रॅपिड थर्मल ne नीलिंग सासेप्टर

वेटेक सेमीकंडक्टर रॅपिड थर्मल ne नीलिंग सासेप्टर उच्च गुणवत्तेचे आणि दीर्घ आयुष्यासह आहे, आमच्या चौकशीत आपले स्वागत आहे.

सेमीकंडक्टर डिव्हाइस फॅब्रिकेशनमध्ये वापरल्या जाणार्‍या रॅपिड थर्मल प्रोसेसिंगचा रॅपिड थर्मल अ‍ॅनील (आरटीए) हा एक महत्त्वपूर्ण उपसमूह आहे. यात विविध लक्ष्यित उष्णतेच्या उपचारांद्वारे त्यांच्या विद्युत गुणधर्म सुधारित करण्यासाठी वैयक्तिक वेफर्सची गरम करणे समाविष्ट आहे. आरटीए प्रक्रिया डोपॅन्ट्सची सक्रियता, फिल्म-टू-फिल्म किंवा फिल्म-टू-वेफर सब्सट्रेट इंटरफेसचे बदल, जमा चित्रपटांची घनता, प्रौढ चित्रपटाच्या राज्यांमध्ये बदल, आयन इम्प्लांटेशन नुकसानाची दुरुस्ती, डोपंट चळवळ आणि चित्रपटांमधील ड्राईव्हिंग डोपंट्स सक्षम करते. किंवा वेफर सब्सट्रेटमध्ये.

VeTek सेमीकंडक्टर उत्पादन, रॅपिड थर्मल एनीलिंग ससेप्टर, RTP प्रक्रियेत महत्त्वाची भूमिका बजावते. हे इनर्ट सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) च्या संरक्षक आवरणासह उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट सामग्री वापरून तयार केले आहे. SiC-कोटेड सिलिकॉन सब्सट्रेट 1100°C पर्यंत तापमानाचा सामना करू शकतो, अत्यंत परिस्थितीतही विश्वासार्ह कामगिरी सुनिश्चित करतो. SiC कोटिंग गॅस गळती आणि कण शेडिंगपासून उत्कृष्ट संरक्षण प्रदान करते, ज्यामुळे उत्पादनाचे दीर्घायुष्य सुनिश्चित होते.

अचूक तापमान नियंत्रण राखण्यासाठी, चिप एसआयसीसह लेपित दोन उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट घटकांमधील एन्केप्युलेटेड आहे. सब्सट्रेटच्या संपर्कात एकात्मिक उच्च-तापमान सेन्सर किंवा थर्माकोपल्सद्वारे अचूक तापमान मोजमाप मिळू शकते.

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म:

VeTek सेमीकंडक्टर उत्पादन दुकान：

सेमीकंडक्टर चिप एपिटॅक्सी उद्योग साखळीचे विहंगावलोकन: