उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज वेफर बोट

वेटेक सेमीकंडक्टरची उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज वेफर बोट अल्ट्रा-हाय शुद्धता क्वार्ट्जपासून बनविली गेली आहे, ज्यात कमी हायड्रॉक्सिल सामग्री, उच्च शुद्धता आणि उच्च तापमान प्रतिरोधक वैशिष्ट्ये आहेत. ही सामग्री सेमीकंडक्टर उद्योगात प्रसार फर्नेसेस आणि सीव्हीडी फर्नेस घटकांसाठी सामग्री म्हणून मोठ्या प्रमाणात वापरली जाते. सिलिकॉन वेफर्स वाहून नेण्यासाठी कंटेनर म्हणून, उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज बोट वेफर सेमीकंडक्टर, फोटोव्होल्टेइक, केमिकल आणि इतर शेतात वापरली गेली आहे.

अनुप्रयोग परिस्थिती

प्रथम सेमीकंडक्टर फील्ड आहे. थर्मल ऑक्सिडेशन, डिफ्यूजन, ne नीलिंग इत्यादीसह वेफर्सची उष्णता उपचार प्रक्रिया खूप महत्वाची आहे. उष्णता उपचार प्रक्रियेद्वारे आम्ही वेफर्सला नवीन वैशिष्ट्ये देतो.

थर्मल ऑक्सिडेशन, उच्च तापमान प्रसार, ॲनिलिंग आणि पातळ फिल्म डिपॉझिशन यासारख्या सेमीकंडक्टर वेफर प्रक्रिया प्रक्रियेसाठी बॅच फर्नेस कोअर ट्यूबचा वापर केला जातो. बॅच हीटिंग फर्नेसचा वापर मुख्यतः उष्णता उपचार पूर्ण करण्यासाठी कॉइलद्वारे भट्टीचे शरीर गरम करण्यासाठी केला जातो. वेगवेगळ्या कार्यरत संरचनांनुसार, बॅच फर्नेस कोर ट्यूब्स क्षैतिज भट्टी आणि उभ्या भट्टीत विभागल्या जाऊ शकतात:

(१) क्षैतिज भट्टीची उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज वेफर बोट क्षैतिजपणे ठेवली जाते, म्हणून त्याला क्षैतिज भट्टी म्हणतात.

उष्णता उपचार प्रक्रियेत, वेफर उच्च शुद्धतेच्या क्वार्ट्ज वेफर बोटवर लोड केले जाते, हळूहळू क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूबमध्ये पाठवले जाते आणि प्रक्रियेसाठी वेफर स्थिर तापमान झोनमध्ये ठेवले जाते. प्रक्रिया पूर्ण होण्याची वाट पाहिल्यानंतर, तापमानातील अचानक बदलांमुळे वेफर खराब होऊ नये म्हणून क्वार्ट्जच्या भट्टीतून वेफर वापरलेली क्वार्ट्ज बोट हळूहळू बाहेर काढली जाते. 200 मिमी पेक्षा कमी व्यास असलेल्या एकात्मिक सर्किट्सच्या प्रसार प्रक्रियेत क्षैतिज भट्टी मोठ्या प्रमाणावर वापरल्या जातात. 

क्षैतिज भट्टीचे फायदे म्हणजे साधी प्रक्रिया, वेफर्समध्ये चांगली एकसमानता आणि एकाच वेळी अनेक वेफर्सवर प्रक्रिया करण्याची क्षमता. तोटे म्हणजे मंद गरम गती, मोठे उपकरण आकार, ऑटोमेशनमध्ये अडचण आणि वेफर्स लोड आणि अनलोड करताना बाह्य हवेचा सहज प्रवेश.

(2)उभ्या भट्टीची उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज वेफर बोट उभी ठेवली जाते, म्हणून तिला उभ्या भट्टी म्हणतात.

वेफर क्वार्ट्ज टॉवरवर लोड केले जाते आणि हळूहळू गरम करण्यासाठी क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूबवर उगवते. हीटिंग प्रक्रियेदरम्यान, वेफर समान रीतीने गरम होईल याची खात्री करण्यासाठी उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज वेफर बोट हळूहळू फिरते. प्रक्रिया केल्यानंतर, क्वार्ट्ज टॉवर हळूहळू खाली येईल तापमान बदल टाळण्यासाठी ज्यामुळे वायफळ नुकसान होऊ शकते. अनुलंब फर्नेसेस प्रामुख्याने 200 मिमी आणि 300 मिमी व्यासाच्या वेफर्सच्या समाकलित सर्किट प्रक्रियेमध्ये वापरल्या जातात. उभ्या भट्टीचे मुख्य तंत्रज्ञान उच्च-परिशुद्धता तापमान फील्ड कंट्रोल, कण नियंत्रण, सूक्ष्म-पर्यावरण सूक्ष्म-ऑक्सिजन नियंत्रण आणि मोटरायझेशनमध्ये आहे. उभ्या भट्टीचे फायदे पातळ नैसर्गिक ऑक्साईड थर, चांगले एकरूपता, सुलभ ऑटोमेशन, लहान उपकरणांच्या पदचिन्ह आणि बॅच प्रक्रिया आहेत. गैरसोय म्हणजे हीटिंगची गती कमी आहे.

फोटोव्होल्टेइक क्षेत्रात, फोटोव्होल्टेइक पेशींच्या उत्पादन प्रक्रियेत उच्च-तापमान प्रसार प्रक्रियेत सिलिकॉन वेफर्स वाहून नेण्यासाठी आणि वाहून नेण्यासाठी क्वार्ट्ज बोट्सची आवश्यकता असते. उच्च-शुद्धता नायट्रोजन, ऑक्सिजन किंवा इतर अक्रिय वायू वातावरणात उच्च-तापमान उपचार, जसे की फॉस्फरस प्रसार किंवा बोरॉन प्रसार, सौर पेशींच्या निर्मिती प्रक्रियेतील एक महत्त्वाचा टप्पा आहे. सिलिकॉन वेफरवर पीएन जंक्शन तयार करणे हा उद्देश आहे.

क्वार्ट्ज बोटने सिलिकॉन वेफर उच्च-तापमान प्रसार प्रक्रियेदरम्यान अचूक स्थिती राखून ठेवते आणि समान रीतीने गरम होते हे सुनिश्चित करण्यासाठी आतून तंतोतंत डिझाइन केलेले स्लॉट आहेत. क्वार्ट्ज मटेरियलमध्ये उच्च-तापमान प्रतिकार आणि रासायनिक स्थिरता असल्याने, ते सिलिकॉन वेफरला प्रदूषित करणार नाही, जे उत्पादन वातावरणाची उच्च स्वच्छता राखण्यासाठी अनुकूल आहे.

चीनच्या वेफरमधील एक नाविन्यपूर्ण आणि नेता म्हणून क्वार्ट्ज बोट मार्केटचा वापर केला गेला, मग आपण सेमीकंडक्टर उद्योगात किंवा फोटोव्होल्टिक उद्योगात गुंतलेले असाल, जोपर्यंत आपल्याला उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज वेफर बोटची आवश्यकता आहे, कृपया आम्हाला एक कोट विचारा आणि आम्ही टेलर करण्यास सक्षम होऊ. हे आपल्या गरजेनुसार आपल्यासाठी.

हे सेमीकंडक्टर उत्पादनांची दुकाने: