बातम्या
उत्पादने

एक पीईसीव्हीडी ग्रेफाइट बोट म्हणजे काय?

Ⅰ. पीईसीव्हीडी ग्रेफाइट बोटची सामग्री काय आहे?


ची मूळ सामग्रीपीईसीव्हीडी ग्रेफाइट बोट(प्लाझ्मा वर्धित रासायनिक वाष्प जमा ग्रेफाइट बोट) उच्च-शुद्धतेचा बनलेला आहेआयसोट्रॉपिक ग्रेफाइट सामग्री(शुद्धता सहसा ≥99.999%असते) आणि विशेष प्रक्रियेद्वारे (जसे की रासायनिक वाष्प जमा सीव्हीडी किंवा पृष्ठभाग कोटिंग) सुधारित केले जाते. उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट त्याच्या उत्कृष्ट विद्युत चालकता आणि उच्च औष्णिक चालकता (80 ~ 150 डब्ल्यू/एम · के) मुळे पीईसीव्हीडी सिस्टममध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरली जाते. हेउच्च-शुद्धता ग्रेफाइट सामग्रीउच्च तापमान वातावरणात चांगली स्ट्रक्चरल स्थिरता आणि रासायनिक स्थिरता राखू शकते आणि प्रतिक्रियाशील वायू आणि प्लाझ्मापासून गंज प्रतिकार करू शकते.


Ⅱ. ग्रेफाइट बोटचे भौतिक गुणधर्म काय आहेत?


पीईसीव्हीडी ग्रेफाइट बोटींच्या भौतिक गुणधर्मांमध्ये हे समाविष्ट आहे:


● विद्युत चालकता: आयसोस्टॅटिक ग्रेफाइटमध्ये उत्कृष्ट विद्युत चालकता आहे, जी पीईसीव्हीडी प्रक्रियेदरम्यान प्रभावीपणे विद्युत उर्जा व्यवस्थापित करण्यास आणि प्लाझ्माच्या पिढी आणि देखभाल करण्यास प्रोत्साहित करते.

●  औष्णिक चालकता: ग्रेफाइटची उच्च थर्मल चालकता (सुमारे 80 ~ 150 डब्ल्यू/एम · के) पीईसीव्हीडी प्रक्रियेदरम्यान स्थिर तापमान वातावरण राखण्यास आणि पातळ चित्रपटांची एकसमान जमा सुनिश्चित करण्यात मदत करते.

●  घनता: व्यावसायिक पॉलीक्रिस्टलिन ग्रेफाइटची घनता 1.30 ग्रॅम/सेमी ³ ते 1.88 ग्रॅम/सेमी ³ पर्यंत असते. घनता जितकी जास्त असेल तितकी भौतिक आणि यांत्रिक गुणधर्म जितके चांगले, जे उत्पादनाच्या सेवा जीवनात सुधारणा करू शकते.


Ⅲ. सामान्य ग्रेफाइट बोटच्या तुलनेत पीईसीव्हीडी ग्रेफाइट बोटचे फायदे काय आहेत?


सामान्य ग्रेफाइट बोटींच्या तुलनेत, पीईसीव्हीडी ग्रेफाइट बोटींचे खालील फायदे आहेत:


परिमाण
पीईसीव्हीडी ग्रेफाइट बोट
सामान्य ग्रेफाइट बोट
शुद्धता आणि घनता
≥99.99%, पोर्सिटी <5%
कमी शुद्धता (95 ~ 99%), उच्च पोर्सिटी (> 10%)
किंमत
उच्च प्रारंभिक किंमत, परंतु कमी व्यापक देखभाल खर्च
कमी प्रारंभिक किंमत, परंतु वारंवार बदलण्याची शक्यता एकूण खर्च वाढवते
प्रदूषण नियंत्रण
अशुद्धता सामग्री <1 पीपीएम, कमी कण शेडिंग दर
उच्च धातूची अशुद्धी, कण दूषित होण्याचा उच्च धोका
गंज प्रतिकार
प्लाझ्मा/रासायनिक गंज विरूद्ध कोटिंग संरक्षण
प्रतिक्रियाशील वायूंनी सहजपणे कोरडे केले (जसे की क्ले, ओ ₂)
प्रक्रिया सुसंगतता
कमी-तापमान, उच्च-उर्जा प्लाझ्मा वातावरणाशी जुळवून घेतले
केवळ उच्च-तापमान सीव्हीडी किंवा प्रसार प्रक्रियेसाठी योग्य
आयुष्य
> 1000 प्रक्रिया चक्र (कोटिंग अयशस्वी झाले नाही)
< 500 चक्रानंतर पावडर आणि क्रॅकिंग

Ⅳ. वेटेकसेमॉनची पीईसीव्हीडी ग्रेफाइट बोट का निवडा?


आपल्या सर्वांना माहित आहे की, वेटेकसेमॉन हे सेमीकंडक्टर कोटिंग उत्पादनांचे एक अग्रगण्य निर्माता आणि पुरवठादार आहेग्रेफाइट उत्पादनेचीनमध्ये. आमचीपीईसीव्हीडी ग्रेफाइट बोटीप्रामुख्याने सेमीकंडक्टर आणि फोटोव्होल्टिक उद्योगांमध्ये वापरले जातात, विशेषत: पीईसीव्हीडी आणि सीव्हीडी प्रक्रियेत.


उच्च तापमान आणि प्लाझ्मा वातावरणात या सामग्रीची सुरक्षित हाताळणी आणि वाहतूक सुनिश्चित करण्यासाठी ग्रेफाइट बोटी सामान्यत: सिलिकॉन वेफर किंवा इतर सामग्री वाहून नेण्यासाठी वाहक म्हणून वापरल्या जातात. उदाहरणार्थ, सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेमध्ये, वेटेकसेमॉनच्या पीईसीव्हीडी ग्रेफाइट बोटी प्लाझ्मा वर्धित रासायनिक वाष्प जमा प्रक्रियेसाठी डिझाइन केल्या आहेत. ग्रेफाइट बोट सिलिकॉन नायट्राइड (सिना) पॅसिव्हेशन लेयर्स आणि लो डायलेक्ट्रिक कॉन्स्टन्ट (लो-के) चित्रपट जमा करण्याची भूमिका बजावते.


फोटोव्होल्टिक फील्डमध्ये, पीईसीव्हीडी ग्रेफाइट बोटींचा वापर सिलिकॉन-आधारित पातळ-फिल्म सौर पेशी (जसे की अनाकार सिलिकॉन ए-सी: एच) आणि पर्क सेल बॅक पॅसिव्हेशन लेयर्स तयार करण्यासाठी केला जातो. वेटेकसेमिकॉनची पीईसीव्हीडी ग्रेफाइट बोट सिलिकॉन वेफर्सला प्रभावीपणे अंतर देऊन आणि एकसमान कोटिंग जमा करण्यासाठी ग्लो डिस्चार्ज लावून कोटिंग प्रक्रियेस अनुकूल करते.


सर्वात महत्त्वाचे म्हणजे, वेटेकसेमॉन सानुकूलित उत्पादने आणि तांत्रिक सेवा प्रदान करू शकते आणि आपल्या वास्तविक प्रक्रियेच्या आवश्यकतेनुसार भिन्न वैशिष्ट्यांचे ग्रेफाइट बोट उत्पादने डिझाइन आणि तयार करू शकते. वेटेकसेमॉन निवडणे म्हणजे सेमीकंडक्टर आणि फोटोव्होल्टिक उद्योगांमध्ये मजबूत सामर्थ्याने उद्योग नेता निवडणे. आम्ही आपला दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी प्रामाणिकपणे उत्सुक आहोत.


what is a PECVD graphite boat?

संबंधित बातम्या
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept