एलपीई हाफमून एसआयसी एपीआय अणुभट्टी

एलपीई हाफमून एसआयसी एपीआय अणुभट्टीविशेषत: उच्च-गुणवत्तेच्या निर्मितीसाठी डिझाइन केलेले एक डिव्हाइस आहेसिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) एपिटॅक्सियलस्तर, जेथे एपिटॅक्सियल प्रक्रिया एलपीई अर्धा-मून रिएक्शन चेंबरमध्ये उद्भवते, जिथे सब्सट्रेट उच्च तापमान आणि संक्षारक वायूंसारख्या अत्यंत परिस्थितीत संपर्क साधला जातो. प्रतिक्रिया चेंबर घटकांची सेवा जीवन आणि कार्यक्षमता सुनिश्चित करण्यासाठी, रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी)Sic कोटिंगसहसा वापरला जातो. 

एलपीई हाफमून एसआयसी एपीआय अणुभट्टीघटक:

Main reaction chamber: मुख्य प्रतिक्रिया चेंबर सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) आणि सारख्या उच्च-तापमान प्रतिरोधक सामग्रीचा बनलेला आहेग्रेफाइट, ज्यामध्ये अत्यंत उच्च रासायनिक गंज प्रतिकार आणि उच्च तापमान प्रतिकार आहे. ऑपरेटिंग तापमान सामान्यत: 1,400 डिग्री सेल्सियस आणि 1,600 डिग्री सेल्सियस दरम्यान असते, जे उच्च तापमान परिस्थितीत सिलिकॉन कार्बाइड क्रिस्टल्सच्या वाढीस समर्थन देऊ शकते. मुख्य प्रतिक्रिया चेंबरचा ऑपरेटिंग प्रेशर 10 दरम्यान आहे^-3आणि 10^-1एमबीआर आणि एपिटॅक्सियल वाढीची एकरूपता दबाव समायोजित करून नियंत्रित केली जाऊ शकते.

हीटिंग घटक: ग्रेफाइट किंवा सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) हीटर सामान्यत: वापरले जातात, जे उच्च तापमानाच्या परिस्थितीत स्थिर उष्णता स्त्रोत प्रदान करू शकतात.

एलपीई हाफमून एसआयसी एपीआय अणुभट्टीचे मुख्य कार्य म्हणजे उच्च-गुणवत्तेच्या सिलिकॉन कार्बाइड फिल्म्सची पूर्तता करणे. विशेषतः,हे खालील बाबींमध्ये प्रकट होते:

एपिटॅक्सियल लेयर ग्रोथ: लिक्विड फेज एपिटॅक्सी प्रक्रियेद्वारे, एसआयसी सब्सट्रेट्सवर अत्यंत कमी-डिफेक्ट एपिटॅक्सियल थर घेतले जाऊ शकतात, ज्याचा वाढ सुमारे 1-10μm/ता आहे, जो अत्यंत उच्च क्रिस्टल गुणवत्ता सुनिश्चित करू शकतो. त्याच वेळी, मुख्य प्रतिक्रिया चेंबरमधील गॅस प्रवाह दर सामान्यत: एपिटॅक्सियल लेयरची एकरूपता सुनिश्चित करण्यासाठी सामान्यत: 10-100 एससीसीएम (प्रति मिनिट मानक क्यूबिक सेंटीमीटर) नियंत्रित केला जातो.

उच्च तापमान स्थिरता: एसआयसी एपिटॅक्सियल थर अजूनही उच्च तापमान, उच्च दाब आणि उच्च वारंवारता वातावरणात उत्कृष्ट कामगिरी राखू शकतात.

दोष घनता कमी करा: एलपीई हाफमून एसआयसी ईपीआय अणुभट्टीची अद्वितीय स्ट्रक्चरल डिझाइन एपिटॅक्सी प्रक्रियेदरम्यान क्रिस्टल दोषांची निर्मिती प्रभावीपणे कमी करू शकते, ज्यामुळे डिव्हाइसची कार्यक्षमता आणि विश्वासार्हता सुधारते.

सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी प्रगत तंत्रज्ञान आणि उत्पादन समाधान प्रदान करण्यासाठी वेटेक सेमीकंडक्टर वचनबद्ध आहे. त्याच वेळी, आम्ही सानुकूलित उत्पादन सेवांचे समर्थन करतो.आम्ही चीनमधील आपला दीर्घकालीन भागीदार होण्याची मनापासून आशा करतो.

सीव्हीडी एसआयसी फिल्म क्रिस्टल स्ट्रक्चरचा एसईएम डेटा:

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म：

वेटेक सेमीकंडक्टर एलपीई हाफमून एसआयसी एपीआय अणुभट्टी उत्पादन दुकाने: