सॉलिड SiC फोकस रिंग

6. मुख्य अनुप्रयोग फील्ड

7. Veteksemi ठोस SiC फोकस रिंग कोर फायदे

उत्कृष्ट प्लाझ्मा गंज प्रतिकार

CF4, O2 आणि Cl2 सारख्या अत्यंत संक्षारक, उच्च-घनता असलेल्या प्लाझमाच्या दीर्घकाळ संपर्कात राहिल्यास, पारंपारिक साहित्य जलद पोशाख आणि कण दूषित होण्यास संवेदनाक्षम असतात. आमची सॉलिड SiC फोकस रिंग उत्कृष्ट गंज प्रतिकार दर्शवते, गंज दर क्वार्ट्ज किंवा ॲल्युमिना सारख्या सामग्रीपेक्षा खूपच कमी आहे. याचा अर्थ ते कालांतराने एक गुळगुळीत पृष्ठभाग राखते, घटकांच्या झीज आणि झीजमुळे होणारे वेफर दोषांचे जोखीम लक्षणीयरीत्या कमी करते, सतत आणि स्थिर मोठ्या प्रमाणात उत्पादन सुनिश्चित करते.

उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता आणि थर्मल व्यवस्थापन कार्यक्षमता

सेमीकंडक्टर एचिंग प्रक्रिया लक्षणीय उष्णता निर्माण करते, ज्यामुळे चेंबरच्या घटकांना नाट्यमय तापमान चढउतारांचा अनुभव येतो. आमच्या फोकस रिंग्समध्ये थर्मल विस्ताराचा अत्यंत कमी गुणांक असतो, जो क्रॅक किंवा विकृत न होता 1600°C पर्यंतचे क्षणिक तापमान सहन करण्यास सक्षम आहे. शिवाय, त्यांची अंतर्निहित उच्च थर्मल चालकता उष्णता समान रीतीने आणि त्वरीत पसरविण्यास मदत करते, वेफरच्या काठावर तापमान वितरण प्रभावीपणे सुधारते, ज्यामुळे वाढ होते.एनजी एचिंग एकसमानता आणि संपूर्ण वेफरमध्ये गंभीर परिमाणांची सुसंगतता.

असाधारण सामग्री शुद्धता आणि संरचनात्मक घनता

आम्ही सिलिकॉन कार्बाइड कच्च्या मालाची (≥99.999%) शुद्धता काटेकोरपणे नियंत्रित करतो आणि ट्रेस अशुद्धता नियंत्रणासाठी प्रगत उत्पादन प्रक्रियेच्या कठोर आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी सिंटरिंग प्रक्रियेदरम्यान धातूची दूषितता दूर करतो. उच्च-तापमान सिंटरिंगद्वारे तयार केलेल्या दाट संरचनेत अत्यंत कमी सच्छिद्रता असते, प्रक्रिया वायू आणि उप-उत्पादनांचा प्रवेश जवळजवळ पूर्णपणे अवरोधित करते. हे कार्यक्षमतेचा ऱ्हास आणि अंतर्गत सामग्रीच्या ऱ्हासामुळे कणांच्या वाढीस प्रतिबंध करते, शुद्ध प्रक्रिया कक्ष वातावरण सुनिश्चित करते.

दीर्घकाळ टिकणारे यांत्रिक जीवन आणि सर्वसमावेशक किंमत-प्रभावीता

पारंपारिक उपभोग्य वस्तूंच्या तुलनेत ज्यांना वारंवार बदलण्याची आवश्यकता असते, वेटेकसेमी सॉलिड SiC फोकस रिंग अपवादात्मक टिकाऊपणा देतात. ते त्यांच्या सेवा जीवनात स्थिर कार्यप्रदर्शन राखतात, प्रतिस्थापन चक्र अनेक वेळा वाढवतात. यामुळे केवळ स्पेअर पार्ट खरेदी खर्च थेट कमी होत नाही तर देखभालीसाठी उपकरणे डाउनटाइम कमी करून मशीनच्या वापरामध्ये लक्षणीय सुधारणा देखील होते, परिणामी ग्राहकांना एकूण खर्चाचे महत्त्वपूर्ण फायदे मिळतात.

अचूक आकार नियंत्रण आणि लवचिक सानुकूलित सेवा

आम्हाला उपभोग्य वस्तूंसाठी वेगवेगळ्या मशीन्स आणि प्रक्रियांच्या नेमक्या आवश्यकता समजतात. प्रत्येक फोकस रिंग ±0.05 मिमीच्या आत गंभीर मितीय सहिष्णुता सुनिश्चित करण्यासाठी अचूक मशीनिंग आणि कठोर चाचणी घेते. आम्ही सानुकूल आकार, पृष्ठभाग पूर्ण करणे (Ra ≤ 0.2μm ला पॉलिश करणे) आणि तुमच्या विशिष्ट प्रक्रियेच्या आवश्यकता आणि अनुप्रयोग परिस्थितींशी पूर्णपणे जुळणारे चालकता समायोजन यासह सानुकूलित सेवा देखील ऑफर करतो.

तपशीलवार तांत्रिक तपशील, श्वेतपत्रिका किंवा नमुना चाचणी व्यवस्थेसाठी, Veteksemi तुमची प्रक्रिया कार्यक्षमता कशी वाढवू शकते हे शोधण्यासाठी कृपया आमच्या तांत्रिक सहाय्य कार्यसंघाशी संपर्क साधा.