एसआयसी वाढीसाठी मूलभूत सामग्री काय आहे?

उच्च-गुणवत्तेची आणि उच्च-उत्पन्न सिलिकॉन कार्बाईड सब्सट्रेट्सच्या तयारीमध्ये, कोरला चांगल्या थर्मल फील्ड मटेरियलद्वारे उत्पादन तापमानाचे अचूक नियंत्रण आवश्यक आहे. सध्या, थर्मल फील्ड क्रूसिबल किट प्रामुख्याने वापरल्या जाणार्‍या उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट स्ट्रक्चरल घटक आहेत, ज्यांचे कार्य वितळलेल्या कार्बन पावडर आणि सिलिकॉन पावडरला उष्णता राखण्यासाठी तसेच उष्णता राखण्यासाठी आहे. ग्रेफाइट मटेरियलमध्ये उच्च विशिष्ट सामर्थ्य आणि विशिष्ट मॉड्यूलस, चांगले थर्मल शॉक प्रतिरोध आणि गंज प्रतिरोध इ. ची वैशिष्ट्ये आहेत. तथापि, उच्च-तापमान ऑक्सिजन-समृद्ध वातावरणात सुलभ ऑक्सिडेशन, खराब अमोनिया प्रतिरोध आणि खराब स्क्रॅच प्रतिरोधक यासारखे तोटे आहेत. सिलिकॉन कार्बाईड सिंगल क्रिस्टल्सच्या वाढीमध्ये आणि सिलिकॉन कार्बाईड एपिटॅक्सियल वेफर्सच्या उत्पादनात, ग्रेफाइट मटेरियलच्या वाढत्या कठोर वापराच्या आवश्यकतांची पूर्तता करणे त्यांना कठीण आहे, जे त्यांचा विकास आणि व्यावहारिक अनुप्रयोगास गंभीरपणे प्रतिबंधित करते. म्हणून, उच्च-तापमान कोटिंग्ज जसे कीटँटलम कार्बाईडउठू लागला.

टीएसी सिरेमिक्समध्ये 3880 as पर्यंत वितळणारा बिंदू आहे, ज्यामध्ये उच्च कडकपणा (एमओएचएस कडकपणा 9-10) आहे, तुलनेने मोठा थर्मल चालकता (22 डब्ल्यू · एम -1 · के-1), एक महत्त्वपूर्ण लवचिक सामर्थ्य (340-400 एमपीए) आणि थर्मल एक्सपेन्सियन (6.6 × 10 × 10) चे तुलनेने लहान गुणांक. ते उत्कृष्ट थर्मल रासायनिक स्थिरता आणि उत्कृष्ट भौतिक गुणधर्म देखील प्रदर्शित करतात. टीएसी कोटिंग्जमध्ये ग्रेफाइट आणि सी/सी कंपोझिटसह उत्कृष्ट रासायनिक आणि यांत्रिक अनुकूलता आहे. म्हणूनच, ते इतर क्षेत्रांमध्ये एरोस्पेस थर्मल प्रोटेक्शन, सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ, एनर्जी इलेक्ट्रॉनिक्स आणि वैद्यकीय उपकरणांमध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरले जातात.

टीएसी लेपित ग्रेफाइटमध्ये बेअर ग्रेफाइट किंवा पेक्षा चांगले रासायनिक गंज प्रतिकार आहेSic कोटेडग्रेफाइट. हे 2600 डिग्री सेल्सिअस तापमानात स्थिरपणे वापरले जाऊ शकते आणि बर्‍याच धातूंच्या घटकांसह प्रतिक्रिया देत नाही. सिंगल-क्रिस्टल वाढीच्या परिस्थितीत आणि तृतीय-पिढीतील सेमीकंडक्टर्सच्या वेफर एचिंगच्या परिस्थितीत हे सर्वोत्कृष्ट कामगिरी करणारे कोटिंग आहे आणि प्रक्रियेतील तापमान आणि अशुद्धी यांचे नियंत्रण लक्षणीय सुधारू शकते. उच्च-गुणवत्तेची सिलिकॉन कार्बाईड वेफर्स आणि संबंधित एपिटॅक्सियल वेफर्स तयार करा. हे विशेषत: पीव्हीटी उपकरणांवर एमओसीव्हीडी उपकरणांवर आणि एसआयसी सिंगल क्रिस्टल्सवर वाढणार्‍या गॅन किंवा एएलएन सिंगल क्रिस्टल्ससाठी योग्य आहे आणि प्रौढ सिंगल क्रिस्टल्सची गुणवत्ता लक्षणीय सुधारली आहे.