क्वार्ट्ज बोट म्हणजे काय?

क्वार्ट्ज बोट हा सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेमध्ये वापरला जाणारा एक महत्त्वाचा घटक आहे, जो प्रामुख्याने डिफ्यूजन, ऑक्सिडेशन आणि ne नीलिंग सारख्या वेफर्सच्या उच्च-तापमान प्रक्रियेसाठी वापरला जातो. त्याची उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, कमी प्रदूषणाची वैशिष्ट्ये आणि गंज प्रतिकार ही सेमीकंडक्टर उद्योगात एक अपरिहार्य सामग्री बनवते. हा लेख क्वार्ट्ज बोट आणि पीईसीव्हीडी ग्रेफाइट बोटमधील सामग्री, भौतिक गुणधर्म, वर्गीकरण, अनुप्रयोग परिदृश्य आणि फरक यावर विस्तृतपणे वर्णन करेल.

Ⅰ? क्वार्ट्ज बोटची सामग्री

क्वार्ट्ज कॅरियरचा मुख्य घटक उच्च-शुद्धता सिलिकॉन डायऑक्साइड (एसआयओ) आहे आणि शुद्धता सहसा 99.99% पेक्षा जास्त (सेमीकंडक्टर ग्रेड) पर्यंत पोहोचणे आवश्यक आहे. ही उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज सामग्री हे सुनिश्चित करते की क्वार्ट्ज कॅरियर वेफरवरील धातूच्या अशुद्धींचे दूषितपणा कमी करण्यासाठी सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेदरम्यान अशुद्धी ओळखणार नाही.

तयारी प्रक्रियेनुसार, क्वार्ट्ज सामग्रीला दोन श्रेणींमध्ये विभागले जाऊ शकते:

● नैसर्गिक क्वार्ट्ज: क्रिस्टल शुध्दीकरणापासून बनविलेले, उच्च हायड्रॉक्सिल सामग्री (सुमारे 100-200 पीपीएम), कमी किंमतीसह, परंतु उच्च तापमानात अचानक झालेल्या बदलांसाठी कमकुवत सहनशीलता.

● सिंथेटिक क्वार्ट्ज: कमी हायड्रॉक्सिल (-ओएच) सामग्री (<1 पीपीएम), चांगले थर्मल स्थिरता आणि उच्च-तापमान प्रक्रियेसाठी योग्य (जसे की ऑक्सिडेशन आणि प्रसार).

याव्यतिरिक्त, काही क्वार्ट्ज बोटी विकृत प्रतिकार सुधारण्यासाठी टायटॅनियम (टीआय) किंवा अ‍ॅल्युमिनियम (एएल) सारख्या धातूंनी डोप केल्या आहेत किंवा अतिनील प्रक्रियेच्या गरजा भागविण्यासाठी प्रकाश संक्रमण समायोजित करतात.

Ⅱ? क्वार्ट्ज बोटींचे मुख्य भौतिक गुणधर्म काय आहेत?

● उच्च तापमान प्रतिकार: क्वार्ट्जचा वितळणारा बिंदू 1713 डिग्री सेल्सियस पर्यंत उच्च आहे आणि तो बर्‍याच काळासाठी 1200 डिग्री सेल्सिअस तापमानात स्थिरपणे कार्य करू शकतो आणि थोड्या काळासाठी 1500 डिग्री सेल्सियसचा प्रतिकार करू शकतो.

● कमी थर्मल विस्तार गुणांक: थर्मल विस्तार गुणांक केवळ 0.55 × 10⁻⁶/° से. ही उत्कृष्ट कामगिरी उच्च तापमानात आयामी स्थिरता सुनिश्चित करते आणि थर्मल तणावामुळे क्रॅकिंग टाळते.

● रासायनिक जडत्व: हायड्रोफ्लोरिक acid सिड (एचएफ) आणि हॉट फॉस्फोरिक acid सिड वगळता क्वार्ट्ज मजबूत ids सिडस्, मजबूत अल्कलिस आणि बहुतेक संक्षारक वायूंचा प्रतिकार करू शकतात (जसे की सीएलए, ओ ₂).

● इलेक्ट्रिकल इन्सुलेशन: प्रतिरोधकता प्लाझ्मा प्रक्रियेच्या इलेक्ट्रिक फील्ड वितरणात हस्तक्षेप टाळण्याऐवजी 10⁶⁶ω · सेमी इतकी उच्च आहे.

● लाइट ट्रान्समिटन्स: अल्ट्राव्हायोलेटमध्ये इन्फ्रारेड बँड (＞ 90%) मध्ये उत्कृष्ट प्रसारण, प्रकाश-सहाय्य प्रक्रियेसाठी योग्य (जसे की अल्ट्राव्हायोलेट क्युरिंग).

Iii. क्वार्ट्ज बोटींचे वर्गीकरण

वेगवेगळ्या डिझाइन स्ट्रक्चर्स आणि वापर परिस्थितीनुसार, क्वार्ट्ज बोटी खालील श्रेणींमध्ये विभागल्या जाऊ शकतात:

● क्षैतिज क्वार्ट्ज बोट

ऑक्सिडेशन, प्रसार, ne नीलिंग आणि इतर प्रक्रियेसाठी वापरल्या जाणार्‍या क्षैतिज ट्यूब फर्नेसेस (क्षैतिज प्रसार फर्नेस) साठी लागू.

वैशिष्ट्ये: सामान्यत: ओपन किंवा अर्ध-संलग्न डिझाइनसह 100-200 वेफर्स ठेवू शकतात.

● अनुलंब क्वार्ट्ज बोट

एलपीसीव्हीडी प्रक्रिया, ऑक्सिडेशन आणि ne नीलिंग प्रक्रियेसाठी वापरल्या जाणार्‍या अनुलंब फर्नेसेस (अनुलंब फर्नेस) ला लागू.

वैशिष्ट्ये: अधिक कॉम्पॅक्ट स्ट्रक्चर, वेफर वाहून नेण्याची क्षमता वाढवू शकते आणि प्रक्रियेदरम्यान कण दूषितता कमी करू शकते.

Custom सानुकूलित क्वार्ट्ज बोट

वेगवेगळ्या प्रक्रियेच्या आवश्यकतांनुसार डिझाइन केलेले, एकल वेफर समर्थन किंवा विशेष क्लॅम्पिंग स्ट्रक्चरचा वापर वेफर प्रोसेसिंग इफेक्ट ऑप्टिमाइझ करण्यासाठी केला जाऊ शकतो.

चीनमध्ये एक अग्रगण्य क्वार्ट्ज बोट निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून,आपल्या वास्तविक गरजा नुसार वेटेकसेमॉन सानुकूलित क्वार्ट्ज कॅरियर उत्पादनांचे डिझाइन आणि तयार करू शकते. अधिक उत्पादनांच्या तपशीलांसाठी, कृपया पहा:

Iv. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये क्वार्ट्ज बोटचे अनुप्रयोग परिस्थिती काय आहेत?

क्वार्ट्ज बोटी मोठ्या प्रमाणात सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगच्या अनेक की प्रक्रियेच्या दुव्यांमध्ये वापरल्या जातात, मुख्यत: खालील अनुप्रयोग परिस्थितींचा समावेश आहे:

1.१ थर्मल ऑक्सिडेशन

● प्रक्रियेचे वर्णनः सिलिकॉन डाय ऑक्साईड (सीओओ) चित्रपट तयार करण्यासाठी वेफर उच्च-तापमान ऑक्सिजन किंवा पाण्याच्या वाष्प वातावरणामध्ये गरम केले जाते.

Qu क्वार्ट्ज बोटची वैशिष्ट्ये:

१) उच्च उष्णतेचा प्रतिकार, 1000 ~ 1200 डिग्री सेल्सियस उच्च तापमानाचा प्रतिकार करू शकतो.

२) रासायनिक जडता, क्वार्ट्ज बोटी मजबूत ids सिडस्, मजबूत अल्कलिस आणि बहुतेक संक्षारक वायूंना प्रतिरोधक असतात, जेणेकरून ऑक्साईड चित्रपटाच्या गुणवत्तेवर परिणाम होण्यापासून ते टाळता येते.

2.२ प्रसार प्रक्रिया

● प्रक्रिया वर्णनः अशुद्धी (जसे की फॉस्फरस आणि बोरॉन) डोपिंग लेयर तयार करण्यासाठी उच्च तापमान परिस्थितीत सिलिकॉन वेफरमध्ये विखुरलेले आहेत.

● क्वार्ट्ज बोट वैशिष्ट्ये:

१) कमी दूषित होणे, डोपिंग एकाग्रता वितरणावर परिणाम होण्यापासून धातूच्या दूषिततेस प्रतिबंधित करते.

२) उच्च थर्मल स्थिरता, केवळ 0.55 × 10⁻⁶/° से.

3.3 ne नीलिंग प्रक्रिया

● प्रक्रियेचे वर्णनः उच्च तापमान उपचार तणाव काढून टाकण्यासाठी, क्रिस्टल स्ट्रक्चर सुधारण्यासाठी किंवा आयन इम्प्लांटेशन लेयर सक्रिय करण्यासाठी वापरले जाते.

● क्वार्ट्ज बोट वैशिष्ट्ये:

१) १13१13 डिग्री सेल्सिअस तापमानापेक्षा जास्त वितळणा point ्या बिंदूसह, थर्मल तणावामुळे होणा crach ्या क्रॅकिंगला टाळण्यासाठी ते वेगवान गरम आणि शीतकरण सहन करू शकते.

२) एकसमान हीटिंग सुनिश्चित करण्यासाठी अचूक आकार नियंत्रण.

4.4 लो प्रेशर केमिकल वाफ जमा (एलपीसीव्हीडी)

● प्रक्रियेचे वर्णनः कमी दाबाच्या वातावरणात, गॅस फेजच्या प्रतिक्रियेद्वारे सिलिकॉन नायट्राइड (सिएन) सारख्या एकसमान पातळ फिल्मची स्थापना केली जाते.

Qu क्वार्ट्ज बोटची वैशिष्ट्ये:

१) उभ्या फर्नेस ट्यूबसाठी योग्य, फिल्म जमा एकरूपता अनुकूलित करू शकते.

२) कमी कण दूषित होणे, चित्रपटाची गुणवत्ता सुधारित करा.

Ⅴ? क्वार्ट्ज बोट आणि पीईसीव्हीडी ग्रेफाइट बोटमध्ये काय फरक आहेत?

ठराविक फरक परिदृश्य:

● पीईसीव्हीडी प्रक्रिया: ग्रेफाइट बोटी त्यांच्या चालकतेमुळे प्लाझ्मा एकरूपता अनुकूलित करू शकतात आणि कमी तापमान वातावरणात (300-400 डिग्री सेल्सियस) क्वार्ट्जच्या उच्च तापमान कामगिरीची आवश्यकता नाही.

● उच्च तापमान ऑक्सिडेशन फर्नेस: वेटेकसेमिकॉन क्वार्ट्ज बोटी त्यांच्या उच्च तापमान प्रतिकारांसाठी अपरिवर्तनीय आहेत, तर ऑक्सिजन वातावरणात उच्च तापमानात सीओ/को -तयार करण्यासाठी ग्रेफाइट सहजपणे ऑक्सिडाइझ केले जाते, जे चेंबरला प्रदूषित करते.