सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग

VeTek सेमीकंडक्टर अल्ट्रा प्युअर सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादनांच्या निर्मितीमध्ये माहिर आहे, हे कोटिंग्स शुद्ध ग्रेफाइट, सिरॅमिक्स आणि रेफ्रेक्ट्री मेटल घटकांवर लागू करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत.

आमचे उच्च शुद्धता कोटिंग्स प्रामुख्याने सेमीकंडक्टर आणि इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगांमध्ये वापरण्यासाठी लक्ष्यित आहेत. ते वेफर कॅरिअर्स, ससेप्टर्स आणि हीटिंग एलिमेंट्ससाठी संरक्षणात्मक स्तर म्हणून काम करतात, त्यांना MOCVD आणि EPI सारख्या प्रक्रियांमध्ये आलेल्या संक्षारक आणि प्रतिक्रियाशील वातावरणापासून संरक्षण देतात. या प्रक्रिया वेफर प्रक्रिया आणि उपकरण निर्मितीसाठी अविभाज्य आहेत. याव्यतिरिक्त, आमचे कोटिंग्स व्हॅक्यूम फर्नेस आणि सॅम्पल हीटिंगमधील अनुप्रयोगांसाठी योग्य आहेत, जेथे उच्च व्हॅक्यूम, प्रतिक्रियाशील आणि ऑक्सिजन वातावरणाचा सामना करावा लागतो.

VeTek Semiconductor वर, आम्ही आमच्या प्रगत मशीन शॉप क्षमतेसह सर्वसमावेशक उपाय ऑफर करतो. हे आम्हाला ग्रेफाइट, सिरॅमिक्स किंवा रीफ्रॅक्टरी धातू वापरून बेस घटक तयार करण्यास आणि SiC किंवा TaC सिरॅमिक कोटिंग्ज घरामध्ये लागू करण्यास सक्षम करते. विविध गरजा पूर्ण करण्यासाठी लवचिकता सुनिश्चित करून, आम्ही ग्राहकांनी पुरवलेल्या भागांसाठी कोटिंग सेवा देखील प्रदान करतो.

आमची सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादने Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD प्रणाली, RTP/RTA प्रक्रिया, एचिंग प्रक्रिया, ICP/PSS एचिंग प्रक्रिया, निळ्या आणि हिरव्या एलईडी, UV LED आणि खोल-UV सह विविध LED प्रकारांच्या प्रक्रियेत मोठ्या प्रमाणावर वापरल्या जातात. LED इ., जे LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL मधील उपकरणांशी जुळवून घेतले आहे, ASM, Annealsys, TSI आणि असेच.

अणुभट्टीचे भाग आम्ही करू शकतो:

सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगचे अनेक अद्वितीय फायदे:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग पॅरामीटर

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म
मालमत्ता	ठराविक मूल्य
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	FCC β फेज पॉलीक्रिस्टलाइन, प्रामुख्याने (111) ओरिएंटेड
SiC कोटिंग घनता	3.21 g/cm³
SiC कोटिंग कडकपणा	2500 विकर्स कडकपणा (500 ग्रॅम लोड)
धान्य आकार	2~10μm
रासायनिक शुद्धता	99.99995%
उष्णता क्षमता	640 J·kg^-1· के^-1
उदात्तीकरण तापमान	2700℃
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ	415 MPa RT 4-पॉइंट
तरुणांचे मॉड्यूलस	430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
थर्मल चालकता	300W·m^-1· के^-1
थर्मल विस्तार (CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC फिल्म क्रिस्टल स्ट्रक्चर

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

सिलिकॉन कार्बाइड लेपित Epi ससेप्टर SiC कोटिंग वेफर वाहक MOCVD साठी SiC कोटेड सॅटेलाइट कव्हर CVD SiC कोटिंग वेफर Epi ससेप्टर CVD SiC कोटिंग हीटिंग एलिमेंट एक्सट्रॉन सॅटेलाइट वेफर वाहक SiC कोटिंग Epi रिसीव्हर SiC कोटिंग हाफमून ग्रेफाइट भाग

