Aixtron MOCVD रिसेप्टर

द्वारे उत्पादित Susceptorsहे सेमीकंडक्टरग्रेफाइट सब्सट्रेट आणि सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) कोटिंग सामग्रीचे बनलेले आहेत. उच्च पोशाख प्रतिकार, गंज प्रतिकार आणि एसआयसी सामग्रीची अत्यंत उच्च कठोरता दिल्यास, हे विशेषतः कठोर प्रक्रियेच्या वातावरणात वापरण्यासाठी योग्य आहे. म्हणूनच, वेटेक सेमीकंडक्टरद्वारे उत्पादित संवेदनाक्षमंचा वापर अतिरिक्त पृष्ठभागाच्या उपचारांशिवाय उच्च-तापमान एमओसीव्हीडी प्रक्रियेत थेट केला जाऊ शकतो.

सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये ससेप्टर्स हे मुख्य घटक आहेत, विशेषत: पातळ फिल्म डिपॉझिशन प्रक्रियेसाठी MOCVD उपकरणांमध्ये. ची मुख्य भूमिकाआयएक्सट्रॉन: तर समर्थनएमओसीव्हीडी प्रक्रियेमध्ये सेमीकंडक्टर वेफर्स वाहून नेणे, एकसारखे उष्णता वितरण आणि प्रतिक्रिया वातावरण प्रदान करून पातळ चित्रपटांची एकसमान आणि उच्च-गुणवत्तेची जमा करणे सुनिश्चित करणे, ज्यामुळे उच्च-गुणवत्तेचे पातळ चित्रपट निर्मिती प्राप्त होते.

आयएक्सट्रॉन एमओसीव्हीडी समर्थकसामान्यतः सेमीकंडक्टर वेफर्सच्या पायाला आधार देण्यासाठी आणि त्याचे निराकरण करण्यासाठी वापरले जाते जेणेकरुन डिपॉझिशन प्रक्रियेदरम्यान वेफरची स्थिरता सुनिश्चित होईल. त्याच वेळी, Aixtron MOCVD ससेप्टरचे पृष्ठभाग आवरण सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) पासून बनलेले आहे, एक अत्यंत थर्मलली प्रवाहकीय सामग्री. SiC कोटिंग वेफरच्या पृष्ठभागावर एकसमान तापमान सुनिश्चित करते आणि उच्च-गुणवत्तेचे चित्रपट मिळविण्यासाठी एकसमान गरम करणे आवश्यक आहे.

शिवाय, दआयएक्सट्रॉन एमओसीव्हीडी समर्थकआम्ही सामग्रीच्या अनुकूलित डिझाइनद्वारे प्रतिक्रियाशील वायूंचा प्रवाह आणि वितरण नियंत्रित करण्यात अधिक भूमिका बजावतो. एकसमान फिल्म जमा करण्यासाठी एडी प्रवाह आणि तापमान ग्रेडियंट्स टाळा.

अधिक महत्त्वाचे म्हणजे, MOCVD प्रक्रियेत, सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग सामग्रीला गंज प्रतिरोधक असतो, त्यामुळेहे सेमीकंडक्टरचेआयएक्सट्रॉन एमओसीव्हीडी समर्थकउच्च तापमान आणि संक्षारक वायू देखील सहन करू शकतात.

मूलभूत भौतिक गुणधर्मSic कोटिंग:

VeTek सेमीकंडक्टर वेफर बोट दुकाने:

सेमीकंडक्टर चिप एपिटॅक्सी इंडस्ट्री चेनचे विहंगावलोकन: