सीव्हीडी टीएसी कोटिंग

CVD TaC कोटिंग (रासायनिक वाष्प निक्षेपण टँटलम कार्बाइड कोटिंग) हे मुख्यतः टँटलम कार्बाइड (TaC) बनलेले कोटिंग उत्पादन आहे. TaC कोटिंगमध्ये अत्यंत कडकपणा, पोशाख प्रतिरोध आणि उच्च तापमान प्रतिरोधकता आहे, ज्यामुळे ते मुख्य उपकरणांच्या घटकांचे संरक्षण करण्यासाठी आणि प्रक्रियेची विश्वासार्हता सुधारण्यासाठी एक आदर्श पर्याय बनते. सेमीकंडक्टर प्रक्रियेत ही एक अपरिहार्य सामग्री आहे.

सीव्हीडी टीएसी कोटिंग उत्पादने सामान्यत: रिएक्शन चेंबर, वेफर कॅरियर आणि एचिंग उपकरणांमध्ये वापरली जातात आणि त्यामध्ये खालील मुख्य भूमिका बजावतात.

CVD TaC कोटिंग बहुतेक वेळा प्रतिक्रिया कक्षांच्या अंतर्गत घटकांसाठी वापरली जाते जसे की सब्सट्रेट्स, वॉल पॅनेल आणि हीटिंग एलिमेंट्स. उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोधकतेसह, ते उच्च तापमान, संक्षारक वायू आणि प्लाझ्मा यांच्या क्षरणास प्रभावीपणे प्रतिकार करू शकते, ज्यामुळे उपकरणांचे सेवा आयुष्य प्रभावीपणे वाढवते आणि प्रक्रियेची स्थिरता आणि उत्पादन उत्पादनाची शुद्धता सुनिश्चित होते.

याव्यतिरिक्त, TaC-कोटेड वेफर वाहक (जसे की क्वार्ट्ज बोट्स, फिक्स्चर इ.) उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधक आणि रासायनिक गंज प्रतिरोधक असतात. वेफर वाहक उच्च तापमानात वेफरसाठी विश्वासार्ह समर्थन प्रदान करू शकतो, वेफरचे दूषित होणे आणि विकृत रूप टाळू शकतो आणि अशा प्रकारे एकूण चिप उत्पन्न सुधारू शकतो.

शिवाय, वेटेक सेमीकंडक्टरच्या टीएसी कोटिंगचा वापर प्लाझ्मा इचर्स, रासायनिक वाष्प जमा प्रणाली इत्यादी सारख्या विविध एचिंग आणि पातळ फिल्म जमा उपकरणांमध्ये देखील केला जातो, या प्रक्रियेच्या प्रणालींमध्ये, सीव्हीडी टीएसी उच्च-उर्जा आयन बॉम्बस्फोट आणि मजबूत रासायनिक प्रतिक्रियांचा प्रतिकार करू शकते , त्याद्वारे प्रक्रियेची अचूकता आणि पुनरावृत्ती सुनिश्चित करणे.

आपल्या विशिष्ट आवश्यकता जे काही आहेत, आम्ही आपल्या सीव्हीडी टीएसी कोटिंगच्या आवश्यकतेसाठी सर्वोत्तम उपाय जुळवू आणि कोणत्याही वेळी आपल्या सल्लामसलतची अपेक्षा करतो.

VeTek सेमीकंडक्टर CVD TAC कोटिंग उत्पादनांची दुकाने:

सेमीकंडक्टर चिप एपिटॅक्सी इंडस्ट्री साखळीचे विहंगावलोकन: