CVD SiC कोटिंग ग्रेफाइट पार्ट्स क्लीनिंग सेवा

1. तुम्ही ज्या आव्हानांना तोंड देत आहात

• AlN स्तर काढणे कठीण:1300°C थर्मल क्लीन तरीही अवशिष्ट AlN थर प्रभावीपणे कोरू शकत नाही.

• आवर्ती मेमरी प्रभाव:पृष्ठभागाच्या मेमरी प्रभावामुळे अणुभट्टीमध्ये वायूचा अस्थिर प्रवाह होतो, ज्यामुळे प्रक्रियेच्या सुसंगततेवर परिणाम होतो.

• सायकल इम्पॅक साफ करणेts थ्रूपुट:सामान्यतः प्रत्येक 16 प्रक्रिया चक्रांना (4-5 ससेप्टर्स) बाह्य साफसफाईची आवश्यकता असते.

• महागड्या कोटिंगचे नुकसान करण्याबद्दल चिंता:घरगुती रासायनिक साफसफाईचा अनुभव नसल्यामुळे ऑपरेटर आक्रमक साफसफाईचा प्रयत्न करण्यास संकोच करतात.

2. आमचे समाधान - GaN / AlN / AlGaN प्रक्रियांसाठी डिझाइन केलेले

• व्यावसायिक साफसफाई:सानुकूल प्रक्रिया विशेषतः CVD SiC लेपित ग्रेफाइट भागांसाठी विकसित केली आहे. ग्राहकाकडून कोणतेही रासायनिक सूत्र आवश्यक नाही.

• कोटिंग सुरक्षा:100 µm CVD SiC कोटिंगचे काटेकोरपणे संरक्षण करते. साफसफाईनंतर पूर्ण शून्य जाडीचे नुकसान.

• पडताळणीयोग्य परिणाम:विश्लेषणाचे पूर्ण प्रमाणपत्र (COA) पाच मुख्य परिमाणे कव्हर करते. संग्रहण आणि गुणवत्ता ऑडिटसाठी डेटा तयार आहे.

3. पाच मुख्य स्वीकृती निकष

सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी वापरकर्त्यांच्या गंभीर आवश्यकतांशी काटेकोरपणे संरेखित:

1. शून्य कोटिंग नुकसान- साफ केल्यानंतर SiC कोटिंगची जाडी कधीही कमी होत नाही (जाडीच्या आधी/नंतरची तुलना पडताळणी).

2. पृष्ठभागाचे विकृतीकरण नाही- कोणतीही भौतिक विकृती नाही याची खात्री करण्यासाठी सपाटपणा आणि भौमितिक अचूकतेची काटेकोरपणे तपासणी केली जाते.

3. मेमरी इफेक्ट काढून टाका- Al/Ga अवशिष्ट साठी XPS विश्लेषण मेमरी प्रभाव स्रोत पूर्णपणे काढून टाकण्याची पुष्टी करते.

4. शून्य धातूचे अवशेष– Fe, Cu, Ni आणि इतर धातूंसाठी ICP-MS चाचणी शून्य अवशिष्ट धातू अशुद्धी सत्यापित करते.

5. कोणतेही अतिरिक्त कण नाहीत- QIII कण चाचणी आणि स्वच्छता पडताळणी अवशिष्ट कणांमुळे गॅस प्रवाह अस्थिरता प्रतिबंधित करते.

4. वितरण तपासणी आणि COA अहवाल

प्रत्येक बॅचला संपूर्ण पडताळणी डेटासह पाच मुख्य आयामांमध्ये वितरित केले जाते:

5. लागू उत्पादने आणि प्रक्रिया पार्श्वभूमी

उत्पादन पॅरामीटर्स

सेवा प्रक्रिया

1. चौकशी- मूल्यमापनासाठी भाग फोटो / मॉडेल / प्रमाण पाठवा.

2. अवतरण- कोटेशनसह तांत्रिक मूल्यमापन आणि तपशीलवार साफसफाईचा प्रस्ताव.

3. शिपिंग- भाग आमच्याकडे पाठवा किंवा पिकअप सेवेची व्यवस्था करा.

4. स्वच्छता- व्यावसायिक साफसफाई + संपूर्ण बहु-आयामी तपासणी.

5. अहवाल- COA अहवाल जारी केला आणि साफ केलेले भाग परत केले.

6. पाठपुरावा- प्रभाव ट्रॅकिंग आणि चालू तांत्रिक समर्थन.

6. VETEK क्लीनिंग सेवा का निवडावी?

VETEK उच्च-मूल्य असलेल्या ग्रेफाइट ससेप्टर्ससाठी विशेष साफसफाईच्या क्षमतेसह CVD SiC कोटिंग तंत्रज्ञानातील सखोल कौशल्याची जोड देते. आम्हाला GaN/AlN एपिटॅक्सीमध्ये कोटिंग इंटिग्रिटी, पार्टिकल कंट्रोल आणि प्रक्रिया शुद्धतेचे गंभीर महत्त्व समजते. आमची सेवा अशा ग्राहकांसाठी डिझाइन केली आहे ज्यांना महागड्या CVD SiC कोटिंग्जसाठी पूर्ण सुरक्षितता आवश्यक आहे आणि मेमरी इफेक्ट आणि गॅस-फ्लो अस्थिरता समस्या पूर्णपणे सोडवल्या जातात.

· लहान-बॅच पडताळणीसाठी चाचणी क्लीनिंग उपलब्ध आहे

· प्रत्येक डिलिव्हरीसह संपूर्ण COA अहवाल प्रदान केला जातो

· कोटिंगचे नुकसान किंवा नवीन दूषित होण्याचा धोका शून्य

· व्यावसायिक · सुरक्षित · पडताळणीयोग्य