सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग

VeTek सेमीकंडक्टर अल्ट्रा प्युअर सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादनांच्या निर्मितीमध्ये माहिर आहे, हे कोटिंग्स शुद्ध ग्रेफाइट, सिरॅमिक्स आणि रेफ्रेक्ट्री मेटल घटकांवर लागू करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत.

आमचे उच्च शुद्धता कोटिंग्स प्रामुख्याने सेमीकंडक्टर आणि इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगांमध्ये वापरण्यासाठी लक्ष्यित आहेत. ते वेफर कॅरिअर्स, ससेप्टर्स आणि हीटिंग एलिमेंट्ससाठी संरक्षणात्मक स्तर म्हणून काम करतात, त्यांना MOCVD आणि EPI सारख्या प्रक्रियांमध्ये आलेल्या संक्षारक आणि प्रतिक्रियाशील वातावरणापासून संरक्षण देतात. या प्रक्रिया वेफर प्रक्रिया आणि उपकरण निर्मितीसाठी अविभाज्य आहेत. याव्यतिरिक्त, आमचे कोटिंग्स व्हॅक्यूम फर्नेस आणि सॅम्पल हीटिंगमधील अनुप्रयोगांसाठी योग्य आहेत, जेथे उच्च व्हॅक्यूम, प्रतिक्रियाशील आणि ऑक्सिजन वातावरणाचा सामना करावा लागतो.

VeTek Semiconductor वर, आम्ही आमच्या प्रगत मशीन शॉप क्षमतेसह सर्वसमावेशक उपाय ऑफर करतो. हे आम्हाला ग्रेफाइट, सिरॅमिक्स किंवा रीफ्रॅक्टरी धातू वापरून बेस घटक तयार करण्यास आणि SiC किंवा TaC सिरॅमिक कोटिंग्ज घरामध्ये लागू करण्यास सक्षम करते. विविध गरजा पूर्ण करण्यासाठी लवचिकता सुनिश्चित करून, आम्ही ग्राहकांनी पुरवलेल्या भागांसाठी कोटिंग सेवा देखील प्रदान करतो.

आमची सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादने Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD प्रणाली, RTP/RTA प्रक्रिया, एचिंग प्रक्रिया, ICP/PSS एचिंग प्रक्रिया, निळ्या आणि हिरव्या एलईडी, UV LED आणि खोल-UV सह विविध LED प्रकारांच्या प्रक्रियेत मोठ्या प्रमाणावर वापरल्या जातात. LED इ., जे LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL मधील उपकरणांशी जुळवून घेतले आहे, ASM, Annealsys, TSI आणि असेच.

अणुभट्टीचे भाग आम्ही करू शकतो:

सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगचे अनेक अद्वितीय फायदे:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek सेमीकंडक्टर सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग पॅरामीटर

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म
मालमत्ता	ठराविक मूल्य
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	FCC β फेज पॉलीक्रिस्टलाइन, प्रामुख्याने (111) ओरिएंटेड
SiC कोटिंग घनता	3.21 g/cm³
SiC कोटिंग कडकपणा	2500 विकर्स कडकपणा (500 ग्रॅम लोड)
धान्य आकार	2~10μm
रासायनिक शुद्धता	99.99995%
उष्णता क्षमता	640 J·kg^-1· के^-1
उदात्तीकरण तापमान	2700℃
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ	415 MPa RT 4-पॉइंट
तरुणांचे मॉड्यूलस	430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
थर्मल चालकता	300W·m^-1· के^-1
थर्मल विस्तार (CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC फिल्म क्रिस्टल स्ट्रक्चर

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

सिलिकॉन कार्बाइड लेपित Epi ससेप्टर SiC कोटिंग वेफर वाहक MOCVD साठी SiC कोटेड सॅटेलाइट कव्हर CVD SiC कोटिंग वेफर Epi ससेप्टर CVD SiC कोटिंग हीटिंग एलिमेंट एक्सट्रॉन सॅटेलाइट वेफर वाहक SiC कोटिंग Epi रिसीव्हर SiC कोटिंग हाफमून ग्रेफाइट भाग

CVD सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) लेपित ग्रेफाइट RTP RTA वाहक

VETEK CVD सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटेड ग्रेफाइट RTP RTA वाहक सेमीकंडक्टर उत्पादनात वापरल्या जाणाऱ्या जलद थर्मल प्रोसेसिंग (RTP) आणि रॅपिड थर्मल ऍनिलिंग (RTA) प्रणालींसाठी डिझाइन केलेले आहे. दाट CVD SiC कोटिंगसह उच्च-शुद्धतेच्या आयसोस्टॅटिक ग्रेफाइटपासून तयार केलेले, ते उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, उत्कृष्ट तापमान एकसमानता, उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार आणि अति-लो कण निर्मिती प्रदान करते. पुनरावृत्ती जलद गरम आणि थंड होण्याच्या चक्रांना तोंड देण्यासाठी अभियंता, वाहक सिलिकॉन वेफर ॲनिलिंग आणि इतर उच्च-तापमान सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगांसाठी विश्वसनीय वेफर समर्थन आणि स्थिर प्रक्रिया कार्यप्रदर्शन सुनिश्चित करते.

CVD सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) लेपित RTP ससेप्टर

VeTek सेमीकंडक्टर मधील CVD SiC कोटेड RTP ससेप्टर सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये वापरल्या जाणाऱ्या रॅपिड थर्मल प्रोसेसिंग (RTP) आणि रॅपिड थर्मल ॲनिलिंग (RTA) उपकरणे पुरवतो. सब्सट्रेट उच्च-शुद्धतेच्या आयसोस्टॅटिक ग्रेफाइटपासून तयार केले जाते, ज्यावर दाट CVD सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) थर जमा केला जातो. हे बांधकाम उच्च औष्णिक चालकता, मजबूत रासायनिक जडत्व आणि वारंवार उच्च-तापमान सायकलिंग अंतर्गत शाश्वत आयामी स्थिरता देते.

CVD सिलिकॉन कार्बाइड(SiC) लेपित ग्रेफाइट शॉवर हेड

तुम्ही डिपॉझिशन चेंबरमध्ये असमान वायू प्रवाह किंवा कण दूषिततेचा सामना केला असल्यास, VETEK CVD SiC कोटेड ग्रेफाइट शॉवर हेड हे निराकरण करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. हे थर्मल स्थिरता आणि सुलभ मशीनिंगसाठी उच्च-शुद्धतेच्या आयसोस्टॅटिक ग्रेफाइटसह सुरू होते, नंतर एक दाट CVD सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग मिळते जे पृष्ठभागावर सील करते, संक्षारक वायूंचा प्रतिकार करते (जसे की HCl किंवा NF₃), आणि बाहेर पडणे प्रतिबंधित करते. परिणाम म्हणजे गॅस वितरण प्लेट जी संपूर्ण वेफरमध्ये एकसमान प्रवाह वितरीत करते, उच्च-तापमान एपिटॅक्सी हाताळते आणि बेअर ग्रेफाइट किंवा क्वार्ट्जपेक्षा जास्त काळ टिकते – ज्यामुळे ते CVD, PECVD, MOCVD, सिलिकॉन एपिटॅक्सी आणि SiC एपिटॅक्सी प्रक्रियेसाठी एक विश्वसनीय घटक बनते. आम्ही सानुकूल भोक नमुने आणि आकार देखील ऑफर करतो, कारण कोणतेही दोन अणुभट्ट्या एकसारखे नसतात.

सॉलिड SiC फोकस रिंग्ज

वेफर ट्रॅकिंग झोनला वेढण्यासाठी डिझाइन केलेले, सॉलिड SiC फोकस रिंग रेखीय प्लाझ्मा वितरण आणि अचूक एज-टू-सेंटर इच प्रोफाइल सुनिश्चित करते. हे प्रीमियम β-SiC घटक Vetek सेमीकंडक्टर (Wuyi Tianyao New Material Technology Co., LTD) द्वारे तयार केले जातात. कच्च्या मालाचे दाट, बाइंडरलेस मॅट्रिक्समध्ये बाष्पीभवन करून, वेटेक जुन्या सामग्रीमध्ये सामान्य सच्छिद्र सूक्ष्म अंतर काढून टाकते. स्टँडर्ड क्वार्ट्ज किंवा सिलिकॉन शील्डिंगच्या तुलनेत, आमचे CVD SiC घटक गंजणाऱ्या हॅलोजन वायूंपेक्षा जास्त चांगले उभे राहतात, वेफरला डीप सब-7nm लॉजिक आणि दाट मेमरी चिप मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये संरक्षण देतात. तुमच्या पुढील चौकशीची वाट पाहत आहोत.

AMAT 0200-03201 CVD SiC वेफर लिफ्ट पिन

VeTek मधील हा AMAT 0200-03201 वेफर लिफ्ट पिन उच्च-शुद्धतेच्या ग्रेफाइटने सुरू होतो, त्यानंतर आम्ही वर एक दाट CVD SiC कोटिंग जोडतो. हे 300 मिमी एपिटॅक्सी सिस्टम आणि अप्लाइड मटेरियल EPI रिॲक्टर्ससाठी बनवले आहे. ग्रेफाइट आणि SiC का? ग्रेफाइट उष्णता खरोखर चांगले हाताळते. SiC थर संक्षारक वायू घेतो आणि लवकर झिजत नाही. पातळ भिंत डिझाइन? ते क्लिनर वेफर उचलणे आणि पोझिशनिंगसाठी, कमी कण आणि उच्च तापमानात दीर्घ आयुष्यासाठी आहे. आम्ही ASM, Aixtron आणि LPE सिस्टीमसाठी समान SiC कोटेड ग्रेफाइट भाग बनवतो. तुमच्या चौकशीची वाट पाहत आहे.

VEECO MOCVD (LED Epitaxy) साठी वेफर वाहक

वेटेक सेमीकंडक्टर VEECO MOCVD सिस्टीमसाठी वेफर वाहक बनवते, विशेषत: GaN LEDs, निळे-हिरवे LEDs, आणि खोल UV LED ग्रोथ सारख्या LED epitaxy कार्यासाठी तयार केले आहे. हे वाहक उच्च-शुद्धतेच्या ग्रेफाइटपासून सुरू होतात आणि त्यांना दाट CVD सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग मिळते. हे संयोजन तुम्ही MOCVD मध्ये पाहत असलेल्या उच्च तापमानात चांगले टिकून राहते - चांगली थर्मल स्थिरता, गंज प्रतिकार आणि कोटिंग टिकते.

QR कोड

आमच्याबद्दल

उत्पादने

आमच्याशी संपर्क साधा

फोन
+86-18069220752
+86-15988690905
फॅक्स
+86-579-87223657
ई-मेल
anny@veteksemi.com
पत्ता
वांगडा रोड, झियांग स्ट्रीट, वुई काउंटी, जिन्हुआ सिटी, झेजियांग प्रांत, चीन

वेब मेनू

उत्पादन शोध

इंग्रजी

मेनूमधून बाहेर पडा