RTA/RTP प्रक्रिया

VeTek सेमीकंडक्टर RTA/RTP प्रक्रिया वेफर वाहक प्रदान करते, उच्च शुद्धता ग्रेफाइट आणि SiC कोटिंगसह बनलेले5ppm खाली अशुद्धता.

रॅपिड ॲनिलिंग फर्नेस हे मटेरियल ॲनिलिंग ट्रीटमेंटसाठी एक प्रकारचे उपकरण आहेRTA/RTP प्रक्रिया, सामग्रीच्या गरम आणि थंड प्रक्रियेवर नियंत्रण ठेवून, ते सामग्रीची क्रिस्टलीय रचना सुधारू शकते, अंतर्गत ताण कमी करू शकते आणि सामग्रीचे यांत्रिक आणि भौतिक गुणधर्म सुधारू शकते. वेगवान ॲनिलिंग भट्टीच्या चेंबरमधील मुख्य घटकांपैकी एक म्हणजे वेफर वाहक/वेफर रिसीव्हरवेफर्स लोड करण्यासाठी. प्रक्रिया चेंबरमध्ये वेफर हीटर म्हणून, हेवाहक प्लेटजलद गरम आणि तापमान समानीकरण उपचारांमध्ये महत्वाची भूमिका बजावते.

सिलिकॉन कार्बाइड, ॲल्युमिनियम नायट्राइड आणि ग्रेफाइट सिलिकॉन कार्बाइड हे जलद ॲनिलिंग फर्नेससाठी उपलब्ध साहित्य आहेत आणि बाजारात मुख्य पर्याय म्हणजे ग्रेफाइट आणिसिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग साहित्य म्हणून. 

खालील आहेतवैशिष्ट्ये आणि उत्कृष्ट कार्यप्रदर्शनVeTek सेमीकंडक्टर SiC लेपित RTA RTP प्रक्रिया वेफर वाहक:

-उच्च तापमान स्थिरता: SiC कोटिंग उत्कृष्ट उच्च-तापमान स्थिरता प्रदर्शित करते, अत्यंत तापमानातही संरचनेची अखंडता आणि यांत्रिक शक्ती सुनिश्चित करते. ही क्षमता उष्णता उपचार प्रक्रियांची मागणी करण्यासाठी अत्यंत योग्य बनवते.

-उत्कृष्ट थर्मल चालकता: SiC कोटिंग लेयरमध्ये अपवादात्मक थर्मल चालकता असते, ज्यामुळे जलद आणि एकसमान उष्णता वितरण शक्य होते. हे जलद उष्मा प्रक्रियेत अनुवादित करते, गरम होण्याचा वेळ लक्षणीयरीत्या कमी करते आणि एकूण उत्पादकता वाढवते. उष्णता हस्तांतरण कार्यक्षमतेत सुधारणा करून, ते उच्च उत्पादन कार्यक्षमता आणि उत्कृष्ट उत्पादन गुणवत्तेमध्ये योगदान देते.

-रासायनिक जडत्व: सिलिकॉन कार्बाइडची अंतर्निहित रासायनिक जडत्व विविध रसायनांपासून गंजण्यास उत्कृष्ट प्रतिकार प्रदान करते. आमचे कार्बन-लेपित सिलिकॉन कार्बाइड वेफर वाहक वेफर्सला दूषित किंवा नुकसान न करता विविध रासायनिक वातावरणात विश्वसनीयरित्या कार्य करू शकतात.

-पृष्ठभाग सपाटपणा: CVD सिलिकॉन कार्बाइड थर अत्यंत सपाट आणि गुळगुळीत पृष्ठभागाची खात्री देते, थर्मल प्रक्रियेदरम्यान वेफर्सशी स्थिर संपर्काची हमी देते. हे पृष्ठभागावरील अतिरिक्त दोषांचा परिचय काढून टाकते, इष्टतम प्रक्रिया परिणाम सुनिश्चित करते.

-हलके आणि उच्च सामर्थ्य: आमचे SiC कोटेड RTP वेफर वाहक वजनाने हलके असले तरी त्यात उल्लेखनीय ताकद आहे. हे वैशिष्ट्य वेफर्सचे सोयीस्कर आणि विश्वासार्ह लोडिंग आणि अनलोडिंग सुलभ करते.

RTA RTP प्रक्रिया वेफर वाहक कसे वापरावे：

VeTek सेमीकंडक्टरचे SiC कोटिंग वेफर रिसीव्हर आणि रिसीव्हर कव्हर

RTA RTP प्राप्तकर्ता RTA RTP वेफर वाहक आरटीपी ट्रे (आरटीए रॅपिड हीटिंग ट्रीटमेंटसाठी) आरटीपी ट्रे (आरटीए रॅपिड हीटिंग ट्रीटमेंटसाठी) RTP प्राप्तकर्ता RTP वेफर सपोर्ट ट्रे