टीएसी कोटिंग मार्गदर्शक रिंग

VeTek सेमीकंडक्टर एक व्यावसायिक चायना TaC कोटिंग गाईड रिंग, TaC कोटिंग क्रूसिबल, सीड होल्डर निर्माता आणि पुरवठादार आहे.

TaC कोटिंग क्रूसिबल, सीड होल्डर आणि TaC कोटिंग गाइड रिंग SiC आणि AIN सिंगल क्रिस्टल फर्नेसमध्ये PVT पद्धतीने उगवले गेले.

जेव्हा एसआयसी तयार करण्यासाठी भौतिक वाष्प वाहतूक पद्धत (पीव्हीटी) वापरली जाते, तेव्हा बियाणे क्रिस्टल तुलनेने कमी तापमान प्रदेशात असते आणि एसआयसी कच्चा माल तुलनेने उच्च तापमान प्रदेशात असतो (2400 ℃ च्या वर). कच्च्या मालाचे विघटन सिक्ससी (प्रामुख्याने एसआय, एसआयसी, सीआयसी इ. यासह) तयार करते. वाष्प टप्प्यात सामग्री उच्च तापमान प्रदेशातून कमी तापमान प्रदेशात बियाणे क्रिस्टलमध्ये नेली जाते आणि न्यूक्लिएट्स आणि वाढते. एकच क्रिस्टल तयार करण्यासाठी. या प्रक्रियेमध्ये वापरल्या जाणार्‍या थर्मल फील्ड मटेरियल, जसे क्रूसिबल, फ्लो गाईड रिंग, बियाणे क्रिस्टल धारक, उच्च तापमानास प्रतिरोधक असावेत आणि एसआयसी कच्च्या माल आणि एसआयसी सिंगल क्रिस्टल्सला प्रदूषित करणार नाहीत. त्याचप्रमाणे, एएलएन सिंगल क्रिस्टल्सच्या वाढीतील हीटिंग घटकांना अल वाष्प, एन ₂ गंजला प्रतिरोधक असणे आवश्यक आहे आणि क्रिस्टल तयार करणे कालावधी कमी करण्यासाठी उच्च युटेक्टिक तापमान (आणि एएलएन) असणे आवश्यक आहे.

असे आढळून आले की TaC लेपित ग्रेफाइट थर्मल फील्ड सामग्रीद्वारे तयार केलेले SiC आणि AlN स्वच्छ होते, जवळजवळ कोणतेही कार्बन (ऑक्सिजन, नायट्रोजन) आणि इतर अशुद्धता, कमी धार दोष, प्रत्येक प्रदेशात लहान प्रतिरोधकता, आणि मायक्रोपोर घनता आणि एचिंग पिट घनता होती. लक्षणीयरीत्या कमी झाले (KOH एचिंग नंतर), आणि क्रिस्टल गुणवत्ता मोठ्या प्रमाणात सुधारली गेली. याव्यतिरिक्त, TaC क्रूसिबल वजन कमी होण्याचा दर जवळजवळ शून्य आहे, देखावा विना-विध्वंसक आहे, पुनर्नवीनीकरण केले जाऊ शकते (200h पर्यंत आयुष्य), अशा एकल क्रिस्टल तयारीची टिकाऊपणा आणि कार्यक्षमता सुधारू शकते.

TaC कोटिंग मार्गदर्शक रिंगचे उत्पादन मापदंड:

उत्पादन दुकाने:

सेमीकंडक्टर चिप एपिटॅक्सी इंडस्ट्री साखळीचे विहंगावलोकन: