्ही ग्राहकांनी पुरवलेल्या भागांसाठी कोटिंग सेवा देखील प्रदान करतो.
आमची सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादने Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD प्रणाली, RTP/RTA प्रक्रिया, एचिंग प्रक्रिया, ICP/PSS एचिंग प्रक्रिया, विविध LED प्रकारांची प्रक्रिया, ज्यात निळा आणि हिरवा LED, UV LED आणि deep-UV LED इत्यादींचा मोठ्या प्रमाणावर वापर केला जातो, ज्याला Aptix, LPE, व्हीईओ, एलपीई, एलईडी, एलईडी इ. ASM, Annealsys, TSI आणि असेच.
अणुभट्टीचे भाग आम्ही करू शकतो:
प्रमुख वैशिष्ट्ये
● अति-उच्च शुद्धता (99.99995%) कमीत कमी कण निर्मितीसाठी दाट β-फेज पॉलीक्रिस्टलाइन रचना.
● HCl, NH₃, H₂, SiH₄ आणि इतर संक्षारक प्रक्रिया वायूंना उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार.
● उच्च थर्मल चालकता (~300 W·m⁻¹·K⁻¹) आणि 2700°C च्या उदात्तीकरण तापमानापर्यंत थर्मल स्थिरता.
● उत्कृष्ट कडकपणा (2500 विकर्स) आणि ग्रेफाइट, सिरॅमिक्स आणि रीफ्रॅक्टरी धातूंना मजबूत आसंजन.
● ससेप्टर्स, वाहक, शॉवर हेड्स आणि हीटिंग एलिमेंट्ससह जटिल भूमितींसाठी योग्य कॉन्फॉर्मल कोटिंग कव्हरेज.
● प्रमुख उपकरण प्लॅटफॉर्मसह सुसंगत: LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI आणि बरेच काही.
सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगचे अनेक अद्वितीय फायदे
उत्पादन तपशील
VeTek सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग पॅरामीटर
| CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म |
| मालमत्ता |
ठराविक मूल्य |
| क्रिस्टल स्ट्रक्चर |
FCC β फेज पॉलीक्रिस्टलाइन, प्रामुख्याने (111) ओरिएंटेड |
| SiC कोटिंग घनता |
3.21 g/cm³ |
| SiC कोटिंग कडकपणा |
2500 विकर्स कडकपणा (500 ग्रॅम लोड) |
| धान्य आकार |
2~10μm |
| रासायनिक शुद्धता |
99.99995% |
| उष्णता क्षमता |
640 J·kg⁻¹·K⁻¹ |
| उदात्तीकरण तापमान |
2700℃ |
| फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ |
415 MPa RT 4-पॉइंट |
| यंगचे मॉड्यूलस |
430 GPa 4pt बेंड, 1300℃ |
| थर्मल चालकता |
300 W·m⁻¹·K⁻¹ |
| थर्मल विस्तार (CTE) |
4.5×10⁻⁶ K⁻¹ |
CVD SIC फिल्म क्रिस्टल स्ट्रक्चर
अर्ज
सेमीकंडक्टर प्रक्रियेच्या विविध गरजा पूर्ण करण्यासाठी, VeTek लक्ष्यित सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादने ऑफर करते. खालील सारणी त्यांना मुख्य अनुप्रयोग क्षेत्रांनुसार वर्गीकृत करते, विशिष्ट घटक आणि लागू प्रक्रिया सूचीबद्ध करते:
| अर्ज फील्ड |
ठराविक उत्पादने |
अर्जाचे वर्णन |
| सी एपिटॅक्सी |
CVD SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर, SiC कोटिंग वेफर वाहक, एपि ससेप्टर
|
सिलिकॉन एपिटॅक्सियल प्रक्रियेसाठी योग्य, एकसमान तापमान वितरण, रासायनिक प्रतिकार आणि उच्च-गुणवत्तेच्या एपि लेयरसाठी कमी कण निर्मिती प्रदान करते. |
| SiC Epitaxy |
CVD SiC लेपित प्लॅनेटरी ससेप्टर, SiC लेपित वेफर ससेप्टर, मार्गदर्शक रिंग |
उच्च-तापमान SiC एपिटॅक्सियल ग्रोथ (एलपीई इ.), थर्मल स्थिरता आणि स्वच्छ इंटरफेस प्रदान करण्यासाठी फिल्म एकसमानता आणि प्रक्रिया उत्पन्न सुनिश्चित करण्यासाठी. |
| GaN / LED Epitaxy (MOCVD) |
SiC लेपित उपग्रह कव्हर, शॉवर डोके, सॅटेलाइट डिस्क, मास्किंग रिंग |
Aixtron, Veeco MOCVD सिस्टमशी सुसंगत; H₂/NH₃ गंजला प्रतिकार करते, कणांचे प्रदूषण कमी करते आणि LED epi उत्पन्न (निळा, हिरवा, अतिनील, खोल-UV) सुधारते. |
| RTP / RTA प्रक्रिया |
CVD SiC लेपित RTP ससेप्टर, RTP RTA वाहक, हीटिंग घटक
|
जलद थर्मल प्रक्रिया आणि एनीलिंगसाठी डिझाइन केलेले; उत्कृष्ट थर्मल चालकता आणि मितीय स्थिरतेसह वारंवार उच्च-तापमान सायकलिंगचा सामना करते. |
| एचिंग / ICP / PSS |
सॉलिड SiC फोकस रिंग्ज, इच चेंबरसाठी SiC लेपित घटक
|
उच्च कडकपणा आणि प्लाझ्मा प्रतिकार चेंबरच्या भागांचे संरक्षण करतात, एच प्रोफाईल एकसारखेपणा सुनिश्चित करतात आणि हॅलोजन समृद्ध वातावरणात सेवा आयुष्य वाढवतात. |
| उच्च-तापमान गरम आणि समर्थन |
CVD SiC कोटिंग हीटिंग एलिमेंट, वेफर वाहक, susceptors
|
इंडक्शन/रेझिस्टिव्ह हीटिंग आणि व्हॅक्यूम फर्नेस ऍप्लिकेशनसाठी; उच्च कडकपणा, थर्मल शॉक प्रतिरोध आणि दीर्घ घटक आयुर्मान देते. |
अधिक तपशीलवार प्रक्रिया जुळणाऱ्या उपायांसाठी, कृपया पहासिलिकॉन एपिटॅक्सीआणिसिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सीसंबंधित अनुप्रयोग पृष्ठे.
चीनमध्ये व्यावसायिक सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून, आमचा स्वतःचा कारखाना आहे. तुम्हाला तुमच्या क्षेत्राच्या विशिष्ट गरजा पूर्ण करण्यासाठी सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असेल किंवा चीनमध्ये बनवलेले प्रगत आणि टिकाऊ सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग खरेदी करायचे असेल, तुम्ही हे करू शकताआम्हाला एक संदेश द्या.
