सिंगल वेफर एपीआय ग्रेफाइट अंडरटेकर

वर्णन Placed

सिंगल वेफर एपीआय ग्रेफाइट सासेप्टरमध्ये उच्च तापमान स्थिरता, रासायनिक जडत्व आणि थर्मल फील्ड एकरूपता लक्षात घेऊन उच्च शुद्धता ग्रेफाइट सब्सट्रेट + वाष्प जमा सिलिकॉन कार्बाईड कोटिंग कंपोझिट स्ट्रक्चरचा वापर करून ग्रेफाइट ट्रे, ग्रेफाइट रिंग आणि इतर उपकरणे समाविष्ट आहेत. मोठ्या प्रमाणात उत्पादनातील उच्च-परिशुद्धता एपिटॅक्सियल शीटचा हा मुख्य बेअरिंग घटक आहे.

मटेरियल इनोव्हेशन: ग्रेफाइट +एसआयसी कोटिंग

ग्रेफाइट

प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी अल्ट्रा-हाय थर्मल चालकता (> 130 डब्ल्यू/एम · के), तापमान नियंत्रण आवश्यकतांना वेगवान प्रतिसाद.

● कमी थर्मल विस्तार गुणांक (सीटीई: 6.6 × १०⁻⁶/डिग्री सेल्सियस), उच्च तापमान विकृती कमी करा, सेवा आयुष्य वाढवते.

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग

● गंज प्रतिकार? एच, एचसीएल आणि सिह सारख्या प्रतिक्रिया वायूंच्या हल्ल्याचा प्रतिकार करा. हे बेस मटेरियलच्या अस्थिरतेमुळे एपिटॅक्सियल लेयरचे दूषितपणा टाळते.

● पृष्ठभागाची घनता: कोटिंग पोर्सिटी 0.1%पेक्षा कमी आहे, जे ग्रेफाइट आणि वेफर दरम्यानच्या संपर्कास प्रतिबंधित करते आणि कार्बन अशुद्धीच्या प्रसारास प्रतिबंधित करते.

● उच्च तापमान सहनशीलता: वातावरणात दीर्घकालीन स्थिर कार्य 1600 डिग्री सेल्सियसपेक्षा जास्त, एसआयसी एपिटॅक्सीच्या उच्च तापमानाच्या मागणीशी जुळवून घ्या.

थर्मल फील्ड आणि एअरफ्लो ऑप्टिमायझेशन डिझाइन

एकसमान थर्मल रेडिएशन रचना

स्यूससेप्टर पृष्ठभाग एकाधिक थर्मल रिफ्लेक्शन ग्रूव्हसह डिझाइन केलेले आहे आणि एएसएम डिव्हाइसची थर्मल फील्ड कंट्रोल सिस्टम तापमान एकसारखेपणा ± 1.5 डिग्री सेल्सियस (6 इंच वेफर, 8 इंच वेफर) मध्ये प्राप्त करते, ज्यामुळे एपिटेक्सियल लेयर जाडीची सुसंगतता आणि एकरूपता सुनिश्चित होते (चढउतार <3%).

एअर स्टीयरिंग तंत्र

एज डायव्हर्शन होल आणि कलते समर्थन स्तंभ वेफर पृष्ठभागावर रिएक्शन गॅसचे लॅमिनेर फ्लो वितरण अनुकूलित करण्यासाठी, एडी प्रवाहांमुळे होणार्‍या जमा दरातील फरक कमी करण्यासाठी आणि डोपिंग एकरूपता सुधारण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत.