आयएक्सट्रॉन जी 5 एमओसीव्हीडी संवेदनशील

व्यावसायिक निर्माता म्हणून, वेटेक सेमीकंडक्टर आपल्याला आयएक्सट्रॉन जी 5 एमओसीव्हीडी संवेदनशील प्रदान करू इच्छित आहे आयएक्सट्रॉन एपिटॅक्सी,  Sic कोटेडग्रेफाइट भाग आणि टीएसी लेपितग्रेफाइट भाग. आमच्या चौकशीत आपले स्वागत आहे.

आयएक्सट्रॉन जी 5 ही कंपाऊंड सेमीकंडक्टरसाठी एक साठा प्रणाली आहे. एआयएक्स जी 5 एमओसीव्हीडी संपूर्ण स्वयंचलित काडतूस (सी 2 सी) वेफर ट्रान्सफर सिस्टमसह प्रॉडक्शन ग्राहक सिद्ध आयएक्सट्रॉन प्लॅनेटरी अणुभट्टी प्लॅटफॉर्म वापरते. उद्योगातील सर्वात मोठा एकल पोकळीचा आकार (8 x 6 इंच) आणि सर्वात मोठी उत्पादन क्षमता प्राप्त केली. हे उत्कृष्ट उत्पादनाची गुणवत्ता राखताना उत्पादन खर्च कमी करण्यासाठी डिझाइन केलेले लवचिक 6 - आणि 4 -इंच कॉन्फिगरेशन ऑफर करते. उबदार वॉल प्लॅनेटरी सीव्हीडी सिस्टम एकाच भट्टीमध्ये एकाधिक प्लेट्सच्या वाढीद्वारे दर्शविली जाते आणि आउटपुट कार्यक्षमता जास्त असते. 

Witek सेमीकंडक्टर ixtron G5 MOCVD suspetor प्रणालीसाठी अ‍ॅक्सेसरीजचा संपूर्ण संच ऑफर करतो, ज्यात या उपकरणे आहेत:

1. ग्रह अणुभट्टी मॉड्यूल

फंक्शन ओरिएंटेशनः एआयएक्स जी 5 मालिकेचे कोर अणुभट्टी मॉड्यूल म्हणून, वेफर्समध्ये उच्च एकसमान सामग्री जमा करण्यासाठी ते ग्रह तंत्रज्ञानाचा अवलंब करते.

तांत्रिक वैशिष्ट्ये:

अ‍ॅक्सिसिमेट्रिक एकरूपता: अद्वितीय ग्रह रोटेशन डिझाइन जाडी, भौतिक रचना आणि डोपिंग एकाग्रतेच्या बाबतीत वेफर पृष्ठभागांचे अल्ट्रा-युनिफॉर्म वितरण सुनिश्चित करते.

मल्टी-वेफर सुसंगतता: 5 200 मिमी (8-इंच) वेफर्स किंवा 8 150 मिमी वेफर्सच्या बॅच प्रक्रियेस समर्थन देते, उत्पादकता लक्षणीय प्रमाणात वाढते.

तापमान नियंत्रण ऑप्टिमायझेशन: सानुकूल करण्यायोग्य सब्सट्रेट पॉकेट्ससह, थर्मल ग्रेडियंट्समुळे वेफरचे वाकणे कमी करण्यासाठी वेफर तापमान अचूकपणे नियंत्रित केले जाते.

2. कमाल मर्यादा (तापमान नियंत्रण कमाल मर्यादा प्रणाली)

फंक्शन ओरिएंटेशन: उच्च तापमान जमा वातावरणाची स्थिरता आणि उर्जा कार्यक्षमता सुनिश्चित करण्यासाठी प्रतिक्रिया चेंबरचा शीर्ष तापमान नियंत्रण घटक म्हणून.

तांत्रिक वैशिष्ट्ये:

कमी उष्णता फ्लक्स डिझाइन: "उबदार कमाल मर्यादा" तंत्रज्ञान वेफरच्या उभ्या दिशेने उष्णता प्रवाह कमी करते, वेफर विकृतीचा धोका कमी करते आणि पातळ सिलिकॉन-आधारित गॅलियम नायट्राइड (गॅन-ऑन-सी) प्रक्रियेस समर्थन देते.

सिटू क्लीनिंग सपोर्टमध्ये: सिटू क्लीनिंग फंक्शनमधील एकात्मिक सीएलए प्रतिक्रिया चेंबरची देखभाल वेळ कमी करते आणि उपकरणांची सतत ऑपरेशन कार्यक्षमता सुधारते.

3. ग्रेफाइट घटक

फंक्शन पोझिशनिंगः रिएक्शन चेंबरची हवेची घट्टपणा आणि गंज प्रतिकार सुनिश्चित करण्यासाठी उच्च तापमान सीलिंग आणि बेअरिंग घटक म्हणून.

तांत्रिक वैशिष्ट्ये:

उच्च तापमान प्रतिकार: उच्च शुद्धता लवचिक ग्रेफाइट सामग्रीचा वापर, समर्थन -200 ℃ ते 850 ℃ अत्यंत तापमान वातावरण, एमओसीव्हीडी प्रक्रिया अमोनिया (एनएचए), सेंद्रिय धातूचे स्त्रोत आणि इतर संक्षारक माध्यमांसाठी योग्य.

स्वत: ची वंगण आणि लवचीकता: ग्रेफाइट रिंगमध्ये उत्कृष्ट स्वयं-वंगण वैशिष्ट्ये आहेत, ज्यामुळे यांत्रिक पोशाख कमी होऊ शकतात, तर उच्च लवचीकता गुणांक थर्मल विस्ताराच्या बदलास अनुकूल करते, दीर्घकालीन सील विश्वसनीयता सुनिश्चित करते.

सानुकूलित डिझाइन: समर्थन 45 ° तिरकस चीर, व्ही-आकाराचे किंवा बंद रचना वेगवेगळ्या पोकळी सीलिंग आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी.

चौथे, सहाय्यक प्रणाली आणि विस्तार क्षमता

स्वयंचलित वेफर प्रक्रिया: कमी मॅन्युअल हस्तक्षेपासह पूर्णपणे स्वयंचलित वेफर लोडिंग/अनलोडिंगसाठी एकात्मिक कॅसेट-टू-कॅसेट वेफर हँडलर.

प्रक्रिया सुसंगतता: रेडिओ फ्रिक्वेन्सी (आरएफ), पॉवर डिव्हाइस, प्रदर्शन तंत्रज्ञान आणि मागणीच्या इतर क्षेत्रांसाठी योग्य गॅलियम नायट्राइड (जीएएन), फॉस्फरस आर्सेनाइड (एएसपी), मायक्रो एलईडी आणि इतर सामग्रीच्या एपिटॅक्सियल ग्रोथला समर्थन द्या.

अपग्रेड लवचिकता: विद्यमान जी 5 सिस्टम मोठ्या वेफर्स आणि प्रगत प्रक्रिया सामावून घेण्यासाठी हार्डवेअर सुधारणांसह जी 5+ आवृत्तीमध्ये श्रेणीसुधारित केल्या जाऊ शकतात.

सीव्हीडी एसआयसी फिल्म क्रिस्टल स्ट्रक्चर:

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म: