एसआयसी कोटिंगला इतके लक्ष का मिळते? - वेटेक सेमीकंडक्टर

अलिकडच्या वर्षांत, इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगाच्या सतत विकासासह,तिसरा पिढीचा सेमीकंडक्टरसेमीकंडक्टर उद्योगाच्या विकासासाठी साहित्य एक नवीन ड्रायव्हिंग फोर्स बनले आहे. तिसर्‍या पिढीतील सेमीकंडक्टर मटेरियलचा ठराविक प्रतिनिधी म्हणून, सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग फील्डमध्ये, विशेषत: एसआयसीचा मोठ्या प्रमाणात वापर केला गेला आहे.थर्मल फील्डसामग्री, त्याच्या उत्कृष्ट भौतिक आणि रासायनिक गुणधर्मांमुळे.

तर, एसआयसी कोटिंग नक्की काय आहे? आणि काय आहेCVD SiC कोटिंग?

SiC हे उच्च कडकपणा, उत्कृष्ट थर्मल चालकता, कमी थर्मल विस्तार गुणांक आणि उच्च गंज प्रतिकार असलेले सहसंयोजक बंध असलेले संयुग आहे. त्याची थर्मल चालकता 120-170 W/m·K पर्यंत पोहोचू शकते, इलेक्ट्रॉनिक घटक उष्णता अपव्यय मध्ये उत्कृष्ट थर्मल चालकता दर्शवते. याव्यतिरिक्त, सिलिकॉन कार्बाइडचे थर्मल विस्तार गुणांक केवळ 4.0×10-6/K (300–800℃ च्या श्रेणीत) आहे, जे उच्च तापमान वातावरणात मितीय स्थिरता राखण्यास सक्षम करते, थर्मलमुळे होणारे विकृती किंवा अपयश मोठ्या प्रमाणात कमी करते. ताण सिलिकॉन कार्बाइड लेप म्हणजे भागांच्या पृष्ठभागावर भौतिक किंवा रासायनिक बाष्प साचून, फवारणी करून तयार केलेले सिलिकॉन कार्बाइडचे लेप.  

रासायनिक वाष्प साठा (सीव्हीडी)सध्या सब्सट्रेट पृष्ठभागांवर SiC कोटिंग तयार करण्याचे मुख्य तंत्रज्ञान आहे. मुख्य प्रक्रिया अशी आहे की गॅस फेज रिॲक्टंट्स थर पृष्ठभागावर भौतिक आणि रासायनिक अभिक्रियांच्या मालिकेतून जातात आणि शेवटी CVD SiC कोटिंग सब्सट्रेट पृष्ठभागावर जमा होते.

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंगचा एसईएम डेटा

सिलिकॉन कार्बाईड कोटिंग इतके शक्तिशाली असल्याने, सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगच्या कोणत्या दुव्यांनी मोठी भूमिका बजावली आहे? उत्तर एपिटॅक्सी उत्पादन उपकरणे आहेत.

एसआयसी कोटिंगला भौतिक गुणधर्मांच्या बाबतीत एपिटॅक्सियल ग्रोथ प्रक्रियेशी अत्यधिक जुळण्याचा मुख्य फायदा आहे. खालील एसआयसी लेपची महत्त्वपूर्ण भूमिका आणि कारणे खालीलप्रमाणे आहेतएसआयसी कोटिंग एपिटॅक्सियल ससेप्टर:

1. उच्च थर्मल चालकता आणि उच्च तापमान प्रतिकार

एपिटॅक्सियल ग्रोथ वातावरणाचे तापमान 1000 ℃ च्या वर पोहोचू शकते. एसआयसी कोटिंगमध्ये अत्यंत उच्च थर्मल चालकता असते, जी उष्णता प्रभावीपणे नष्ट करते आणि एपिटॅक्सियल वाढीची तापमान एकसारखेपणा सुनिश्चित करते.

2. रासायनिक स्थिरता

एसआयसी कोटिंगमध्ये उत्कृष्ट रासायनिक जडत्व आहे आणि संक्षारक वायू आणि रसायनांद्वारे गंजला प्रतिकार करू शकतो, हे सुनिश्चित करते की ते एपिटॅक्सियल वाढीदरम्यान रिअॅक्टंट्ससह प्रतिकूल प्रतिक्रिया देत नाही आणि भौतिक पृष्ठभागाची अखंडता आणि स्वच्छता राखते.

3. जाळीची स्थिरता जुळत आहे

एपिटॅक्सियल ग्रोथमध्ये, SiC कोटिंग त्याच्या क्रिस्टल स्ट्रक्चरमुळे विविध एपिटॅक्सियल मटेरिअल्सशी चांगल्या प्रकारे जुळवता येते, ज्यामुळे जाळीचे विसंगत लक्षणीयरीत्या कमी होते, ज्यामुळे क्रिस्टल दोष कमी होतात आणि एपिटॅक्सियल लेयरची गुणवत्ता आणि कार्यक्षमता सुधारते.

4. कमी थर्मल विस्तार गुणांक

एसआयसी कोटिंगमध्ये थर्मल विस्तार गुणांक कमी असतो आणि तो सामान्य एपिटेक्सियल सामग्रीच्या तुलनेने जवळ असतो. याचा अर्थ असा आहे की उच्च तापमानात, थर्मल विस्तार गुणांकातील फरकांमुळे बेस आणि एसआयसी कोटिंग दरम्यान कोणताही तीव्र ताण येणार नाही, सामग्री सोलणे, क्रॅक किंवा विकृती यासारख्या समस्या टाळणे.

5. उच्च कडकपणा आणि पोशाख प्रतिकार

SiC कोटिंगमध्ये अत्यंत कडकपणा आहे, म्हणून एपिटॅक्सियल बेसच्या पृष्ठभागावर कोटिंग केल्याने त्याची पोशाख प्रतिरोधकता लक्षणीयरीत्या सुधारू शकते आणि त्याचे सेवा आयुष्य वाढू शकते, तसेच एपिटॅक्सियल प्रक्रियेदरम्यान बेसची भूमिती आणि पृष्ठभाग सपाटपणा खराब होणार नाही याची खात्री करून घेता येते.

SiC कोटिंगची क्रॉस-सेक्शन आणि पृष्ठभागाची प्रतिमा

एपिटॅक्सियल उत्पादनासाठी ory क्सेसरीसाठी व्यतिरिक्त,या क्षेत्रांमध्ये SiC कोटिंगचे महत्त्वपूर्ण फायदे देखील आहेत:

सेमीकंडक्टर वेफर कॅरियर：सेमीकंडक्टर प्रक्रियेदरम्यान, वेफर्सची हाताळणी आणि प्रक्रिया करण्यासाठी अत्यंत उच्च स्वच्छता आणि अचूकता आवश्यक असते. SiC कोटिंग बहुतेक वेळा वेफर वाहक, कंस आणि ट्रे मध्ये वापरली जाते.

वेफर कॅरियर

प्रीहीटिंग रिंग：प्रीहेटिंग रिंग एसआय एपिटॅक्सियल सब्सट्रेट ट्रेच्या बाह्य रिंगवर स्थित आहे आणि कॅलिब्रेशन आणि हीटिंगसाठी वापरली जाते. हे रिएक्शन चेंबरमध्ये ठेवले आहे आणि थेट वेफरशी संपर्क साधत नाही.

  प्रीहेटिंग रिंग

वरचा अर्धा-चंद्र भाग म्हणजे रिएक्शन चेंबरच्या इतर सामानांचा वाहक आहेSiC एपिटॅक्सी डिव्हाइस, जे वेफरशी थेट संपर्क न करता रिॲक्शन चेंबरमध्ये तापमान नियंत्रित आणि स्थापित केले जाते. खालचा अर्ध-चंद्र भाग क्वार्ट्ज ट्यूबशी जोडलेला असतो जो बेस रोटेशन चालविण्यासाठी गॅसचा परिचय देतो. हे तापमान नियंत्रित आहे, प्रतिक्रिया कक्षामध्ये स्थापित केले जाते आणि वेफरच्या थेट संपर्कात येत नाही.

वरचा अर्धा चंद्र भाग

याव्यतिरिक्त, सेमीकंडक्टर उद्योगात बाष्पीभवन करण्यासाठी क्रूसिबल आहे, हाय पॉवर इलेक्ट्रॉनिक ट्यूब गेट, व्होल्टेज नियामकांशी संपर्क साधणारे ब्रश, एक्स-रे आणि न्यूट्रॉनसाठी ग्रेफाइट मोनोक्रोमेटर, ग्रेफाइट सब्सट्रेट्सचे विविध आकार आणि अणु शोषण ट्यूब कोटिंग इ., एसआयसी कोटिंग वाढत्या महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावत आहे.

का निवडाहे सेमीकंडक्टर?

VeTek सेमीकंडक्टरमध्ये, आमची उत्पादन प्रक्रिया प्रगत सामग्रीसह अचूक अभियांत्रिकी एकत्र करून उत्कृष्ट कामगिरी आणि टिकाऊपणासह SiC कोटिंग उत्पादने तयार करते, जसे कीएसआयसी लेपित वेफर धारक, SiC कोटिंग Epi रिसीव्हर,अतिनील एलईडी ईपीआय विषयक, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगआणिSic कोटिंग एएलडी संवेदनशील. आम्ही ग्राहकांना उच्च दर्जाचे कस्टम SiC कोटिंग प्रदान करून सेमीकंडक्टर उद्योगाच्या तसेच इतर उद्योगांच्या विशिष्ट गरजा पूर्ण करण्यास सक्षम आहोत.

आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

मॉब/व्हाट्सएप: +86-180 6922 0752

ईमेल: anny@veteksemi.com