VeTek Semiconductor हा तुमचा सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग क्षेत्रातील नाविन्यपूर्ण भागीदार आहे. सेमीकंडक्टर-ग्रेड सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्स मटेरियल कॉम्बिनेशन, घटक उत्पादन क्षमता आणि ॲप्लिकेशन इंजिनिअरिंग सेवांच्या आमच्या विस्तृत पोर्टफोलिओसह, आम्ही तुम्हाला महत्त्वाच्या आव्हानांवर मात करण्यास मदत करू शकतो. अभियांत्रिकी तांत्रिक सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्स त्यांच्या अपवादात्मक सामग्री कार्यक्षमतेमुळे सेमीकंडक्टर उद्योगात मोठ्या प्रमाणावर लागू केले जातात. VeTek सेमीकंडक्टरचे अल्ट्रा-प्युअर सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्स सेमीकंडक्टर उत्पादन आणि प्रक्रियेच्या संपूर्ण चक्रामध्ये वारंवार वापरले जातात.
डिफ्यूजन आणि एलपीसीव्हीडी प्रक्रिया
VeTek सेमीकंडक्टर विशेषत: बॅच डिफ्यूजन आणि LPCVD आवश्यकतांसाठी डिझाइन केलेले इंजिनियर केलेले सिरॅमिक्स घटक प्रदान करते यासह:
● गोंधळलेले आणि धारक
● इंजेक्टर
● लाइनर आणि प्रक्रिया ट्यूब
● सिलिकॉन कार्बाइड कॅन्टिलिव्हर पॅडल्स
● वेफर बोट्स आणि पेडेस्टल्स
ETCH प्रक्रिया घटक
प्लाझ्मा ईच प्रक्रियेच्या कठोरतेसाठी तयार केलेल्या उच्च-शुद्धतेच्या घटकांसह दूषितता आणि अनियोजित देखभाल कमी करा, यासह:
● फोकस रिंग
● नोजल
● ढाल
● शॉवरहेड्स
● विंडोज / लिड्स
● इतर सानुकूल घटक
रॅपिड थर्मल प्रोसेसिंग आणि एपिटॅक्सियल प्रोसेसिंग घटक
VeTek सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उद्योगातील उच्च-तापमान थर्मल प्रक्रिया अनुप्रयोगांसाठी तयार केलेले प्रगत साहित्य घटक प्रदान करते. या ऍप्लिकेशन्समध्ये RTP, Epi प्रक्रिया, प्रसार, ऑक्सिडेशन आणि ॲनिलिंग समाविष्ट आहे. आमचे तांत्रिक सिरेमिक थर्मल शॉक सहन करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत, विश्वसनीय आणि सातत्यपूर्ण कामगिरी प्रदान करतात. VeTek सेमीकंडक्टरच्या घटकांसह, सेमीकंडक्टर उत्पादक कार्यक्षम आणि उच्च-गुणवत्तेची थर्मल प्रक्रिया साध्य करू शकतात, जे सेमीकंडक्टर उत्पादनाच्या एकूण यशात योगदान देतात.
● डिफ्यूझर्स
● इन्सुलेटर
● ससेप्टर्स
● इतर सानुकूल थर्मल घटक
प्रमुख वैशिष्ट्ये
● अति-उच्च शुद्धता: SiC सामग्री >99.96%, फ्री सिलिकॉन <0.1%, कमीत कमी धातू प्रदूषण.
● उत्कृष्ट उच्च-तापमान कार्यप्रदर्शन: 1600°C (ऑक्सिडायझिंग) / 1700°C (कमी करणे) पर्यंत कार्यरत तापमान.
● वेगवान थर्मल चक्रांतर्गत विश्वसनीय कामगिरीसाठी उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध आणि कमी थर्मल विस्तार.
● उच्च यांत्रिक सामर्थ्य (संक्षेप>600 MPa) आणि प्रक्रिया वायू आणि प्लाझमाविरूद्ध रासायनिक जडत्व.
● डिफ्यूजन/LPCVD, इच, RTP आणि epi प्रक्रियांसाठी सर्वसमावेशक उत्पादन श्रेणी — वेफर बोट्सपासून फोकस रिंग्ज आणि कस्टम भागांपर्यंत.
● दीर्घ सेवा आयुष्य आणि कमी कण निर्मिती, कमी देखभाल वारंवारता आणि उत्पन्न सुधारण्यास मदत करते.
