टीएसी कोटिंग मार्गदर्शक रिंग्ज

टीएसी कोटिंग मार्गदर्शक रिंग्जचे कार्य:

अचूक गॅस प्रवाह नियंत्रण: दटीएसी कोटिंग मार्गदर्शक रिंगच्या गॅस इंजेक्शन सिस्टममध्ये रणनीतिकदृष्ट्या स्थित आहेएमओसीव्हीडी अणुभट्टी? its primary function is to direct the flow of precursor gases and ensure their uniform distribution across the substrate wafer surface. This precise control over gas flow dynamics is essential for achieving uniform epitaxial layer growth and desired material properties.

औष्णिक व्यवस्थापन: टीएसी कोटिंग गाईड रिंग्ज गरम पाण्याची सोय असलेल्या संवेदनाक्षम आणि सब्सट्रेटच्या निकटतेमुळे बहुतेकदा उन्नत तापमानात कार्य करतात. टीएसीची उत्कृष्ट थर्मल चालकता उष्णता प्रभावीपणे नष्ट होण्यास मदत करते, प्रतिक्रिया झोनमध्ये स्थानिकीकृत ओव्हरहाटिंग आणि स्थिर तापमान प्रोफाइल टिकवून ठेवते.

एमओसीव्हीडी मधील टीएसीचे फायदे:

Extreme Temperature प्रतिकार: टीएसी 3800 डिग्री सेल्सियसपेक्षा जास्त असलेल्या सर्व सामग्रीमधील सर्वाधिक वितळणार्‍या बिंदूंपैकी एक आहे.

थकबाकी रासायनिक जडत्व: टीएसी एमओसीव्हीडीमध्ये वापरल्या जाणार्‍या प्रतिक्रियात्मक पूर्ववर्ती वायूंच्या गंज आणि रासायनिक हल्ल्याचा अपवादात्मक प्रतिकार दर्शवितो, जसे की अमोनिया, सिलेन आणि विविध धातू-सेंद्रिय संयुगे.

च्या भौतिक गुणधर्मटीएसी कोटिंग:

Benefits for MOCVD Performance:

एमओसीव्हीडी उपकरणांमध्ये वेटेक सेमीकंडक्टर टीएसी कोटिंग गाईड रिंगचा वापर लक्षणीय योगदान आहे:

वाढीव उपकरणे अपटाइम: टीएसी कोटिंग मार्गदर्शक रिंगचे टिकाऊपणा आणि विस्तारित आयुष्य वारंवार बदलण्याची आवश्यकता कमी करते, देखभाल डाउनटाइम कमी करते आणि एमओसीव्हीडी सिस्टमची ऑपरेशनल कार्यक्षमता वाढवते.

Enhanced Process Stability: टीएसीची थर्मल स्थिरता आणि रासायनिक जडत्व एमओसीव्हीडी चेंबरमध्ये अधिक स्थिर आणि नियंत्रित प्रतिक्रिया वातावरणात योगदान देते, प्रक्रियेतील भिन्नता कमी करते आणि पुनरुत्पादकता सुधारते.

सुधारित एपिटॅक्सियल लेयर एकरूपता: Precise gas flow control facilitated by the TaC Coating Guide Rings ensures uniform precursor distribution, resulting in highly uniform एपिटॅक्सियल लेयर ग्रोथसातत्यपूर्ण जाडी आणि रचना सह.

टँटलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंग on a microscopic cross-section: