सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्स

VeTek Semiconductor हा तुमचा सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग क्षेत्रातील नाविन्यपूर्ण भागीदार आहे. सेमीकंडक्टर-ग्रेड सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्स मटेरियल कॉम्बिनेशन, घटक उत्पादन क्षमता आणि ऍप्लिकेशन इंजिनिअरिंग सेवांच्या आमच्या विस्तृत पोर्टफोलिओसह, आम्ही तुम्हाला महत्त्वाच्या आव्हानांवर मात करण्यास मदत करू शकतो. अभियांत्रिकी तांत्रिक सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्स त्यांच्या अपवादात्मक सामग्री कार्यक्षमतेमुळे सेमीकंडक्टर उद्योगात मोठ्या प्रमाणावर लागू केले जातात. VeTek सेमीकंडक्टरचे अल्ट्रा-प्युअर सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्स सेमीकंडक्टर उत्पादन आणि प्रक्रियेच्या संपूर्ण चक्रामध्ये वारंवार वापरले जातात.

डिफ्यूजन आणि एलपीसीव्हीडी प्रक्रिया

VeTek सेमीकंडक्टर विशेषत: बॅच डिफ्यूजन आणि LPCVD आवश्यकतांसाठी डिझाइन केलेले इंजिनियर केलेले सिरॅमिक्स घटक प्रदान करते यासह:

• गोंधळलेले आणि धारक
• इंजेक्टर
• लाइनर आणि प्रक्रिया ट्यूब
• सिलिकॉन कार्बाइड कॅन्टिलिव्हर पॅडल्स
• वेफर बोट्स आणि पेडेस्टल्स

SiC Cantilever पॅडल SiC प्रक्रिया ट्यूब सिलिकॉन कार्बाइड प्रक्रिया ट्यूब SiC वर्टिकल वेफर बोट SiC क्षैतिज वेफर बोट SiC क्षैतिज quare वेफर बोट SiC LPCVD वेफर बोट SiC क्षैतिज प्लेट बोट SiC सिरेमिक सील रिंग

ETCH प्रक्रिया घटक

प्लाझ्मा ईच प्रक्रियेच्या कठोरतेसाठी तयार केलेल्या उच्च-शुद्धतेच्या घटकांसह दूषितता आणि अनियोजित देखभाल कमी करा, यासह:

फोकस रिंग

नोझल्स

ढाल

शॉवरहेड्स

विंडोज / लिड्स

इतर सानुकूल घटक

रॅपिड थर्मल प्रोसेसिंग आणि एपिटॅक्सियल प्रोसेसिंग घटक

VeTek सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उद्योगातील उच्च-तापमान थर्मल प्रक्रिया अनुप्रयोगांसाठी तयार केलेले प्रगत साहित्य घटक प्रदान करते. या ऍप्लिकेशन्समध्ये RTP, Epi प्रक्रिया, प्रसार, ऑक्सिडेशन आणि ॲनिलिंग समाविष्ट आहे. आमचे तांत्रिक सिरेमिक थर्मल शॉक सहन करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत, विश्वसनीय आणि सातत्यपूर्ण कामगिरी प्रदान करतात. VeTek सेमीकंडक्टरच्या घटकांसह, सेमीकंडक्टर उत्पादक कार्यक्षम आणि उच्च-गुणवत्तेची थर्मल प्रक्रिया साध्य करू शकतात, जे सेमीकंडक्टर उत्पादनाच्या एकूण यशात योगदान देतात.

• डिफ्यूझर

• इन्सुलेटर

• ससेप्टर्स

• इतर सानुकूल थर्मल घटक

रीक्रिस्टलाइज्ड सिलिकॉन कार्बाइडचे भौतिक गुणधर्म
मालमत्ता	ठराविक मूल्य
कार्यरत तापमान (°C)	1600°C (ऑक्सिजनसह), 1700°C (वातावरण कमी करणारे)
SiC / SiC सामग्री	> 99.96%
Si / मोफत Si सामग्री	< ०.१%
मोठ्या प्रमाणात घनता	2.60-2.70 ग्रॅम/सेमी3
उघड सच्छिद्रता	< 16%
संक्षेप शक्ती	> 600 MPa
थंड झुकण्याची ताकद	80-90 MPa (20°C)
गरम झुकण्याची ताकद	90-100 MPa (1400°C)
थर्मल विस्तार @1500°C	4.70 10-6/°C
थर्मल चालकता @1200°C	२३ W/m•K
लवचिक मापांक	240 GPa
थर्मल शॉक प्रतिकार	अत्यंत चांगले