उत्पादन तपशील
रीक्रिस्टलाइज्ड सिलिकॉन कार्बाइडचे भौतिक गुणधर्म
| मालमत्ता |
ठराविक मूल्य |
| कार्यरत तापमान (°C) |
1600°C (ऑक्सिजनसह), 1700°C (वातावरण कमी करणारे) |
| SiC / SiC सामग्री |
> 99.96% |
| Si / मोफत Si सामग्री |
< ०.१% |
| मोठ्या प्रमाणात घनता |
2.60-2.70 g/cm³ |
| उघड सच्छिद्रता |
< 16% |
| संक्षेप शक्ती |
> 600 MPa |
| थंड झुकण्याची ताकद |
80-90 MPa (20°C) |
| गरम झुकण्याची ताकद |
90-100 MPa (1400°C) |
| थर्मल विस्तार @1500°C |
4.70 × 10⁻⁶/°C |
| थर्मल चालकता @1200°C |
23 W/m·K |
| लवचिक मापांक |
240 GPa |
| थर्मल शॉक प्रतिरोध |
अत्यंत चांगले |
अर्ज
सेमीकंडक्टर प्रक्रियेच्या विविध गरजा पूर्ण करण्यासाठी, VeTek लक्ष्यित सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्स उत्पादने ऑफर करते. खालील सारणी मुख्य अनुप्रयोग क्षेत्रांनुसार त्यांचे वर्गीकरण करते:
| अर्ज फील्ड |
ठराविक उत्पादने |
अर्जाचे वर्णन |
| प्रसार आणि LPCVD |
SiC वेफर बोटी, cantilever paddles, प्रक्रिया ट्यूब, लाइनर, इंजेक्टर,गोंधळलेले आणि धारक
|
बॅच डिफ्यूजन आणि एलपीसीव्हीडी फर्नेससाठी उच्च-शुद्धता SiC घटक; उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता आणि 1600-1700°C पर्यंत रासायनिक प्रतिकार, कमी प्रदूषण. |
| प्लाझ्मा ईच प्रक्रिया |
फोकस रिंग, नोजल, ढाल, शॉवरहेड्स, खिडक्या/लिड्स, सानुकूल नक्षीचे घटक |
उच्च-शुद्धता SiC भाग प्लाझ्मा एच वातावरणासाठी इंजिनिअर केलेले; कण निर्मिती आणि अनियोजित देखभाल, उत्कृष्ट प्लाझ्मा प्रतिकार कमी करा. |
| आरटीपी / एपिटॅक्सियल / थर्मल प्रोसेसिंग |
susceptors, डिफ्यूझर्स, इन्सुलेटर, कस्टम थर्मल घटक |
RTP, epi, diffusion, oxidation आणि annealing साठी घटक; थर्मल झटके सहन करण्यासाठी आणि सातत्यपूर्ण उच्च-तापमान कार्यप्रदर्शन देण्यासाठी डिझाइन केलेले. |
| SiC क्रिस्टल ग्रोथ (PVT) |
उच्च शुद्धता SiC पावडर,7N CVD SiC कच्चा माल, बियाणे बाँडिंग संबंधित भाग |
PVT SiC सिंगल क्रिस्टल ग्रोथसाठी अल्ट्रा-प्युअर SiC स्त्रोत साहित्य आणि सहाय्यक घटक, उत्पन्न आणि क्रिस्टल गुणवत्ता सुधारते. |
| वेफर हाताळणी आणि वाहक |
उभ्या/आडव्या SiC वेफर बोटी, सिलिकॉन कॅसेट बोटी, पादचारी, सील रिंग
|
अचूक वाहक आणि सीलिंग घटक जे उच्च-तापमान प्रक्रियेदरम्यान थर्मल एकरूपता, यांत्रिक स्थिरता आणि किमान दूषितता प्रदान करतात. |
अधिक तपशीलवार प्रक्रिया जुळणाऱ्या उपायांसाठी, कृपया पहाऑक्सिडेशन आणि डिफ्यूजन फर्नेससंबंधित पृष्ठे.
चीनमध्ये व्यावसायिक सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्स निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून, आमचा स्वतःचा कारखाना आहे. तुम्हाला तुमच्या क्षेत्राच्या विशिष्ट गरजा पूर्ण करण्यासाठी सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असेल किंवा चीनमध्ये बनवलेले प्रगत आणि टिकाऊ सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्स खरेदी करायचे असतील, तुम्ही हे करू शकताआम्हाला एक संदेश द्या.
