सिलिकॉन कार्बाईड लेपित एपीआय संवेदनशील

सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी म्हणजे गॅस फेज, लिक्विड फेज किंवा आण्विक बीम डिपॉझिशन यांसारख्या पद्धतींद्वारे सब्सट्रेट सामग्रीच्या पृष्ठभागावर विशिष्ट जाळीच्या संरचनेसह पातळ फिल्मची वाढ होय, जेणेकरून नवीन वाढलेल्या पातळ फिल्म लेयरला (एपिटॅक्सियल लेयर) समान किंवा समान जाळीची रचना आणि सब्सट्रेट म्हणून अभिमुखता. 

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये एपिटॅक्सी तंत्रज्ञान महत्त्वपूर्ण आहे, विशेषत: एकल क्रिस्टल थर, हेटरोस्ट्रक्चर्स आणि उच्च-कार्यक्षमता उपकरणे तयार करण्यासाठी वापरल्या जाणार्‍या क्वांटम स्ट्रक्चर्स सारख्या उच्च-गुणवत्तेच्या पातळ चित्रपटांच्या तयारीत.

सिलिकॉन कार्बाइड लेपित Epi ससेप्टर हा एक प्रमुख घटक आहे जो एपिटॅक्सियल ग्रोथ उपकरणांमध्ये सब्सट्रेटला आधार देण्यासाठी वापरला जातो आणि सिलिकॉन एपिटॅक्सीमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरला जातो. एपिटॅक्सियल पेडेस्टलची गुणवत्ता आणि कार्यप्रदर्शन एपिटॅक्सियल लेयरच्या वाढीच्या गुणवत्तेवर थेट परिणाम करते आणि सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या अंतिम कार्यप्रदर्शनात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते.

वेटेक सेमीकंडक्टरने सीव्हीडी पद्धतीने एसजीएल ग्रेफाइटच्या पृष्ठभागावर एसआयसी कोटिंगचा एक थर लेप केला आणि उच्च तापमान प्रतिरोध, ऑक्सिडेशन प्रतिरोध, गंज प्रतिरोध आणि थर्मल एकरूपता यासारख्या गुणधर्मांसह एसआयसी कोटेड ईपीआय संवेदनशील प्राप्त केले.

टिपिकल बॅरेल अणुभट्टीमध्ये, सिलिकॉन कार्बाईड लेपित एपीआय सिसेप्टरची बॅरल स्ट्रक्चर आहे. एसआयसी लेपित एपीआय सिसेप्टरचा तळाशी फिरणार्‍या शाफ्टशी जोडलेला आहे. एपिटॅक्सियल ग्रोथ प्रक्रियेदरम्यान, ते घड्याळाच्या दिशेने आणि घड्याळाच्या दिशेने फिरते. रिएक्शन गॅस नोजलद्वारे प्रतिक्रिया चेंबरमध्ये प्रवेश करते, जेणेकरून गॅस प्रवाह प्रतिक्रिया चेंबरमध्ये बर्‍यापैकी एकसमान वितरण तयार करेल आणि शेवटी एकसमान एपिटॅक्सियल थर वाढीस तयार होईल.

एसआयसी लेपित ग्रेफाइट आणि ऑक्सिडेशन टाइमचा मोठ्या प्रमाणात बदल दरम्यानचा संबंध

प्रकाशित अभ्यासाचे परिणाम असे दर्शवतात की 1400℃ आणि 1600℃ वर, SiC लेपित ग्रेफाइटचे वस्तुमान फारच कमी वाढते. म्हणजेच, SiC लेपित ग्रेफाइटमध्ये मजबूत अँटिऑक्सिडेंट क्षमता असते. म्हणून, SiC कोटेड Epi ससेप्टर बहुतेक एपिटॅक्सियल फर्नेसमध्ये दीर्घकाळ काम करू शकते. आपल्याकडे अधिक आवश्यकता किंवा सानुकूलित गरजा असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधा. आम्ही उत्कृष्ट दर्जेदार एसआयसी लेपित एपीआय सिसेप्टर सोल्यूशन्स प्रदान करण्यास वचनबद्ध आहोत.

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म

हे सेमीकंडक्टरसिलिकॉन कार्बाईड लेपित एपीआय सिसेप्टर शॉप्स