सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग

VeTek सेमीकंडक्टर अल्ट्रा प्युअर सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादनांच्या निर्मितीमध्ये माहिर आहे, हे कोटिंग्स शुद्ध ग्रेफाइट, सिरॅमिक्स आणि रेफ्रेक्ट्री मेटल घटकांवर लागू करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत.

आमचे उच्च शुद्धता कोटिंग्स प्रामुख्याने सेमीकंडक्टर आणि इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगांमध्ये वापरण्यासाठी लक्ष्यित आहेत. ते वेफर कॅरिअर्स, ससेप्टर्स आणि हीटिंग एलिमेंट्ससाठी संरक्षणात्मक स्तर म्हणून काम करतात, त्यांना MOCVD आणि EPI सारख्या प्रक्रियांमध्ये आलेल्या संक्षारक आणि प्रतिक्रियाशील वातावरणापासून संरक्षण देतात. या प्रक्रिया वेफर प्रक्रिया आणि उपकरण निर्मितीसाठी अविभाज्य आहेत. याव्यतिरिक्त, आमचे कोटिंग्स व्हॅक्यूम फर्नेस आणि सॅम्पल हीटिंगमधील अनुप्रयोगांसाठी योग्य आहेत, जेथे उच्च व्हॅक्यूम, प्रतिक्रियाशील आणि ऑक्सिजन वातावरणाचा सामना करावा लागतो.

VeTek Semiconductor वर, आम्ही आमच्या प्रगत मशीन शॉप क्षमतेसह सर्वसमावेशक उपाय ऑफर करतो. हे आम्हाला ग्रेफाइट, सिरॅमिक्स किंवा रीफ्रॅक्टरी धातू वापरून बेस घटक तयार करण्यास आणि SiC किंवा TaC सिरॅमिक कोटिंग्ज घरामध्ये लागू करण्यास सक्षम करते. विविध गरजा पूर्ण करण्यासाठी लवचिकता सुनिश्चित करून, आम्ही ग्राहकांनी पुरवलेल्या भागांसाठी कोटिंग सेवा देखील प्रदान करतो.

आमची सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादने Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD प्रणाली, RTP/RTA प्रक्रिया, एचिंग प्रक्रिया, ICP/PSS एचिंग प्रक्रिया, निळ्या आणि हिरव्या एलईडी, UV LED आणि खोल-UV सह विविध LED प्रकारांच्या प्रक्रियेत मोठ्या प्रमाणावर वापरल्या जातात. LED इ., जे LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL मधील उपकरणांशी जुळवून घेतले आहे, ASM, Annealsys, TSI आणि असेच.

अणुभट्टीचे भाग आम्ही करू शकतो:

सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगचे अनेक अद्वितीय फायदे:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग पॅरामीटर

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म
मालमत्ता	ठराविक मूल्य
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	FCC β फेज पॉलीक्रिस्टलाइन, प्रामुख्याने (111) ओरिएंटेड
SiC कोटिंग घनता	3.21 g/cm³
SiC कोटिंग कडकपणा	2500 विकर्स कडकपणा (500 ग्रॅम लोड)
धान्य आकार	2~10μm
रासायनिक शुद्धता	99.99995%
उष्णता क्षमता	640 J·kg^-1· के^-1
उदात्तीकरण तापमान	2700℃
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ	415 MPa RT 4-पॉइंट
तरुणांचे मॉड्यूलस	430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
थर्मल चालकता	300W·m^-1· के^-1
थर्मल विस्तार (CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC फिल्म क्रिस्टल स्ट्रक्चर

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

सिलिकॉन कार्बाइड लेपित Epi ससेप्टर SiC कोटिंग वेफर वाहक MOCVD साठी SiC कोटेड सॅटेलाइट कव्हर CVD SiC कोटिंग वेफर Epi ससेप्टर CVD SiC कोटिंग हीटिंग एलिमेंट एक्सट्रॉन सॅटेलाइट वेफर वाहक SiC कोटिंग Epi रिसीव्हर SiC कोटिंग हाफमून ग्रेफाइट भाग

View as

SiC लेपित एपिटॅक्सियल रिॲक्टर चेंबर

Veteksemicon SiC Coated Epitaxial Reactor चेंबर हा अर्धसंवाहक एपिटॅक्सियल ग्रोथ प्रक्रियेच्या मागणीसाठी डिझाइन केलेला एक मुख्य घटक आहे. प्रगत रासायनिक वाष्प निक्षेपण (CVD) वापरून, हे उत्पादन उच्च-शक्तीच्या ग्रेफाइट सब्सट्रेटवर दाट, उच्च-शुद्धता SiC कोटिंग तयार करते, परिणामी उच्च-तापमान स्थिरता आणि गंज प्रतिकार होतो. हे उच्च-तापमान प्रक्रियेच्या वातावरणात अभिक्रियाकारक वायूंच्या संक्षारक प्रभावांना प्रभावीपणे प्रतिकार करते, कण दूषिततेला लक्षणीयरीत्या दाबते, सातत्यपूर्ण एपिटॅक्सियल सामग्रीची गुणवत्ता आणि उच्च उत्पादन सुनिश्चित करते आणि प्रतिक्रिया कक्षाचे देखभाल चक्र आणि आयुष्य लक्षणीयरीत्या वाढवते. SiC आणि GaN सारख्या वाइड-बँडगॅप सेमीकंडक्टरची उत्पादन कार्यक्षमता आणि विश्वासार्हता सुधारण्यासाठी ही एक प्रमुख निवड आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