View as

एचिंगसाठी एसआयसी लेपित वेफर कॅरियर

एक आघाडीची चिनी निर्माता आणि सिलिकॉन कार्बाईड कोटिंग उत्पादनांचा पुरवठादार म्हणून, एचिंगसाठी वेटेकसेमॉनचे एसआयसी कोटेड वेफर कॅरियर त्याच्या उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता, थकबाकी गंज प्रतिरोध आणि उच्च थर्मल चालकता असलेल्या एचिंग प्रक्रियेमध्ये एक अपरिवर्तनीय कोर भूमिका बजावते.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सीव्हीडी एसआयसी लेपित वेफर स्यूससेप्टर

वेटेकेसेमॉनचे सीव्हीडी एसआयसी लेपित वेफर स्यूससेप्टर सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल प्रक्रियेसाठी एक अत्याधुनिक समाधान आहे, जे अल्ट्रा-उच्च शुद्धता (≤100 पीपीबी, आयसीपी-ई 10 प्रमाणित) आणि गॅन, एसआयसी-आधारित दूषित-प्रतिरोधक वाढीसाठी अपवादात्मक थर्मल/रासायनिक स्थिरता प्रदान करते. अचूक सीव्हीडी तंत्रज्ञानासह अभियंता, आयटी 6 "/8"/12 "वेफर्सना समर्थन देते, कमीतकमी थर्मल तणाव सुनिश्चित करते आणि 1600 डिग्री सेल्सिअस पर्यंत अत्यंत तापमानाचा प्रतिकार करते.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

एसआयसी लेपित ग्रहाचा संवेदनाक्षम

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगच्या उच्च तापमान प्रक्रियेमध्ये आमचा एसआयसी लेपित ग्रहांचा सासेप्टर हा एक मूलभूत घटक आहे. थर्मल मॅनेजमेंट परफॉरमन्स, रासायनिक स्थिरता आणि यांत्रिक सामर्थ्याचे विस्तृत ऑप्टिमायझेशन साध्य करण्यासाठी त्याच्या डिझाइनमध्ये सिलिकॉन कार्बाईड कोटिंगसह ग्रेफाइट सब्सट्रेट एकत्र केले जाते.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

एपिटॅक्सीसाठी एसआयसी लेपित सीलिंग रिंग

एपिटॅक्सीसाठी आमची एसआयसी कोटेड सीलिंग रिंग हा एक उच्च-कार्यक्षमता सीलिंग घटक आहे जो ग्राफाइट किंवा कार्बन-कार्बन कंपोझिटवर आधारित आहे की उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड (एसआयसी) सह लेपित केमिकल वाष्प सिलिकॉन कार्बाइड (सीसी)

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सिंगल वेफर एपीआय ग्रेफाइट अंडरटेकर

वेटेकेसेमॉन सिंगल वेफर एपीआय ग्रॅफाइट सासेप्टर हाय-परफॉरमन्स सिलिकॉन कार्बाइड (एसआयसी), गॅलियम नायट्राइड (जीएएन) आणि इतर तृतीय पिढी सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेले आहे आणि मोठ्या प्रमाणात उत्पादनात उच्च-पिसारा एपिटेक्सियल शीटचा मुख्य घटक आहे. आपली पुढील चौकशी.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

प्लाझ्मा एचिंग फोकस रिंग

वेफर फॅब्रिकेशन एचिंग प्रक्रियेमध्ये वापरला जाणारा एक महत्त्वाचा घटक म्हणजे प्लाझ्मा एचिंग फोकस रिंग, ज्याचे कार्य प्लाझ्मा घनता राखण्यासाठी आणि वेफर बाजूंच्या दूषिततेस प्रतिबंधित करण्यासाठी वेफर ठेवणे आहे. व्हेटेक सेमीकंडक्टर मोनोक्रिस्टलिन सिलिकॉन, सिलिकॉन कार्बाइड, इतर सेराइम कार्बाइड, सिलिकॉन कार्बाइड, इतर सेरीकॉन सिलिकॉन, सिलिकॉन कार्बाइड, सारख्या भिन्न सामग्रीसह प्लाझ्मा एचिंग फोकस रिंग प्रदान करतात.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

चीनमधील एक व्यावसायिक सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून आमच्याकडे आमचा स्वतःचा कारखाना आहे. आपल्या प्रदेशाच्या विशिष्ट गरजा भागविण्यासाठी आपल्याला सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असल्यास किंवा चीनमध्ये बनविलेले प्रगत आणि टिकाऊ {77 brook खरेदी करायचे असल्यास आपण आम्हाला एक संदेश सोडू शकता.