View as

सिलिकॉन कार्बाइड रोबोट आर्म

आमचा सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) रोबोटिक आर्म प्रगत सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये उच्च-कार्यक्षमता वेफर हाताळणीसाठी डिझाइन केलेला आहे. उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाईडपासून बनविलेले, हा रोबोटिक आर्म उच्च तापमान, प्लाझ्मा गंज आणि रासायनिक हल्ल्यास अपवादात्मक प्रतिकार प्रदान करतो, ज्यामुळे क्लीनरूमच्या वातावरणाची मागणी करण्याच्या विश्वासार्ह ऑपरेशनची खात्री होते. त्याची अपवादात्मक यांत्रिक सामर्थ्य आणि मितीय स्थिरता दूषित होण्याचे जोखीम कमी करताना अचूक वेफर हाताळणी सक्षम करते, यामुळे एमओसीव्हीडी, एपिटॅक्सी, आयन रोपण आणि इतर गंभीर वेफर हाताळणी अनुप्रयोगांसाठी एक आदर्श निवड बनते. आम्ही आपल्या चौकशीचे स्वागत करतो.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सिलिकॉन कार्बाइड सिक वेफर बोट

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमधील गंभीर उच्च-तापमान प्रक्रियेत वेटेकसेमिकॉन एसआयसी वेफर बोटी मोठ्या प्रमाणात वापरल्या जातात, सिलिकॉन-आधारित इंटिग्रेटेड सर्किट्ससाठी ऑक्सिडेशन, प्रसार आणि ne नीलिंग प्रक्रियेसाठी विश्वसनीय वाहक म्हणून काम करतात. ते तिसर्‍या पिढीतील सेमीकंडक्टर क्षेत्रात उत्कृष्ट आहेत, जे एसआयसी आणि गॅन पॉवर उपकरणांसाठी एपिटॅक्सियल ग्रोथ (ईपीआय) आणि मेटल-सेंद्रिय रासायनिक वाष्प जमा (एमओसीव्हीडी) सारख्या मागणीसाठी योग्य आहेत. ते फोटोव्होल्टेइक उद्योगातील उच्च-कार्यक्षमता सौर पेशींच्या उच्च-तापमानाच्या फॅब्रिकेशनला देखील समर्थन देतात. आपल्या पुढील सल्ल्याची अपेक्षा आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

Sic कॅन्टिलिव्हर पॅडल्स

वेटेकसेमिकॉन एसआयसी कॅन्टिलिव्हर पॅडल्स हाय-पूरिटी सिलिकॉन कार्बाईड सपोर्ट शस्त्रे आहेत जे क्षैतिज डिफ्यूजन फर्नेसेस आणि एपिटॅक्सियल रिएक्टर्समध्ये वेफर हाताळण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत. अपवादात्मक थर्मल चालकता, गंज प्रतिकार आणि यांत्रिक सामर्थ्यासह, हे पॅडल्स सेमीकंडक्टर वातावरणाची मागणी करण्यासाठी स्थिरता आणि स्वच्छता सुनिश्चित करतात. सानुकूल आकारात उपलब्ध आणि दीर्घ सेवा जीवनासाठी ऑप्टिमाइझ केलेले.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

Sic ब्लॉक

वेटेकसेमॉनचा एसआयसी ब्लॉक सिलिकॉन आणि नीलम वेफर्सच्या उच्च-कार्यक्षमतेचे पीस आणि पातळ करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. उत्कृष्ट थर्मल चालकता (≥120 डब्ल्यू/एम · के), उच्च थर्मल शॉक प्रतिरोध आणि उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध (एमओएचएस ≥9) सह, आमचे ब्लॉक्स प्रक्रिया स्थिरता सुधारतात आणि साधन बदलाची वारंवारता कमी करतात. सानुकूलित पर्याय आणि विविध उत्पादन गरजा पूर्ण करण्यासाठी वेगवान वितरणासह 120 मिमी ते 480 मिमी पर्यंत आकारात उपलब्ध.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

एसआयसी सिरेमिक झिल्ली

वेटेकसेमिकॉन एसआयसी सिरेमिक झिल्ली एक प्रकारचा अजैविक पडदा आहे आणि पडदा पृथक्करण तंत्रज्ञानामध्ये घन पडदा सामग्रीशी संबंधित आहे. 2000 च्या वर तापमानात एसआयसी पडदा काढून टाकला जातो. कणांची पृष्ठभाग गुळगुळीत आणि गोल आहे. समर्थन स्तर आणि प्रत्येक थरात कोणतेही बंद छिद्र किंवा चॅनेल नाहीत. ते सहसा वेगवेगळ्या छिद्र आकारांसह तीन थरांनी बनलेले असतात.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

सच्छिद्र एसआयसी सिरेमिक प्लेट

आमच्या सच्छिद्र एसआयसी सिरेमिक प्लेट्स सिलिकॉन कार्बाईडपासून बनविलेले सच्छिद्र सिरेमिक मटेरियल मुख्य घटक म्हणून आणि विशेष प्रक्रियेद्वारे प्रक्रिया केलेले आहेत. ते सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग, केमिकल वाफ डिपॉझिशन (सीव्हीडी) आणि इतर प्रक्रियेत अपरिहार्य सामग्री आहेत.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

चीनमधील एक व्यावसायिक सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्स निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून आमच्याकडे आमचा स्वतःचा कारखाना आहे. आपल्या प्रदेशाच्या विशिष्ट गरजा भागविण्यासाठी आपल्याला सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असल्यास किंवा चीनमध्ये बनविलेले प्रगत आणि टिकाऊ {77 brook खरेदी करायचे असल्यास आपण आम्हाला एक संदेश सोडू शकता.