EPI प्राप्तकर्ता भाग

सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सियल वाढीच्या मुख्य प्रक्रियेत, वेटेकसेमिकॉनला समजते की ससेप्टरची कार्यक्षमता थेट एपिटॅक्सियल लेयरची गुणवत्ता आणि उत्पादन कार्यक्षमता निर्धारित करते. विशेषत: SiC फील्डसाठी डिझाइन केलेले आमचे उच्च-शुद्धता EPI ससेप्टर्स, विशेष ग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि दाट CVD SiC कोटिंग वापरतात. त्यांच्या उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, उत्कृष्ट गंज प्रतिकार आणि अत्यंत कमी कण निर्मिती दरासह, ते कठोर उच्च-तापमान प्रक्रिया वातावरणात देखील ग्राहकांसाठी अतुलनीय जाडी आणि डोपिंग एकसमानता सुनिश्चित करतात. Veteksemicon निवडणे म्हणजे तुमच्या प्रगत सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेसाठी विश्वासार्हता आणि कार्यक्षमतेचा आधारस्तंभ निवडणे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

ASM साठी SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर

ASM साठी Veteksemicon SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर हा सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल प्रक्रियेतील मुख्य वाहक घटक आहे. हे उत्पादन आमच्या मालकीचे पायरोलाइटिक सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग तंत्रज्ञान आणि अचूक मशीनिंग प्रक्रियांचा वापर करून उच्च-तापमान आणि संक्षारक प्रक्रिया वातावरणात उत्कृष्ट कार्यप्रदर्शन आणि अति-दीर्घ आयुष्य सुनिश्चित करते. आम्ही सब्सट्रेट शुद्धता, थर्मल स्थिरता आणि सुसंगतता यावरील एपिटॅक्सियल प्रक्रियेच्या कठोर आवश्यकता समजून घेतो आणि ग्राहकांना स्थिर, विश्वासार्ह समाधान प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहोत जे एकूण उपकरणांची कार्यक्षमता वाढवतात.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सिलिकॉन कार्बाइड फोकस रिंग

Veteksemicon फोकस रिंग विशेषतः सेमीकंडक्टर एचिंग उपकरणे, विशेषतः SiC एचिंग ऍप्लिकेशन्सची मागणी करण्यासाठी डिझाइन केलेली आहे. इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक (ESC) च्या आजूबाजूला माउंट केलेले, वेफरच्या अगदी जवळ, त्याचे प्राथमिक कार्य म्हणजे प्रतिक्रिया कक्षातील इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक फील्ड वितरण ऑप्टिमाइझ करणे, संपूर्ण वेफर पृष्ठभागावर एकसमान आणि केंद्रित प्लाझ्मा क्रिया सुनिश्चित करणे. उच्च-कार्यक्षमता फोकस रिंग लक्षणीयरीत्या एच रेट एकसमानता सुधारते आणि कडा प्रभाव कमी करते, थेट उत्पादन उत्पादन आणि उत्पादन कार्यक्षमता वाढवते.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

एलईडी एचिंगसाठी सिलिकॉन कार्बाइड वाहक प्लेट

एलईडी एचिंगसाठी वेटेकसेमिकॉन सिलिकॉन कार्बाइड वाहक प्लेट, विशेषत: एलईडी चिप उत्पादनासाठी डिझाइन केलेली, कोरींग प्रक्रियेत वापरता येणारी कोर आहे. अचूक-सिंटर्ड उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइडपासून बनविलेले, ते अपवादात्मक रासायनिक प्रतिकार आणि उच्च-तापमान मितीय स्थिरता देते, मजबूत ऍसिड, बेस आणि प्लाझ्मा यांच्या गंजला प्रभावीपणे प्रतिकार करते. त्याचे कमी दूषित गुणधर्म LED एपिटॅक्सियल वेफर्ससाठी उच्च उत्पादनाची खात्री देतात, तर त्याची टिकाऊपणा, पारंपारिक सामग्रीपेक्षा कितीतरी जास्त आहे, ग्राहकांना एकूण परिचालन खर्च कमी करण्यास मदत करते, ज्यामुळे ते एचिंग प्रक्रियेची कार्यक्षमता आणि सुसंगतता सुधारण्यासाठी एक विश्वासार्ह पर्याय बनते.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सॉलिड SiC फोकस रिंग

Veteksemi सॉलिड SiC फोकस रिंग वेफर एजवर इलेक्ट्रिक फील्ड आणि एअरफ्लो तंतोतंत नियंत्रित करून एचिंग एकसमानता आणि प्रक्रियेची स्थिरता लक्षणीयरीत्या सुधारते. हे सिलिकॉन, डायलेक्ट्रिक्स आणि कंपाऊंड सेमीकंडक्टर सामग्रीसाठी अचूक नक्षीकाम प्रक्रियेमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते आणि मोठ्या प्रमाणावर उत्पादन उत्पादन आणि दीर्घकालीन विश्वसनीय उपकरण ऑपरेशन सुनिश्चित करण्यासाठी एक प्रमुख घटक आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

चीनमधील एक व्यावसायिक सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून आमच्याकडे आमचा स्वतःचा कारखाना आहे. आपल्या प्रदेशाच्या विशिष्ट गरजा भागविण्यासाठी आपल्याला सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असल्यास किंवा चीनमध्ये बनविलेले प्रगत आणि टिकाऊ {77 brook खरेदी करायचे असल्यास आपण आम्हाला एक संदेश सोडू शकता.