उच्च शुद्धता sic कॅन्टिलिव्हर पॅडल

उच्च शुद्धता एसआयसी कॅन्टिलिव्हर पॅडल हा सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग उपकरणांमध्ये वापरला जाणारा एक महत्त्वाचा घटक आहे. उत्पादन उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) सामग्रीचे बनलेले आहे.  ग्राहक मुक्तपणे sintered sic मटेरियल किंवा पुन्हा तयार केलेल्या एसआयसी सामग्रीची निवड करू शकतात. उच्च शुद्धता, उच्च थर्मल स्थिरता आणि गंज प्रतिकार या उत्कृष्ट वैशिष्ट्यांच्या मदतीने, हे वेफर ट्रान्सफर, समर्थन आणि उच्च-तापमान प्रक्रिया यासारख्या प्रक्रियेत मोठ्या प्रमाणात वापरले जाते, प्रक्रिया अचूकता आणि उत्पादनाची गुणवत्ता सुनिश्चित करण्यासाठी विश्वसनीय हमी प्रदान करते.

सेमीकंडक्टर प्रक्रियेच्या प्रक्रियेत उच्च शुद्धता एसआयसी कॅन्टिलिव्हर पॅडल खालील विशिष्ट भूमिका बजावते:

वेफर ट्रान्सफर: उच्च शुद्धता एसआयसी कॅन्टिलिव्हर पॅडल सामान्यत: उच्च-तापमान प्रसार किंवा ऑक्सिडेशन फर्नेसेसमध्ये वेफर ट्रान्सफर डिव्हाइस म्हणून वापरली जाते. त्याची उच्च कठोरता हे परिधान-प्रतिरोधक बनवते आणि दीर्घकालीन वापरादरम्यान विकृत करणे सोपे नसते आणि हे सुनिश्चित करू शकते की हस्तांतरण प्रक्रियेदरम्यान वेफर अचूकपणे स्थित आहे. त्याच्या उच्च तापमान आणि गंज प्रतिकारासह एकत्रित, ते वेफर्सला कोणत्याही दूषिततेस किंवा नुकसान न करता उच्च तापमान वातावरणात फर्नेस ट्यूबमध्ये आणि बाहेर वेफर्स सुरक्षितपणे हस्तांतरित करू शकते.

वेफर समर्थन: एसआयसी मटेरियलमध्ये थर्मल विस्ताराचे कमी गुणांक असतो, ज्याचा अर्थ असा आहे की तापमान बदलल्यावर त्याचे आकार कमी बदलते, जे प्रक्रियेत अचूक नियंत्रण राखण्यास मदत करते. रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी) किंवा भौतिक वाष्प जमा (पीव्हीडी) प्रक्रियेमध्ये, एसआयसी कॅन्टिलिव्हर पॅडलचा वापर वेफरला समर्थन देण्यासाठी आणि निराकरण करण्यासाठी केला जातो की जमा प्रक्रियेदरम्यान वेफर स्थिर आणि सपाट राहील, ज्यामुळे चित्रपटाची एकसमानता आणि गुणवत्ता सुधारते.

उच्च तापमान प्रक्रियेचा वापर: एसआयसी कॅन्टिलिव्हर पॅडलमध्ये उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता आहे आणि 1600 डिग्री सेल्सियस पर्यंत तापमानाचा सामना करू शकतो. म्हणूनच, हे उत्पादन उच्च तापमान ne नीलिंग, ऑक्सिडेशन, प्रसार आणि इतर प्रक्रियांमध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरले जाते.

उच्च शुद्धता एसआयसी कॅन्टिलिव्हर पॅडलचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म:

उच्च शुद्धता sic कॅन्टिलिव्हर पॅडलदुकाने:

सेमीकंडक्टर चिप एपिटॅक्सी इंडस्ट्री चेनचे विहंगावलोकन: