टीएसी कोटिंग म्हणजे काय? - वेटेक सेमीकंडक्टर

टीएसी कोटिंग (टँटलम कार्बाईड कोटिंग) रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी) प्रक्रियेद्वारे तयार केलेली एक उच्च-कार्यक्षमता कोटिंग सामग्री आहे. Due to the excellent properties of TaC coating under extreme conditions, it is widely used in semiconductor manufacturing process, especially in equipment and components that require high temperature and strong corrosive environment. TaC Coating is usually used to protect substrates (such as graphite or ceramics) from damage by high temperature, corrosive gases and mechanical wear.

टीएसी कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म

उत्पादन वैशिष्ट्ये आणि फायदे

● अत्यंत उच्च थर्मल स्थिरता:

वैशिष्ट्य वर्णनः टीएसी कोटिंगमध्ये 3880 डिग्री सेल्सियसपेक्षा जास्त वितळण्याचा बिंदू आहे आणि अत्यंत उच्च तापमान वातावरणात विघटन किंवा विकृतीशिवाय स्थिरता राखू शकते.

फायदाः हे सीव्हीडी टीएसी कोटिंग आणि टीएसी लेपित स्यूससेप्टर सारख्या उच्च-तापमान सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये एक अपरिहार्य सामग्री बनवते, विशेषत: एएक्सट्रॉन जी 5 उपकरणांसारख्या एमओसीव्हीडी अणुभट्ट्यांमधील अनुप्रयोगांसाठी.

● उत्कृष्ट गंज प्रतिकार:

वैशिष्ट्य वर्णनः टीएसीमध्ये अत्यंत मजबूत रासायनिक जडत्व आहे आणि क्लोराईड्स आणि फ्लोराईड्ससारख्या संक्षारक वायूंच्या धूप प्रभावीपणे प्रतिकार करू शकतात.

फायदेः सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये अत्यंत संक्षारक रसायने, टीएसी कोटिंग उपकरणांच्या घटकांना रासायनिक हल्ल्यापासून संरक्षण करते, सेवा जीवन वाढवते आणि प्रक्रिया स्थिरता सुधारते, विशेषत: सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट आणि इतर मुख्य घटकांच्या वापरामध्ये.

Mechan उत्कृष्ट यांत्रिक कडकपणा:

वैशिष्ट्य वर्णनः टीएसी कोटिंगची कडकपणा 9-10 एमओएचएस इतकी जास्त आहे, ज्यामुळे ते यांत्रिक पोशाख आणि उच्च तापमानाच्या तणावास प्रतिरोधक बनवते.

फायदाः उच्च कठोरता मालमत्ता टीएसी कोटिंग विशेषत: उच्च पोशाख आणि उच्च तणाव वातावरणात वापरण्यासाठी योग्य बनवते, कठोर परिस्थितीत दीर्घकालीन स्थिरता आणि उपकरणांची विश्वासार्हता सुनिश्चित करते.

● कमी रासायनिक प्रतिक्रिया:

वैशिष्ट्य वर्णनः त्याच्या रासायनिक जडत्वामुळे, टीएसी कोटिंग उच्च तापमान वातावरणात कमी प्रतिक्रिया राखू शकते आणि प्रतिक्रियाशील वायूंसह अनावश्यक रासायनिक प्रतिक्रिया टाळते.

फायदाः सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेमध्ये हे विशेषतः महत्वाचे आहे कारण ते प्रक्रियेच्या वातावरणाची शुद्धता आणि सामग्रीची उच्च-गुणवत्तेची जमा सुनिश्चित करते.

सेमीकंडक्टर प्रक्रियेत टीएसी कोटिंगची भूमिका

E उपकरण घटकांचे संरक्षण करणे:

फंक्शन वर्णनः टीएसी लेपित सासेप्टर सारख्या सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग उपकरणांच्या मुख्य घटकांमध्ये टीएसी कोटिंगचा मोठ्या प्रमाणात वापर केला जातो, ज्यांना अत्यंत परिस्थितीत काम करण्याची आवश्यकता आहे. टीएसीसह लेप देऊन, हे घटक उच्च तापमानात आणि संक्षारक वायू वातावरणात दीर्घकाळ काम करू शकतात ज्याचे नुकसान न करता.

Equipment उपकरणांचे जीवन वाढवा:

फंक्शन वर्णनः आयएक्सट्रॉन जी 5 सारख्या एमओसीव्हीडी उपकरणांमध्ये, टीएसी कोटिंग उपकरणांच्या घटकांची टिकाऊपणा लक्षणीय सुधारू शकते आणि गंज आणि पोशाखांमुळे उपकरणे देखभाल आणि बदलीची आवश्यकता कमी करू शकते.

Process प्रक्रिया स्थिरता वाढवा:

फंक्शन वर्णनः सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये, टीएसी कोटिंग स्थिर उच्च तापमान आणि रासायनिक वातावरण प्रदान करून ठेव प्रक्रियेची एकरूपता आणि सुसंगतता सुनिश्चित करते. सिलिकॉन एपिटॅक्सी आणि गॅलियम नायट्राइड (जीएएन) सारख्या एपिटॅक्सियल ग्रोथ प्रक्रियेमध्ये हे विशेषतः महत्वाचे आहे.

Process प्रक्रियेची कार्यक्षमता सुधारित करा:

फंक्शन वर्णनः उपकरणांच्या पृष्ठभागावर लेप ऑप्टिमाइझ करून, टीएसी कोटिंग प्रक्रियेची एकूण कार्यक्षमता सुधारू शकते, दोष दर कमी करू शकते आणि उत्पादनाचे उत्पादन वाढवू शकते. उच्च-परिशुद्धता, उच्च-शुद्धता अर्धसंवाहक सामग्रीच्या निर्मितीसाठी हे गंभीर आहे.

The high thermal stability, excellent corrosion resistance, mechanical hardness and low chemical reactivity exhibited by TaC Coating during semiconductor processing make it an ideal choice for protecting semiconductor manufacturing equipment components. As the semiconductor industry's demand for high temperature, high purity and efficient manufacturing processes continues to increase, TaC Coating has broad application prospects, especially in equipment and processes involving CVD TaC Coating, TaC Coated Susceptor and Aixtron G5.

वेटेक सेमीकंडक्टर टेक्नॉलॉजी कंपनी, लिमिटेड सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी प्रगत कोटिंग सामग्रीचा एक अग्रगण्य प्रदाता आहे. आमची कंपनी उद्योगासाठी अत्याधुनिक उपाय विकसित करण्यावर लक्ष केंद्रित करते.

आमच्या मुख्य उत्पादनांच्या ऑफरमध्ये समाविष्ट आहेसीव्हीडी सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) कोटिंग्ज, टँटलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंग्ज, बल्क एसआयसी, एसआयसी पावडर आणि उच्च-शुद्धता एसआयसी मटेरियल, एसआयसी लेपित ग्रेफाइट स्यूससेप्टर, प्रीहेट रिंग्ज, टीएसी लेपित डायव्हर्शन रिंग, हाफमून पार्ट्स इत्यादी, शुद्धता 5 पीपीएमपेक्षा कमी आहे, ग्राहकांच्या गरजा भागवू शकतात.

सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी अत्याधुनिक तंत्रज्ञान आणि उत्पादन विकास सोल्यूशन्स विकसित करण्यावर वेटेक सेमीकंडक्टर लक्ष केंद्रित करते.आम्ही चीनमधील आपला दीर्घकालीन भागीदार होण्याची मनापासून आशा करतो.