सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग नोजल

वेटेक सेमीकंडक्टर सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग हाफमून पार्ट्स आणि त्याचे ory क्सेसरी सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग नोजेल्स सारख्या एपिटॅक्सियल उपकरणांसाठी सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग अ‍ॅक्सेसरीजचे एक विशेष निर्माता आहे. यूएस चौकशी करण्यासाठी.

पीई 1 ओ 8 हे हाताळण्यासाठी डिझाइन केलेले काडतुसे सिस्टममध्ये पूर्णपणे स्वयंचलित काडतुसे आहेSic wafers200 मिमी पर्यंत. स्वरूप 150 ते 200 मिमी दरम्यान स्विच केले जाऊ शकते, कमीतकमी साधन डाउनटाइम. हीटिंग स्टेज कमी केल्याने उत्पादकता वाढते, तर ऑटोमेशन श्रम कमी करते आणि गुणवत्ता आणि पुनरावृत्ती सुधारते. कार्यक्षम आणि खर्च-स्पर्धात्मक एपिटॅक्सी प्रक्रिया सुनिश्चित करण्यासाठी, तीन मुख्य घटकांची नोंद आहे: 

● जलद प्रक्रिया;

● जाडी आणि डोपिंगची उच्च एकसमानता;

● एपिटॅक्सी प्रक्रियेदरम्यान दोष निर्मिती कमी करणे. 

PE1O8 मध्ये, लहान ग्रेफाइट वस्तुमान आणि स्वयंचलित लोड/अनलोड प्रणाली 75 मिनिटांपेक्षा कमी वेळेत एक मानक रन पूर्ण करण्यास अनुमती देते (मानक 10μm Schottky डायोड फॉर्म्युलेशन 30μm/h वाढीचा दर वापरते). स्वयंचलित प्रणाली उच्च तापमानात लोडिंग/अनलोड करण्याची परवानगी देते. परिणामी, गरम आणि थंड होण्याची वेळ कमी आहे, तर बेकिंगची पायरी प्रतिबंधित केली गेली आहे. ही आदर्श स्थिती खऱ्या न केलेल्या सामग्रीच्या वाढीस अनुमती देते.

सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सीच्या प्रक्रियेत, सीव्हीडी SiC कोटिंग नोजल एपिटॅक्सियल लेयरच्या वाढीमध्ये आणि गुणवत्तेत महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावतात. मध्ये नोजलच्या भूमिकेचे विस्तारित स्पष्टीकरण येथे आहेसिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी:

● गॅस पुरवठा आणि नियंत्रण: सिलिकॉन स्त्रोत वायू आणि कार्बन स्त्रोत वायूसह एपिटॅक्सी दरम्यान आवश्यक गॅस मिश्रण वितरीत करण्यासाठी नोझल्सचा वापर केला जातो. एपिटॅक्सियल लेयरची एकसमान वाढ आणि इच्छित रासायनिक रचना सुनिश्चित करण्यासाठी नोझल्सद्वारे, वायू प्रवाह आणि गुणोत्तर अचूकपणे नियंत्रित केले जाऊ शकतात.

● तापमान नियंत्रण: एपिटॅक्सी रिॲक्टरमधील तापमान नियंत्रित करण्यासाठी नोझल्स देखील मदत करतात. सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सीमध्ये, तापमान हा वाढीचा दर आणि क्रिस्टल गुणवत्तेवर परिणाम करणारा एक गंभीर घटक आहे. नोजलद्वारे उष्णता किंवा शीतलक वायू प्रदान करून, एपिटॅक्सियल लेयरच्या वाढीचे तापमान चांगल्या वाढीच्या परिस्थितीसाठी समायोजित केले जाऊ शकते.

● गॅस प्रवाह वितरण: नोझल्सची रचना रिॲक्टरमधील गॅसच्या समान वितरणावर प्रभाव पाडते. एकसमान गॅस प्रवाह वितरण एपिटॅक्सियल लेयरची एकसमानता आणि सुसंगत जाडी सुनिश्चित करते, सामग्रीच्या गुणवत्तेच्या गैर-एकरूपतेशी संबंधित समस्या टाळते.

Up अशुलता दूषिततेचा प्रतिबंध: योग्य डिझाईन आणि नोझल्सचा वापर एपिटॅक्सी प्रक्रियेदरम्यान अशुद्धतेचे प्रदूषण टाळण्यास मदत करू शकते. योग्य नोझल डिझाइनमुळे बाह्य अशुद्धता अणुभट्टीमध्ये जाण्याची शक्यता कमी करते, एपिटॅक्सियल लेयरची शुद्धता आणि गुणवत्ता सुनिश्चित करते.

CVD SIC कोटिंग फिल्म क्रिस्टल स्ट्रक्चर:

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म: