CVD TAC कोटिंग म्हणजे काय? - Veteksemi

जसे आपण सर्व जाणतो,टँटलम कार्बाइड (TaC)3880°C पर्यंत वितळण्याचा बिंदू आहे, उच्च यांत्रिक शक्ती, कडकपणा, थर्मल शॉक प्रतिरोध; उच्च तापमानात अमोनिया, हायड्रोजन, सिलिकॉन युक्त वाफांना चांगली रासायनिक जडत्व आणि थर्मल स्थिरता.

Tantalum carbide coating on a microscopic cross-section picture

मायक्रोस्कोपिक क्रॉस-सेक्शनवर टँटलम कार्बाईड कोटिंग

CVD TAC कोटिंग, रासायनिक वाष्प जमा करणे (CVD).टँटलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंग, सब्सट्रेट (सामान्यत: ग्रेफाइट) वर उच्च-घनता आणि टिकाऊ कोटिंग तयार करण्याची प्रक्रिया आहे. या पद्धतीमध्ये उच्च तापमानात सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर टीएसी जमा करणे समाविष्ट आहे, परिणामी उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता आणि रासायनिक प्रतिकार असलेले कोटिंग.

सीव्हीडी टीएसी कोटिंग्जच्या मुख्य फायद्यांमध्ये हे समाविष्ट आहे:

● अत्यंत उच्च थर्मल स्थिरता: टँटलम कार्बाईड कोटिंग 2200 डिग्री सेल्सियसपेक्षा जास्त तापमानाचा प्रतिकार करू शकते.

● रासायनिक प्रतिकार: CVD TaC कोटिंग हायड्रोजन, अमोनिया आणि सिलिकॉन वाष्प यांसारख्या कठोर रसायनांचा प्रभावीपणे प्रतिकार करू शकते.

● मजबूत आसंजन: टीएसी कोटिंग डिलीमिनेशनशिवाय दीर्घकाळ टिकणारे संरक्षण सुनिश्चित करते.

● उच्च शुद्धता: सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगांसाठी ते आदर्श बनवते, अशुद्धी कमी करते.

टँटलम कार्बाइड कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म
टीएसी कोटिंग घनता	14.3 (जी/सेमी)
विशिष्ट उत्सर्जन	0.3
औष्णिक विस्तार गुणांक	६.३*१०^-6/के
कोटिंग कडकपणा (एचके)	2000 एचके
प्रतिकार	1 × 10^-5ओहम*सेमी
थर्मल स्थिरता	<2500℃
ग्रेफाइट आकार बदल	-10 ~ -20um
कोटिंग जाडी	≥20UM ठराविक मूल्य (35um ± 10um)

सेमीकंडक्टर उत्पादन आणि उच्च-तापमान औद्योगिक प्रक्रियांसारख्या अत्यंत टिकाऊपणा आणि अत्यंत परिस्थितीसाठी प्रतिकार आवश्यक असलेल्या वातावरणासाठी हे कोटिंग विशेषतः योग्य आहेत.

औद्योगिक उत्पादनात, ग्रेफाइटकार्बन-कार्बन संमिश्र) TaC कोटिंगसह लेपित सामग्री पारंपारिक उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट, pBN कोटिंग, SiC कोटिंग भाग इ. बदलण्याची शक्यता असते. याव्यतिरिक्त, एरोस्पेस क्षेत्रात, TaC उच्च-तापमान विरोधी ऑक्सिडेशन म्हणून वापरण्याची मोठी क्षमता आहे. आणि अँटी-ॲलेशन कोटिंग, आणि व्यापक अनुप्रयोग संभावना आहेत. तथापि, ग्रेफाइटच्या पृष्ठभागावर दाट, एकसमान, नॉन-फ्लेकिंग TaC कोटिंग तयार करणे आणि औद्योगिक मोठ्या प्रमाणावर उत्पादनास प्रोत्साहन देण्यासाठी अद्याप अनेक आव्हाने आहेत.

या प्रक्रियेत, कोटिंगच्या संरक्षण यंत्रणेचा शोध घेणे, उत्पादन प्रक्रियेत नाविन्य आणणे आणि उच्च विदेशी स्तराशी स्पर्धा करणे हे तिसऱ्या पिढीसाठी महत्त्वाचे आहे.अर्धसंवाहक क्रिस्टल वाढ आणि एपिटॅक्सी.

वेटेक सेमीकंडक्टर सीव्हीडी टँटलम कार्बाईड कोटिंग उत्पादनांचे एक व्यावसायिक चिनी निर्माता आहे आणि आमची टीएसी कोटिंग शुद्धता 5 पीपीएमपेक्षा कमी आहे, ग्राहकांच्या आवश्यकता पूर्ण करू शकतात. Wetkeksemi मुख्य सीव्हीडी टीएसी लेपित उत्पादनांमध्ये समाविष्ट आहे CVD TaC कोटिंग क्रूसिबल, सीव्हीडी टीएसी कोटिंग वेफर कॅरियर, CVD TaC कोटिंग वाहक, सीव्हीडी टीएसी कोटिंग कव्हर, CVD TaC कोटिंग रिंग? सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी विविध कोटिंग उत्पादनांसाठी प्रगत उपाय प्रदान करण्यासाठी वेटेक सेमीकंडक्टर वचनबद्ध आहे. वेटेक सेमीकंडक्टर चीनमधील आपला दीर्घकालीन भागीदार होण्याची मनापासून आशा आहे.