टीएसी लेपित ग्रेफाइट समर्थन

नवीनतम विक्री, कमी किंमत आणि उच्च-गुणवत्तेचे TaC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर खरेदी करण्यासाठी आमच्या कारखान्यात VeTek सेमीकंडक्टरमध्ये येण्यासाठी तुमचे स्वागत आहे. आम्ही तुमच्या सहकार्यासाठी उत्सुक आहोत.

टॅन्टलम कार्बाईड सिरेमिक मटेरियल मेलिंग पॉईंट 3880 ℃ पर्यंत, हा एक उच्च वितळणारा बिंदू आहे आणि कंपाऊंडची चांगली रासायनिक स्थिरता आहे, त्याचे उच्च तापमान वातावरण अजूनही स्थिर कार्यक्षमता राखू शकते, याव्यतिरिक्त, त्यात उच्च तापमान प्रतिरोध, रासायनिक गंज प्रतिरोध, चांगले रासायनिक देखील आहे आणि कार्बन सामग्री आणि इतर वैशिष्ट्यांसह यांत्रिक अनुकूलता, यामुळे एक आदर्श ग्रेफाइट सब्सट्रेट संरक्षक कोटिंग सामग्री बनते. टॅन्टलम कार्बाईड कोटिंग कठोर वापराच्या वातावरणामध्ये गरम अमोनिया, हायड्रोजन आणि सिलिकॉन वाष्प आणि पिघळलेल्या धातूच्या प्रभावापासून ग्रेफाइट घटकांचे प्रभावीपणे संरक्षण करू शकते, ग्रेफाइट घटकांच्या सेवा जीवनात लक्षणीय वाढ करते आणि ग्रेफाइटमध्ये उत्तेजनांचे स्थलांतर रोखते, एपिटॅक्सी आणि क्रिस्टल ग्रोथची गुणवत्ता सुनिश्चित करणे.हे मुख्यतः ओल्या सिरेमिक प्रक्रियेमध्ये वापरले जाते.

ग्रेफाइटच्या पृष्ठभागावर टँटलम कार्बाइड कोटिंगसाठी रासायनिक वाफ जमा करणे (CVD) ही सर्वात परिपक्व आणि इष्टतम तयारी पद्धत आहे.

टीएसी लेपित ग्रेफाइट स्यूससेप्टरसाठी सीव्हीडी टीएसी कोटिंग पद्धत:

कोटिंग प्रक्रियेमध्ये अनुक्रमे टॅकल 5 आणि प्रोपिलीनचा वापर कार्बन स्त्रोत आणि टँटलम स्त्रोत म्हणून केला जातो आणि उच्च तापमान गॅसिफिकेशननंतर टॅन्टलम पेंटाक्लोराईड वाष्पांना प्रतिक्रिया कक्षात आणण्यासाठी कॅरियर गॅस म्हणून आर्गॉनचा वापर केला जातो. लक्ष्य तापमान आणि दबाव अंतर्गत, पूर्ववर्ती सामग्रीची वाफ ग्रेफाइट भागाच्या पृष्ठभागावर शोषली जाते आणि विघटन आणि कार्बन स्त्रोत आणि टॅन्टलम स्त्रोताचे संयोजन यासारख्या जटिल रासायनिक प्रतिक्रियांची मालिका उद्भवते. त्याच वेळी, पूर्वसूचकांचे प्रसार आणि उप-उत्पादनांचे वर्णन यासारख्या पृष्ठभागाच्या प्रतिक्रियांची मालिका देखील यात सामील आहे. अखेरीस, ग्रेफाइट भागाच्या पृष्ठभागावर एक दाट संरक्षणात्मक थर तयार केला जातो, जो अत्यंत पर्यावरणीय परिस्थितीत ग्रेफाइट भाग स्थिर होण्यापासून संरक्षण करतो. ग्रेफाइट सामग्रीच्या अनुप्रयोग परिस्थितींमध्ये लक्षणीय विस्तार केला जातो.

TaC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टरचे उत्पादन मापदंड:

उत्पादन दुकाने:

सेमीकंडक्टर चिप एपिटॅक्सी उद्योग साखळीचे विहंगावलोकन: