सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्स

VeTek Semiconductor हा तुमचा सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग क्षेत्रातील नाविन्यपूर्ण भागीदार आहे. सेमीकंडक्टर-ग्रेड सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्स मटेरियल कॉम्बिनेशन, घटक उत्पादन क्षमता आणि ऍप्लिकेशन इंजिनिअरिंग सेवांच्या आमच्या विस्तृत पोर्टफोलिओसह, आम्ही तुम्हाला महत्त्वाच्या आव्हानांवर मात करण्यास मदत करू शकतो. अभियांत्रिकी तांत्रिक सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्स त्यांच्या अपवादात्मक सामग्री कार्यक्षमतेमुळे सेमीकंडक्टर उद्योगात मोठ्या प्रमाणावर लागू केले जातात. VeTek सेमीकंडक्टरचे अल्ट्रा-प्युअर सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्स सेमीकंडक्टर उत्पादन आणि प्रक्रियेच्या संपूर्ण चक्रामध्ये वारंवार वापरले जातात.

डिफ्यूजन आणि एलपीसीव्हीडी प्रक्रिया

VeTek सेमीकंडक्टर विशेषत: बॅच डिफ्यूजन आणि LPCVD आवश्यकतांसाठी डिझाइन केलेले इंजिनियर केलेले सिरॅमिक्स घटक प्रदान करते यासह:

• गोंधळलेले आणि धारक
• इंजेक्टर
• लाइनर आणि प्रक्रिया ट्यूब
• सिलिकॉन कार्बाइड कॅन्टिलिव्हर पॅडल्स
• वेफर बोट्स आणि पेडेस्टल्स

SiC Cantilever पॅडल SiC प्रक्रिया ट्यूब सिलिकॉन कार्बाइड प्रक्रिया ट्यूब SiC वर्टिकल वेफर बोट SiC क्षैतिज वेफर बोट SiC क्षैतिज quare वेफर बोट SiC LPCVD वेफर बोट SiC क्षैतिज प्लेट बोट SiC सिरेमिक सील रिंग

ETCH प्रक्रिया घटक

प्लाझ्मा ईच प्रक्रियेच्या कठोरतेसाठी तयार केलेल्या उच्च-शुद्धतेच्या घटकांसह दूषितता आणि अनियोजित देखभाल कमी करा, यासह:

फोकस रिंग

नोझल्स

ढाल

शॉवरहेड्स

विंडोज / लिड्स

इतर सानुकूल घटक

रॅपिड थर्मल प्रोसेसिंग आणि एपिटॅक्सियल प्रोसेसिंग घटक

VeTek सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उद्योगातील उच्च-तापमान थर्मल प्रक्रिया अनुप्रयोगांसाठी तयार केलेले प्रगत साहित्य घटक प्रदान करते. या ऍप्लिकेशन्समध्ये RTP, Epi प्रक्रिया, प्रसार, ऑक्सिडेशन आणि ॲनिलिंग समाविष्ट आहे. आमचे तांत्रिक सिरेमिक थर्मल शॉक सहन करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत, विश्वसनीय आणि सातत्यपूर्ण कामगिरी प्रदान करतात. VeTek सेमीकंडक्टरच्या घटकांसह, सेमीकंडक्टर उत्पादक कार्यक्षम आणि उच्च-गुणवत्तेची थर्मल प्रक्रिया साध्य करू शकतात, जे सेमीकंडक्टर उत्पादनाच्या एकूण यशात योगदान देतात.

• डिफ्यूझर

• इन्सुलेटर

• ससेप्टर्स

• इतर सानुकूल थर्मल घटक

रीक्रिस्टलाइज्ड सिलिकॉन कार्बाइडचे भौतिक गुणधर्म
मालमत्ता	ठराविक मूल्य
कार्यरत तापमान (°C)	1600°C (ऑक्सिजनसह), 1700°C (वातावरण कमी करणारे)
SiC / SiC सामग्री	> 99.96%
Si / मोफत Si सामग्री	< ०.१%
मोठ्या प्रमाणात घनता	2.60-2.70 ग्रॅम/सेमी3
उघड सच्छिद्रता	< 16%
संक्षेप शक्ती	> 600 MPa
थंड झुकण्याची ताकद	80-90 MPa (20°C)
गरम झुकण्याची ताकद	90-100 MPa (1400°C)
थर्मल विस्तार @1500°C	4.70 10-6/°C
थर्मल चालकता @1200°C	२३ W/m•K
लवचिक मापांक	240 GPa
थर्मल शॉक प्रतिकार	अत्यंत चांगले

सिलिकॉन कार्बाइड सीड क्रिस्टल बाँडिंग व्हॅक्यूम हॉट-प्रेस फर्नेस

SiC बियाणे बाँडिंग तंत्रज्ञान ही एक प्रमुख प्रक्रिया आहे जी क्रिस्टल वाढीवर परिणाम करते. VETEK ने या प्रक्रियेच्या वैशिष्ट्यांवर आधारित बियाणे बाँडिंगसाठी एक विशेष व्हॅक्यूम हॉट-प्रेस फर्नेस विकसित केला आहे. भट्टी बियाणे जोडणी प्रक्रियेदरम्यान निर्माण होणारे विविध दोष प्रभावीपणे कमी करू शकते, ज्यामुळे उत्पादन आणि क्रिस्टल इनगॉटची अंतिम गुणवत्ता सुधारते.

सिलिकॉन कॅसेट बोट

व्हेटेकसेमिकॉनची सिलिकॉन कॅसेट बोट ही एक अचूक-अभियांत्रिकी वेफर वाहक आहे जी विशेषतः उच्च-तापमान अर्धसंवाहक भट्टी अनुप्रयोगांसाठी विकसित केली गेली आहे, ज्यामध्ये ऑक्सिडेशन, डिफ्यूजन, ड्राइव्ह-इन आणि ॲनिलिंग समाविष्ट आहे. अल्ट्रा-हाय-प्युरिटी सिलिकॉनपासून बनवलेले आणि प्रगत दूषित-नियंत्रण मानकांपर्यंत पूर्ण झालेले, हे थर्मलली स्थिर, रासायनिकदृष्ट्या निष्क्रिय प्लॅटफॉर्म प्रदान करते जे स्वतः सिलिकॉन वेफर्सच्या गुणधर्मांशी जवळून जुळते. हे संरेखन थर्मल ताण कमी करते, स्लिप आणि दोष निर्मिती कमी करते आणि संपूर्ण बॅचमध्ये अपवादात्मकपणे एकसमान उष्णता वितरण सुनिश्चित करते

वेफर प्रक्रियेसाठी सिलिकॉन कार्बाइड कँटिलिव्हर पॅडल

Veteksemicon मधील सिलिकॉन कार्बाइड कँटिलिव्हर पॅडल सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये प्रगत वेफर प्रक्रियेसाठी इंजिनिअर केले आहे. उच्च-शुद्धता SiC चे बनलेले, ते उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, उत्कृष्ट यांत्रिक सामर्थ्य आणि उच्च तापमान आणि संक्षारक वातावरणास उत्कृष्ट प्रतिकार देते. ही वैशिष्ट्ये अचूक वेफर हाताळणी, विस्तारित सेवा आयुष्य आणि MOCVD, एपिटॅक्सी आणि डिफ्यूजन सारख्या प्रक्रियांमध्ये विश्वसनीय कामगिरी सुनिश्चित करतात. सल्लामसलत करण्यासाठी आपले स्वागत आहे.

सिलिकॉन कार्बाइड रोबोट आर्म

आमचा सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) रोबोटिक आर्म प्रगत सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये उच्च-कार्यक्षमता वेफर हाताळणीसाठी डिझाइन केलेला आहे. उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाईडपासून बनविलेले, हा रोबोटिक आर्म उच्च तापमान, प्लाझ्मा गंज आणि रासायनिक हल्ल्यास अपवादात्मक प्रतिकार प्रदान करतो, ज्यामुळे क्लीनरूमच्या वातावरणाची मागणी करण्याच्या विश्वासार्ह ऑपरेशनची खात्री होते. त्याची अपवादात्मक यांत्रिक सामर्थ्य आणि मितीय स्थिरता दूषित होण्याचे जोखीम कमी करताना अचूक वेफर हाताळणी सक्षम करते, यामुळे एमओसीव्हीडी, एपिटॅक्सी, आयन रोपण आणि इतर गंभीर वेफर हाताळणी अनुप्रयोगांसाठी एक आदर्श निवड बनते. आम्ही आपल्या चौकशीचे स्वागत करतो.

सिलिकॉन कार्बाइड सिक वेफर बोट

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमधील गंभीर उच्च-तापमान प्रक्रियेत वेटेकसेमिकॉन एसआयसी वेफर बोटी मोठ्या प्रमाणात वापरल्या जातात, सिलिकॉन-आधारित इंटिग्रेटेड सर्किट्ससाठी ऑक्सिडेशन, प्रसार आणि ne नीलिंग प्रक्रियेसाठी विश्वसनीय वाहक म्हणून काम करतात. ते तिसर्‍या पिढीतील सेमीकंडक्टर क्षेत्रात उत्कृष्ट आहेत, जे एसआयसी आणि गॅन पॉवर उपकरणांसाठी एपिटॅक्सियल ग्रोथ (ईपीआय) आणि मेटल-सेंद्रिय रासायनिक वाष्प जमा (एमओसीव्हीडी) सारख्या मागणीसाठी योग्य आहेत. ते फोटोव्होल्टेइक उद्योगातील उच्च-कार्यक्षमता सौर पेशींच्या उच्च-तापमानाच्या फॅब्रिकेशनला देखील समर्थन देतात. आपल्या पुढील सल्ल्याची अपेक्षा आहे.

Sic कॅन्टिलिव्हर पॅडल्स

वेटेकसेमिकॉन एसआयसी कॅन्टिलिव्हर पॅडल्स हाय-पूरिटी सिलिकॉन कार्बाईड सपोर्ट शस्त्रे आहेत जे क्षैतिज डिफ्यूजन फर्नेसेस आणि एपिटॅक्सियल रिएक्टर्समध्ये वेफर हाताळण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत. अपवादात्मक थर्मल चालकता, गंज प्रतिकार आणि यांत्रिक सामर्थ्यासह, हे पॅडल्स सेमीकंडक्टर वातावरणाची मागणी करण्यासाठी स्थिरता आणि स्वच्छता सुनिश्चित करतात. सानुकूल आकारात उपलब्ध आणि दीर्घ सेवा जीवनासाठी ऑप्टिमाइझ केलेले.