टीएसी कोटिंग 2200 च्या उच्च तापमानाचा प्रतिकार करू शकते. वेटेक सेमीकंडक्टर चीनमध्ये 5 पीपीएमपेक्षा कमी अशुद्धतेसह उच्च शुद्धता टीएसी कोटिंग प्रदान करते. टीएसी कोटिंग पेडस्टल सपोर्ट प्लेट एपिटॅक्सियल डिव्हाइस रिएक्शन चेंबरमध्ये अमोनिया हायड्रोजन, आर्गोनिनचा प्रतिकार करण्यास सक्षम आहे. हे उत्पादनाचे सेवा जीवन सुधारते. आपण आवश्यकता प्रदान करता, आम्ही सानुकूलन प्रदान करतो.
वेटेक सेमीकंडक्टर चीन निर्माता आणि पुरवठादार आहे जे प्रामुख्याने सीव्हीडी टीएसी कोटिंग सासेप्टर्स, इनलेट रिंग, वेफर चंक, टीएसी लेपित धारक, टीएसी कोटिंग पेडेस्टल सपोर्ट प्लेट बर्याच वर्षांच्या अनुभवासह तयार करते. आपल्याशी व्यवसाय संबंध निर्माण करण्याची आशा आहे.
टीएसी सिरेमिकमध्ये 3880 पर्यंत वितळणारा बिंदू आहे, उच्च कडकपणा (एमओएचएस कठोरता 9 ~ 10), मोठी थर्मल चालकता (22 डब्ल्यू · मीटर-1· के−1), मोठ्या वाकणे सामर्थ्य (340 ~ 400 एमपीए) आणि लहान थर्मल विस्तार गुणांक (6.6 × 10−6K−1) आणि उत्कृष्ट थर्मोकेमिकल स्थिरता आणि उत्कृष्ट भौतिक गुणधर्म दर्शवा. यात ग्रेफाइट आणि सी/सी कंपोझिट मटेरियलसह चांगली रासायनिक आणि यांत्रिक अनुकूलता आहे, म्हणून टीएसी कोटिंगचा वापर एरोस्पेस थर्मल प्रोटेक्शन, सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ आणि सेमीकंडक्टर उद्योगातील आयएक्सट्रॉन, एलपीई ईपीआय अणुभट्टी सारख्या एपिटॅक्सियल रिएक्टर्समध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरला जातो.
टीएसी लेपित ग्रेफाइटमध्ये बेअर स्टोन शाई किंवा एसआयसी लेपित ग्रेफाइटपेक्षा चांगले रासायनिक गंज प्रतिरोध आहे, 2200 ° उच्च तापमानात स्थिरपणे वापरले जाऊ शकते, बर्याच धातूंच्या घटकांसह प्रतिक्रिया देत नाही, सेमीकंडक्टर सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ, एपिटॅक्सी आणि वेफर एचिंगची उत्कृष्ट कामगिरी, तापमान आणि इम्पोर्टिकेशनची प्रक्रिया सुधारली जाऊ शकते, वेफर्स. हे विशेषत: एमओसीव्हीडी उपकरणांमध्ये गॅन किंवा एएलएन सिंगल क्रिस्टल आणि पीव्हीटी उपकरणांमध्ये एसआयसी सिंगल क्रिस्टलसाठी योग्य आहे आणि एकल क्रिस्टल पिकलेल्या गुणवत्तेत स्पष्टपणे सुधारित आहे.
टीएसी कोटिंग आणि एसआयसी कोटिंग स्पेअर पार्ट्स आम्ही करू शकतो:
टीएसी कोटिंगचे पॅरामीटर:
टीएसी कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म
टीएसी कोटिंग घनता
14.3 (जी/सेमी)
विशिष्ट एमिसिव्हिटी
0.3
औष्णिक विस्तार गुणांक
6.3 10-6/के
टीएसी कोटिंग कडकपणा (एचके)
2000 एचके
प्रतिकार
1 × 10-5ओहम*सेमी
थर्मल स्थिरता
<2500 ℃
ग्रेफाइट आकार बदल
-10 ~ -20um
कोटिंग जाडी
≥20UM ठराविक मूल्य (35um ± 10um)
बूटसेमीकंडक्टर चिप एपिटॅक्सी इंडस्ट्री चेन औद्योगिक साखळी:
हे सेमीकंडक्टरटीएसी कोटिंग पेडस्टल सपोर्ट प्लेटउत्पादन दुकान
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
आम्ही तुम्हाला एक चांगला ब्राउझिंग अनुभव देण्यासाठी, साइट रहदारीचे विश्लेषण करण्यासाठी आणि सामग्री वैयक्तिकृत करण्यासाठी कुकीज वापरतो. ही साइट वापरून, तुम्ही आमच्या कुकीजच्या वापरास सहमती देता. गोपनीयता धोरण