एमओसीव्हीडी ग्रेफाइट ट्रे कशी निवडायची?

प्रश्न 1: एमओसीव्हीडी ग्रेफाइट ट्रे म्हणजे काय आणि एपिटॅक्सियल प्रक्रियेसाठी ते इतके महत्वाचे का आहे?

मेटल-ऑर्गेनिक केमिकल वाष्प जमा (एमओसीव्हीडी) ग्रेफाइट प्लेट, ज्याला एमओसीव्हीडी ग्रेफाइट ट्रे किंवा एमओसीव्हीडी ग्रेफाइट स्यूससेप्टर देखील म्हटले जाते, हा एपिटॅक्सियल ग्रोथ दरम्यान सेमीकंडक्टर वेफर्सचे निराकरण करण्यासाठी वापरला जाणारा उच्च-शुद्धता घटक आहे. एपिटॅक्सियल प्रक्रियेमध्ये, हे एक हीटिंग घटक म्हणून कार्य करते आणि एकसारखे तापमान वितरण सुनिश्चित करते, जे प्रगत सेमीकंडक्टर उपकरणे, एलईडी मॅन्युफॅक्चरिंग आणि सौर पेशी यासारख्या अनुप्रयोगांमध्ये पातळ चित्रपट जमा करण्यात न बदलण्यायोग्य भूमिका निभावते.

ग्रेफाइट ट्रे अत्यंत तापमान (1,800 डिग्री सेल्सियस पर्यंत) आणि संक्षारक वायू वातावरणास प्रतिकार करू शकते, ज्यामुळे उच्च-तापमान, गंज-प्रतिरोधक एमओसीव्हीडी सिस्टमसाठी एक अपरिहार्य सामग्री बनते. त्याची कार्यक्षमता प्रक्रियेच्या सुसंगततेवर आणि वेफर उत्पन्नावर थेट परिणाम करते.

प्रश्न २: एमओसीव्हीडी ग्रेफाइट ट्रे निवडताना कोणत्या भौतिक गुणधर्मांना प्राधान्य दिले पाहिजे?

योग्य ग्रेफाइट प्लेट निवडण्यासाठी त्याच्या भौतिक आणि रासायनिक गुणधर्मांचे मूल्यांकन करणे आवश्यक आहे:

● उच्च शुद्धता (99.999%पेक्षा जास्त):

थोडक्यात, धातू किंवा राख यासारख्या अशुद्धी एपिटॅक्सियल प्रक्रियेस दूषित करू शकतात. वेटेकसेमिकॉन सारख्या उच्च-शुद्धतेचा ग्रेफाइट संवेदनाक्षम पुरवठादार निवडणे सेमीकंडक्टर एपिलेयरमधील कमीतकमी दोष सुनिश्चित करते.

●  उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता:

वास्तविक प्रक्रियेदरम्यान, ग्रेफाइट प्लेट्स विशिष्ट थर्मल शॉकचा प्रतिकार करण्यास सक्षम असणे आवश्यक आहे आणि जलद तापमान चक्र अंतर्गत स्ट्रक्चरल अखंडता राखण्यास सक्षम असणे आवश्यक आहे. वेटेकसेमॉन उच्च-घनता ग्रेफाइट एकसमान उष्णता वितरण सुनिश्चित करते, जे एकसमान चित्रपटाच्या वाढीसाठी गंभीर आहे.

●  उत्कृष्ट गंज प्रतिकार:

एमओसीव्हीडी प्रक्रियेच्या वातावरणामध्ये, ग्रेफाइट सामान्यत: संक्षारक वायूंच्या (उदा. अमोनिया, हायड्रोजन) उघडकीस आणला जातो. बारीक-दाणेदार संरचनेसह उच्च-तापमान गंज-प्रतिरोधक एमओसीव्हीडी ग्रेफाइट प्लेट्स गंज कमी करतात आणि सेवा जीवन वाढवतात.

●  उच्च-कार्यक्षमता यांत्रिक सामर्थ्य:

एपिटॅक्सियल प्रक्रियेमध्ये, एमओसीव्हीडी ग्रेफाइट ट्रेने वॉर्पिंगशिवाय एकाधिक वेफर्सचे समर्थन केले पाहिजे. वास्तविक प्रक्रियेतील वेटेकसेमॉनच्या आकडेवारीनुसार, ट्रेच्या क्रॅकिंगला प्रतिबंधित करण्यासाठी ग्रेफाइट प्लेटची वाकणे सामर्थ्य ≥50 एमपीए असणे आवश्यक आहे.

Q3: अनुप्रयोगाच्या परिस्थितीचा एमओसीव्हीडी ग्रेफाइट ट्रेच्या निवडीवर कसा परिणाम होतो?

वेगवेगळ्या एमओसीव्हीडी प्रक्रियेसाठी तयार केलेल्या ग्रेफाइट प्लेट डिझाइनची आवश्यकता असते:

●  एलईडी/फोटॉनिक्सची एपिटॅक्सियल वाढ:

कण निर्मिती कमी करण्यासाठी आणि दोष-मुक्त थर सुनिश्चित करण्यासाठी एपिटॅक्सी प्रक्रियेमध्ये अल्ट्रा-स्मूथ एमओसीव्हीडी ग्रेफाइट प्लेट्स वापरल्या जातात.

उदाहरणार्थ, वेटेकसेमिकॉन एमओसीव्हीडी ग्रेफाइट प्लेट्स (किंवा एमओसीव्हीडीसाठी वेटेकसेमिकॉन ग्रेफाइट प्लेट्स) जीएएन आणि जीएएएस एपिटॅक्सीसाठी डिझाइन केल्या आहेत आणि ऑप्टिमाइझ्ड थर्मल मॅनेजमेंट प्रदान करतात.

●  पॉवर सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग:

सेमीकेरा सेमीकंडक्टरच्या प्रायोगिक आकडेवारीसह एकत्रित, वर्धित ऑक्सिडेशन प्रतिरोध असलेल्या प्लेट्स सामान्यत: सिलिकॉन कार्बाइड (एसआयसी) किंवा गॅलियम नायट्राइड (जीएएन) प्रक्रियेसाठी प्राधान्य दिले जातात.

●  उच्च-थ्रूपुट उत्पादन:

अणुभट्टीच्या डिझाइनसह संरेखित करण्यासाठी मल्टी-वेफर ट्रेसाठी अचूक प्रक्रिया आवश्यक आहे. विश्वसनीय पुरवठादार सेमीकरा सेमीकंडक्टरकडून सानुकूल करण्यायोग्य एमओसीव्हीडी ग्रेफाइट ट्रे विशिष्ट टूल कॉन्फिगरेशनशी जुळतात.

Q4: विश्वसनीय एमओसीव्हीडी ग्रेफाइट प्लेट पुरवठादार शोधण्यासाठी मुख्य बाबी काय आहेत?

●  प्रमाणपत्र आणि चाचणी:

पुरवठादार भौतिक प्रमाणपत्र (उदा. शुद्धता अहवाल, घनता चाचणी) प्रदान करते हे सत्यापित करा आणि पोस्ट-प्रोसेसिंग पृष्ठभाग उपचार प्रदान करते (उदा. पोर्सिटी कमी करण्यासाठी कोटिंग). एक अग्रगण्य चीनी सेमीकंडक्टर कोटिंग आणि एपिटॅक्सियल प्रोसेस उपकरणे उत्पादक म्हणून, वेटेकसेमॉन एमओसीव्हीडी ग्रेफाइट प्लेट्स सरकारी विभागांद्वारे कठोर मर्यादा प्रयोगांसाठी प्रमाणित केले गेले आहेत आणि त्याच्या उत्पादनांचे शुद्धता आणि घनता चाचणी निकाल त्याच्या समवयस्कांपेक्षा खूपच पुढे आहेत.

●  सानुकूलन क्षमता:

आपल्या अणुभट्टीची आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी शीर्ष उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट सासेप्टर पुरवठादारांनी आकार, छिद्र नमुना आणि कोटिंग सानुकूलित केले पाहिजे. वेटेकसेमॉन आणि सेमीकेरा सेमीकंडक्टर या दोघांमध्ये संबंधित उत्पादने आणि तंत्रज्ञानाची सानुकूलन सेवा क्षमता आहे आणि आपल्या विविध सानुकूलित गरजा भागविण्यास पूर्णपणे सक्षम आहेत.

●  आयुष्य आणि खर्च कार्यक्षमता:

स्वस्त ग्रेफाइट अग्रगण्य खर्च वाचवू शकते, परंतु निकृष्ट ग्रेफाइट प्लेट्स वारंवार बदलण्याची शक्यता आणि डाउनटाइमला कारणीभूत ठरतील, ज्यामुळे सामान्य उत्पादन कार्यक्षमतेवर गंभीरपणे परिणाम होईल. वेटेकसेमॉन ग्रेफाइट प्लेट्स आणि इतर दर्जेदार उत्पादने निवडणे आपला व्यवसाय दीर्घकालीन विश्वसनीय उत्पादन प्राप्त करण्यास सक्षम करेल.

Q5: MOCVD ग्रेफाइट ट्रेचे सेवा जीवन कसे वाढवायचे?

●  ऑक्सिडेशन प्रतिबंधित करा: हीटिंग/कूलिंग सायकल दरम्यान जड गॅस पर्ज वापरा.

●  नियमितपणे स्वच्छ करा: जमा अवशेष काढण्यासाठी नॉन-अ‍ॅब्रॅसिव्ह पद्धती (जसे की ड्राई एचिंग) वापरा.

●  यांत्रिक तणाव टाळा: वेफर लोडिंग/अनलोडिंग दरम्यान ट्रे काळजीपूर्वक हाताळा.

आपल्याला वेटेकसेमॉनचा सर्वोत्कृष्ट सल्लाः

उच्च तापमान गंजला प्रतिरोधक असलेल्या एमओसीव्हीडी ग्रेफाइट प्लेट्ससाठी अर्धसंवाहक-ग्रेड सामग्रीमधील तज्ञ असलेल्या पुरवठादारांना प्राधान्य द्या.

कार्यक्षमता सत्यापित करण्यासाठी वास्तविक प्रक्रियेच्या परिस्थितीत चाचणी नमुने.

अत्यंत वातावरणात टिकाऊपणा आणि विश्वासार्हता वाढविण्यासाठी प्रगत कोटिंग्ज (जसे की एसआयसी कोटिंग, टीएसी कोटिंग) एक्सप्लोर करा.

एसआयसी कोटिंग एमओसीव्हीडी ग्रेफाइट प्लेटबद्दल अधिक माहितीसाठी, येथे क्लिक करा.

टीएसी कोटिंग एमओसीव्हीडी ग्रेफाइट प्लेटबद्दल अधिक माहितीसाठी, येथे क्लिक करा.