सिलिकॉन-आधारित गॅन एपिटॅक्सियल संवेदना

एपिटॅक्सियल ग्रोथ दरम्यान जीएएन मटेरियलच्या सिलिकॉन सब्सट्रेटचे समर्थन आणि गरम करण्यासाठी वेयकोच्या के 465 आय गॅन एमओसीव्हीडी सिस्टममध्ये वेटेक्सिकॉनचा सिलिकॉन-आधारित जीएएन एपिटॅक्सियल सासेप्टर हा एक महत्त्वाचा घटक आहे. शिवाय, सिलिकॉन एपिटॅक्सियल सब्सट्रेटवरील आमचे गॅन उच्च-शुद्धतेचा वापर करते,उच्च-गुणवत्तेची ग्रेफाइट सामग्रीएपिटॅक्सियल ग्रोथ प्रक्रियेदरम्यान चांगली स्थिरता आणि थर्मल चालकता प्रदान करणारी सब्सट्रेट म्हणून. एपिटॅक्सियल ग्रोथ प्रक्रियेची स्थिरता आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करण्यासाठी सब्सट्रेट उच्च-तापमान वातावरणाचा प्रतिकार करण्यास सक्षम आहे.

Ⅰ. मध्ये मुख्य भूमिकाएपिटॅक्सियल प्रक्रिया

(१) एपिटॅक्सियल वाढीसाठी स्थिर व्यासपीठ द्या

एमओसीव्हीडी प्रक्रियेमध्ये, जीएएन एपिटॅक्सियल थर उच्च तापमानात (> 1000 डिग्री सेल्सियस) सिलिकॉन सब्सट्रेट्सवर जमा केले जातात आणि सिलिकॉन वेफर्स वाहून नेण्यासाठी आणि वाढीदरम्यान तापमान स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी संवेदनशील जबाबदार आहे.

सिलिकॉन-आधारित सासेप्टर एसआय सब्सट्रेटशी सुसंगत असलेल्या सामग्रीचा वापर करते, ज्यामुळे थर्मल एक्सपेंशन (सीटीई) न जुळणार्‍या गुणांकांमुळे होणार्‍या ताणतणाव कमी करून गॅन-ऑन-सी-एपिटॅक्सियल लेयरचा धोका कमी होतो.

(२) एपिटॅक्सियल एकरूपता सुनिश्चित करण्यासाठी उष्णता वितरण अनुकूलित करा

एमओसीव्हीडी रिएक्शन चेंबरमधील तापमान वितरण थेट जीएएन क्रिस्टलायझेशनच्या गुणवत्तेवर परिणाम करीत असल्याने, एसआयसी कोटिंग थर्मल चालकता वाढवू शकते, तापमान ग्रेडियंट बदल कमी करू शकते आणि एपिटॅक्सियल लेयरची जाडी आणि डोपिंग एकरूपता अनुकूल करते.

उच्च थर्मल चालकता एसआयसी किंवा उच्च शुद्धता सिलिकॉन सब्सट्रेटचा वापर थर्मल स्थिरता सुधारण्यास आणि गरम स्पॉट तयार करणे टाळण्यास मदत करते, ज्यामुळे एपिटॅक्सियल वेफर्सचे उत्पादन प्रभावीपणे सुधारते.

()) गॅस प्रवाह अनुकूलित करणे आणि दूषित होणे कमी करणे

लॅमिनेर फ्लो कंट्रोल: सामान्यत: संवेदनाक्षम (जसे की पृष्ठभाग सपाटपणा) च्या भूमितीय डिझाइनमुळे प्रतिक्रिया वायूच्या प्रवाहाच्या पॅटर्नवर थेट परिणाम होतो. उदाहरणार्थ, प्रीकर्सर गॅस (जसे की टीएमजीए, एनएचए) वेफर पृष्ठभागावर समान रीतीने कव्हर करते हे सुनिश्चित करण्यासाठी सेमिक्सलॅबचा संवेदनशील डिझाइनचे अनुकूलन करून अशांतता कमी करते, ज्यामुळे एपिटॅक्सियल थरची एकसमानता मोठ्या प्रमाणात सुधारते.

अशुद्धता प्रसार रोखणे: सिलिकॉन कार्बाईड कोटिंगच्या उत्कृष्ट थर्मल मॅनेजमेंट आणि गंज प्रतिकारांसह एकत्रित, आमचे उच्च-घनता सिलिकॉन कार्बाईड कोटिंग ग्रॅफाइट सब्सट्रेटमधील अशुद्धी एपिटॅक्सियल लेयरमध्ये भिन्न होण्यापासून प्रतिबंधित करू शकते, कार्बन दूषिततेमुळे उद्भवलेल्या डिव्हाइसच्या कार्यक्षमतेचा नाश टाळतो.

Ⅱ. च्या भौतिक गुणधर्मआयसोस्टॅटिक ग्रेफाइट