आपल्याला एमओसीव्हीडी संवेदनशील बद्दल माहित आहे?

मेटल-सेंद्रिय रासायनिक वाष्प जमा (एमओसीव्हीडी) प्रक्रियेमध्ये, वेफरला समर्थन देण्यासाठी आणि जमा प्रक्रियेचे एकसारखेपणा आणि अचूक नियंत्रण सुनिश्चित करण्यासाठी युसेप्टर हा एक महत्त्वाचा घटक आहे. त्याची सामग्री निवड आणि उत्पादनाची वैशिष्ट्ये एपिटॅक्सियल प्रक्रियेची स्थिरता आणि उत्पादनाच्या गुणवत्तेवर थेट परिणाम करतात.

MOCVD समर्थन(मेटल-सेंद्रिय रासायनिक वाष्प जमा) सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये एक महत्त्वाचा प्रक्रिया घटक आहे. हे मुख्यतः एमओसीव्हीडी (मेटल-सेंद्रिय रासायनिक वाष्प जमा) प्रक्रियेत पातळ फिल्म जमा करण्यासाठी वेफरला समर्थन आणि गरम करण्यासाठी वापरली जाते. अंतिम उत्पादनाची एकरूपता, कार्यक्षमता आणि गुणवत्तेसाठी सुसेप्टरची डिझाइन आणि सामग्रीची निवड महत्त्वपूर्ण आहे.

उत्पादन प्रकार आणि सामग्रीची निवड:

एमओसीव्हीडी संवेदनशीलतेची डिझाइन आणि सामग्रीची निवड वैविध्यपूर्ण आहे, सामान्यत: प्रक्रिया आवश्यकता आणि प्रतिक्रिया अटींद्वारे निर्धारित केली जाते.खाली सामान्य उत्पादनांचे प्रकार आणि त्यांचे साहित्य आहेत:

एसआयसी कोटेड सासेप्टर(सिलिकॉन कार्बाईड लेपित संवेदनशील):

वर्णनः सब्सट्रेट म्हणून ग्रेफाइट किंवा इतर उच्च-तापमान सामग्रीसह एसआयसी कोटिंगसह संवेदनाक्षम आणि पृष्ठभागावर सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग (सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग) त्याचे परिधान प्रतिरोध आणि गंज प्रतिकार सुधारण्यासाठी.

अनुप्रयोगः उच्च तापमान आणि अत्यंत संक्षारक वायू वातावरणात एमओसीव्हीडी प्रक्रियेत मोठ्या प्रमाणात वापरला जातो, विशेषत: सिलिकॉन एपिटॅक्सी आणि कंपाऊंड सेमीकंडक्टर जमा.

टीएसी लेपित सबर्स:

वर्णनः मुख्य सामग्री म्हणून टीएसी कोटिंग (सीव्हीडी टीएसी कोटिंग) सह संवेदनशीलता अत्यंत कठोरपणा आणि रासायनिक स्थिरता आहे आणि अत्यंत संक्षारक वातावरणात वापरण्यासाठी योग्य आहे.

अनुप्रयोगः एमओसीव्हीडी प्रक्रियेमध्ये वापरला जातो ज्यास गॅलियम नायट्राइड (जीएएन) आणि गॅलियम आर्सेनाइड (जीएएएस) जमा करणे यासारख्या उच्च गंज प्रतिरोध आणि यांत्रिक सामर्थ्य आवश्यक आहे.

सिलिकॉन कार्बाईड लेपित ग्रेफाइट संवेदना:

वर्णनः सब्सट्रेट ग्रेफाइट आहे आणि उच्च तापमानात स्थिरता आणि दीर्घ आयुष्य सुनिश्चित करण्यासाठी पृष्ठभाग सीव्हीडी एसआयसी कोटिंगच्या थराने व्यापलेला आहे.

अनुप्रयोग: उच्च-गुणवत्तेच्या कंपाऊंड सेमीकंडक्टर सामग्री तयार करण्यासाठी ixtron MOCVD रिएक्टर्स सारख्या उपकरणांमध्ये वापरण्यासाठी योग्य.

ईपीआय समर्थन (एपिटॅक्सी समर्थक):

वर्णनः एपिटॅक्सियल ग्रोथ प्रक्रियेसाठी खास डिझाइन केलेले सासेप्टर, सामान्यत: एसआयसी कोटिंग किंवा टीएसी कोटिंगसह थर्मल चालकता आणि टिकाऊपणा वाढविण्यासाठी.

अनुप्रयोगः सिलिकॉन एपिटॅक्सी आणि कंपाऊंड सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सीमध्ये, वेफर्सची एकसमान गरम आणि जमा करण्यासाठी याचा उपयोग केला जातो.

सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंगमध्ये एमओसीव्हीडीसाठी संवेदनशील ची मुख्य भूमिका:

वेफर समर्थन आणि एकसमान हीटिंग:

फंक्शनः स्यूससेप्टरचा वापर एमओसीव्हीडी अणुभट्ट्यांमधील वेफर्सना समर्थन देण्यासाठी आणि एकसमान फिल्म जमा सुनिश्चित करण्यासाठी इंडक्शन हीटिंग किंवा इतर पद्धतींद्वारे एकस उष्णता वितरण प्रदान करण्यासाठी केला जातो.

उष्णता वाहक आणि स्थिरता:

कार्यः थर्मल चालकता आणि संवेदनाक्षम सामग्रीची थर्मल स्थिरता महत्त्वपूर्ण आहे. असमान तापमानामुळे होणा film ्या चित्रपटातील दोष टाळण्यासाठी एसआयसी लेपित सासेप्टर आणि टीएसी लेपित सासेप्टर उच्च-तापमान प्रक्रियेमध्ये स्थिरता राखू शकतात.

गंज प्रतिकार आणि दीर्घ आयुष्य:

कार्यः एमओसीव्हीडी प्रक्रियेमध्ये, संवेदनाक्षम विविध रासायनिक पूर्ववर्ती वायूंच्या संपर्कात आहे. एसआयसी कोटिंग आणि टीएसी कोटिंग उत्कृष्ट गंज प्रतिरोध प्रदान करते, भौतिक पृष्ठभाग आणि प्रतिक्रिया गॅसमधील परस्परसंवाद कमी करते आणि संवेदनाक्षमतेच्या सेवा जीवनाचा विस्तार करते.

प्रतिक्रिया वातावरणाचे ऑप्टिमायझेशन:

फंक्शनः उच्च-गुणवत्तेच्या संवेदनाक्षमांचा वापर करून, एमओसीव्हीडी अणुभट्टीमधील गॅस प्रवाह आणि तापमान क्षेत्र अनुकूलित केले जाते, एकसमान फिल्म जमा प्रक्रिया सुनिश्चित करते आणि डिव्हाइसचे उत्पादन आणि कार्यक्षमता सुधारते. हे सहसा एमओसीव्हीडी अणुभट्ट्या आणि आयएक्सट्रॉन एमओसीव्हीडी उपकरणांसाठी संवेदनाक्षमांमध्ये वापरले जाते.

उत्पादन वैशिष्ट्ये आणि तांत्रिक फायदे：

उच्च औष्णिक चालकता आणि थर्मल स्थिरता:

वैशिष्ट्ये: एसआयसी आणि टीएसी लेपित संवेदनशीलतेमध्ये अत्यंत उच्च थर्मल चालकता असते, द्रुतगतीने आणि समान रीतीने उष्णता वितरित करता येते आणि वेफर्सची एकसमान तापविणे सुनिश्चित करण्यासाठी उच्च तापमानात स्ट्रक्चरल स्थिरता राखू शकते.

फायदे: एमओसीव्हीडी प्रक्रियेसाठी योग्य ज्यासाठी अचूक तापमान नियंत्रण आवश्यक आहे, जसे की गॅलियम नायट्राइड (जीएएन) आणि गॅलियम आर्सेनाइड (जीएएएस) सारख्या कंपाऊंड सेमीकंडक्टरची एपिटॅक्सियल वाढ.

उत्कृष्ट गंज प्रतिकार:

वैशिष्ट्ये: सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग आणि सीव्हीडी टीएसी कोटिंगमध्ये अत्यंत उच्च रासायनिक जडत्व असते आणि क्लोराईड्स आणि फ्लोराईड्स सारख्या अत्यंत संक्षारक वायूंपासून गंज प्रतिकार करू शकतो, ज्यामुळे संवेदनाक्षमतेच्या सब्सट्रेटचे नुकसान होण्यापासून संरक्षण होते.

फायदे: संवेदनशीलतेचे सेवा जीवन वाढवा, देखभाल वारंवारता कमी करा आणि एमओसीव्हीडी प्रक्रियेची एकूण कार्यक्षमता सुधारित करा.

उच्च यांत्रिक शक्ती आणि कठोरता:

वैशिष्ट्ये: एसआयसी आणि टीएसी कोटिंग्जची उच्च कठोरता आणि यांत्रिक शक्ती उच्च तापमान आणि उच्च दाब वातावरणात यांत्रिक ताणतणावाचा प्रतिकार करण्यास आणि दीर्घकालीन स्थिरता आणि सुस्पष्टता टिकवून ठेवण्यास संवेदनशीलता सक्षम करते.

फायदे: विशेषत: सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेसाठी योग्य आहे ज्यास उच्च अचूकता आवश्यक आहे, जसे की एपिटॅक्सियल ग्रोथ आणि रासायनिक वाष्प जमा.

बाजार अनुप्रयोग आणि विकास संभावना

MOCVD suspectorsउच्च-उज्ज्वलपणा एलईडी, पॉवर इलेक्ट्रॉनिक उपकरणे (जसे की जीएएन-आधारित एचईएमटी), सौर पेशी आणि इतर ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणांच्या निर्मितीमध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरले जातात. उच्च कार्यक्षमतेची आणि कमी उर्जा उपभोग सेमीकंडक्टर उपकरणांची वाढती मागणी, एमओसीव्हीडी तंत्रज्ञान पुढे जात आहे, संवेदनशील सामग्री आणि डिझाइनमध्ये नाविन्यपूर्ण ड्रायव्हिंग करते. उदाहरणार्थ, उच्च शुद्धता आणि कमी दोष घनतेसह एसआयसी कोटिंग तंत्रज्ञान विकसित करणे आणि मोठ्या वेफर्स आणि अधिक जटिल मल्टी-लेयर एपिटॅक्सियल प्रक्रियेशी जुळवून घेण्यासाठी स्यूससेप्टरच्या स्ट्रक्चरल डिझाइनचे अनुकूलन करणे.

वेटेक सेमीकंडक्टर टेक्नॉलॉजी कंपनी, लिमिटेड सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी प्रगत कोटिंग सामग्रीचा एक अग्रगण्य प्रदाता आहे. आमची कंपनी उद्योगासाठी अत्याधुनिक उपाय विकसित करण्यावर लक्ष केंद्रित करते.

आमच्या मुख्य उत्पादनांच्या ऑफरमध्ये सीव्हीडी सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) कोटिंग्ज, टॅन्टलम कार्बाईड (टीएसी) कोटिंग्ज, बल्क एसआयसी, एसआयसी पावडर आणि उच्च-शुद्धता एसआयसी मटेरियल, एसआयसी लेपित ग्रेफाइट स्यूसेप्टर, प्रीहीट रिंग्ज, टॅक कोटेड डायव्हर्शन रिंग, हाफमून पार्ट्स इ.

सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी अत्याधुनिक तंत्रज्ञान आणि उत्पादन विकास सोल्यूशन्स विकसित करण्यावर वेटेक सेमीकंडक्टर लक्ष केंद्रित करते. आम्ही चीनमधील आपला दीर्घकालीन भागीदार होण्याची मनापासून आशा करतो.