टॅन्टलम कार्बाईड (टीएसी) म्हणजे काय？

टँटलम कार्बाइड (टीएसी)टॅन्टलम (टीए) आणि कार्बन (सी) चे एक बायनरी कंपाऊंड आहे, जे रासायनिक सूत्र सहसा टॅक म्हणून व्यक्त केले जाते (जेथे एक्स 0.4 ते 1 पर्यंत असते). हे उत्कृष्ट कडकपणा, उच्च-तापमान स्थिरता आणि धातूच्या चालकतासह एक रेफ्रेक्टरी सिरेमिक सामग्री म्हणून वर्गीकृत केले गेले आहे.

1. टँटलम कार्बाईडची रचना

1.1 रासायनिक रचना आणि क्रिस्टल रचना

टँटलम कार्बाईड एक बायनरी सिरेमिक कंपाऊंड आहे जो टँटलम (टीए) आणि कार्बन (सी) चा बनलेला आहे.

त्याची क्रिस्टल स्ट्रक्चर फेस-केंद्रीत क्यूबिक (एफसीसी) आहे, जी त्यास उत्कृष्ट कठोरता आणि स्थिरता देते.

1.2 बाँडिंग गुणधर्म

मजबूत सहसंयोजक बाँडिंग टँटलम कार्बाईड अत्यंत कठोर आणि विकृतीस प्रतिरोधक बनवते.

टीएसीमध्ये अत्यंत कमी डिफ्यूजन गुणांक आहे आणि उच्च तापमानातही स्थिर राहते.

मायक्रोस्कोपिक क्रॉस-सेक्शनवर टँटलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंग

2. Physical properties of Tantalum carbide

2.1 अल्ट्रा-हाय मेल्टिंग पॉईंट

8,880० डिग्री सेल्सियसच्या वितळण्याच्या बिंदूसह, टॅन्टलम कार्बाईडमध्ये कोणत्याही ज्ञात सामग्रीचा सर्वाधिक वितळणारा बिंदू आहे, परिणामी अत्यंत तापमानात उत्कृष्ट स्थिरता येते.

2.2 उत्कृष्ट कठोरता

अंदाजे 9-10 च्या एमओएचएस कठोरतेसह, ते डायमंडच्या जवळ आहे आणि म्हणूनच ते पोशाख-प्रतिरोधक कोटिंग्जमध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरले जाते.

२.3 चांगली विद्युत चालकता

बहुतेक सिरेमिक सामग्रीच्या विपरीत, टीएसीमध्ये उच्च धातू सारखी विद्युत चालकता असते, जी विशिष्ट इलेक्ट्रॉनिक उपकरणांमधील अनुप्रयोगांसाठी मौल्यवान बनवते.

२.4 गंज आणि ऑक्सिडेशन प्रतिरोध

टीएसी acid सिड गंजला अत्यंत प्रतिरोधक आहे आणि दीर्घ कालावधीत कठोर वातावरणात त्याची स्ट्रक्चरल अखंडता राखते.

तथापि, टीएसी 1,500 ° से. 

3. सामान्य समाप्त टँटलम कार्बाईड उत्पादने

1.१ टँटलम कार्बाईड लेपित भाग

● सीव्हीडी टॅन्टलम कार्बाईड लेपित संवेदनशील: सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी आणि उच्च तापमान प्रक्रियेमध्ये वापरले जाते.

● टँटलम कार्बाईड लेपित ग्रेफाइट भाग: उच्च तापमान फर्नेसेस आणि वेफर प्रोसेसिंग चेंबरमध्ये वापरले जाते. उदाहरणांमध्ये टॅन्टलम कार्बाईड लेपित सच्छिद्र ग्रेफाइट समाविष्ट आहे, जे एसआयसी क्रिस्टल वाढीदरम्यान गॅस प्रवाह अनुकूलित करून, थर्मल तणाव कमी करणे, थर्मल एकरूपता सुधारणे, गंज प्रतिरोध वाढविणे आणि अशुद्धता प्रसार प्रतिबंधित करून प्रक्रियेची कार्यक्षमता आणि क्रिस्टल गुणवत्तेत लक्षणीय सुधारणा करते.

● टँटलम कार्बाईड लेपित रोटेशन प्लेट: वेटेकसेमॉनच्या टीएसी लेपित रोटेशन प्लेटमध्ये 5 पीपीएमपेक्षा कमी अशुद्धता सामग्री आणि एक दाट आणि एकसमान रचना असलेली उच्च शुद्धता रचना आहे, जी एलपीई ईपीआय सिस्टम, ix टट्रॉन सिस्टम, एनयूएफएलएआर सिस्टम, टेल सीव्हीडी सिस्टम, वीको सिस्टम, टीएसआय सिस्टममध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरली जाते. सिस्टम, टीएसआय सिस्टम.

● टीएसी लेपित हीटर: टीएसी कोटिंगचा अत्यंत उच्च वितळणारा बिंदू (~ 3880 डिग्री सेल्सियस) चे संयोजन हे अत्यंत उच्च तापमानात कार्य करण्यास अनुमती देते, विशेषत: गॅलियम नायट्राइड (जीएएन) एपिटेक्सियल थर धातूच्या सेंद्रिय रासायनिक वाष्प जमा (एमओसीव्हीडी) प्रक्रियेतील वाढीमध्ये.

● टँटलम कार्बाईड लेपित क्रूसिबल: सीव्हीडी टीएसी लेपित क्रूसिबल्स अनेकदा प्रा. द्वारा एसआयसी सिंगल क्रिस्टल्सच्या वाढीमध्ये महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावतात.

2.२ कटिंग टूल्स आणि पोशाख-प्रतिरोधक घटक

● टॅन्टलम कार्बाईड लेपित कार्बाईड कटिंग टूल्स: साधन जीवन आणि मशीनिंग अचूकता सुधारित करा.

● एरोस्पेस नोजल आणि उष्णता ढाल: अत्यंत उष्णता आणि संक्षारक वातावरणात संरक्षण प्रदान करा.

3.3 टॅन्टलम कार्बाईड उच्च कार्यक्षमता सिरेमिक उत्पादने

● अंतराळ यान थर्मल प्रोटेक्शन सिस्टम (टीपीएस): अंतराळ यान आणि हायपरसोनिक वाहनांसाठी.

● अणु इंधन कोटिंग्ज: अणु इंधन गोळ्या गंजपासून संरक्षण करा.

4. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये टँटलम कार्बाईड अनुप्रयोग

1.१ एपिटॅक्सियल प्रक्रियेसाठी टॅन्टलम कार्बाईड लेपित कॅरियर्स (संवेदनाक्षम)

भूमिकाः ग्रॅफाइट कॅरियर्सवर टँटलम कार्बाईड कोटिंग्ज थर्मल एकरूपता आणि रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी) आणि मेटल-सेंद्रिय रासायनिक वाष्प जमा (एमओसीव्हीडी) प्रक्रियेत रासायनिक स्थिरता सुधारतात.

फायदा: प्रक्रिया दूषित होणे आणि विस्तारित वाहक जीवन.

2.२ एच आणि जमा घटक

वेफर ट्रान्सफर रिंग्ज आणि ढाल: टॅन्टलम कार्बाईड कोटिंगमुळे प्लाझ्मा एच चेंबरची टिकाऊपणा सुधारते.

फायदा: आक्रमक एचिंग वातावरणास प्रतिकार करते आणि दूषित पर्जन्यवृष्टी कमी करते.

3.3 उच्च तापमान गरम करणारे घटक

एसआयसी सीव्हीडी ग्रोथमध्ये अनुप्रयोग: टॅन्टलम कार्बाईड लेपित हीटिंग घटक सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) वेफर फॅब्रिकेशन प्रक्रियेची स्थिरता आणि कार्यक्षमता सुधारतात.

4.4 सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग उपकरणांसाठी संरक्षणात्मक कोटिंग्ज

आपल्याला टीएसी कोटिंगची आवश्यकता का आहे?  सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये अत्यंत तापमान आणि संक्षारक वायूंचा समावेश आहे आणि टँटलम कार्बाईड कोटिंग्ज स्थिरता आणि आजीवन उपकरणांमध्ये सुधारण्यासाठी प्रभावी आहेत.

5. का निवडासेमीकॉन?

वेटेकसेमॉन एक अग्रगण्य निर्माता आणि पुरवठादार आहेटँटलम कार्बाईड कोटिंगचीनमधील सेमीकंडक्टर उद्योगाला साहित्य. आमच्या मुख्य उत्पादनांमध्ये सीव्हीडी टॅन्टलम कार्बाईड लेपित भाग, एसआयसी क्रिस्टल ग्रोथ किंवा सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी प्रक्रियेसाठी सिनरड टीएसी लेपित भाग समाविष्ट आहेत. वेटेकसेमॉन सतत आर अँड डी आणि तंत्रज्ञान पुनरावृत्तीद्वारे टँटलम कार्बाईड कोटिंग उद्योगात एक नाविन्यपूर्ण आणि नेता होण्यासाठी वचनबद्ध आहे.