इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक (ईएससी) म्हणजे काय?

इलेक्ट्रोस्टेटिक चक (ईएससी), ज्याला इलेक्ट्रोस्टेटिक चक (ईएससी, ई-चक) म्हणून ओळखले जाते, हे एक वस्तू आहे जे शोषक सामग्री ठेवण्यासाठी आणि निराकरण करण्यासाठी इलेक्ट्रोस्टेटिक सोशोर्शनचे तत्व वापरते. हे व्हॅक्यूम आणि प्लाझ्मा वातावरणासाठी योग्य आहे. त्याचे मुख्य कार्य अल्ट्रा-पातळ पातळ चादरी (जसे की सिलिकॉन वेफर्स) आणि सोशोर्बेड मटेरियलला चांगल्या सपाटपणाकडे ठेवा, जे प्रक्रियेदरम्यान शोषक सामग्रीचे विकृती देखील रोखू शकते आणि ते or डसॉर्बेटचे तापमान समायोजित करू शकते.

इलेक्ट्रोस्टेटिक चक (ईएससी) हा एक विशेष प्रकारचा चक आहे जो वस्तू ठेवण्यासाठी, दाबण्यासाठी आणि उचलण्यासाठी इलेक्ट्रोस्टेटिक शक्ती वापरतो (वर्कपीसेस). कोणत्याही सामग्रीमध्ये सकारात्मक आणि नकारात्मक शुल्क असते जे उघड्या डोळ्यासाठी अदृश्य असतात. जेव्हा सामग्री ईएससीवर ठेवली जाते आणि ईएससीच्या अंतर्गत इलेक्ट्रोड्सवर द्विध्रुवीय व्होल्टेज लागू केला जातो, तेव्हा ईएससीच्या अंतर्गत इलेक्ट्रोडच्या ध्रुवपणाशी जुळण्यासाठी सकारात्मक आणि नकारात्मक शुल्क सामग्रीमध्ये हलवेल. ईएससी आणि सामग्रीमधील हे आकर्षण इलेक्ट्रोस्टेटिक फोर्स असे म्हणतात आणि आमच्या चक्समागील मूलभूत तत्त्व देखील आहे.

उत्पादनांचे फायदे

यात विस्तृत ऑपरेटिंग तापमान श्रेणी आहे (-50 ते 700 ℃)

या इलेक्ट्रोस्टेटिक सक्शन कपमध्ये उत्कृष्ट सामर्थ्य, थर्मल चालकता आणि थर्मल शॉक प्रतिरोध आहे आणि एनजीकेच्या मालकीच्या सिरेमिक व्हॉल्यूम रेझिस्टिव्हिटी कंट्रोलद्वारे विस्तृत तापमान श्रेणीशी जुळवून घेऊ शकते.

उच्च गंज प्रतिकार

या इलेक्ट्रोस्टेटिक सक्शन कपमध्ये हलोजन वायूंचा उत्कृष्ट गंज प्रतिकार आहे.

लो-कण प्रक्रिया

पृष्ठभागाच्या उपचारांद्वारे आणि विशेष साफसफाईद्वारे कमी-कण उपचार साध्य केले जाऊ शकतात

उच्च शुद्धता

99.9% किंवा त्याहून अधिक शुद्धता असलेली उत्पादने देखील उपलब्ध आहेत.

हीटिंग फंक्शन

हायटर फंक्शनसह उच्च-परिशुद्धता हीटिंग एलिमेंट एम्बेडिंग तंत्रज्ञान समाकलित केले जाऊ शकते आणि वेफर तापमान ± 1%मध्ये नियंत्रित केले जाऊ शकते.

कूलिंग फंक्शन

या इलेक्ट्रोस्टेटिक सक्शन कपमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि कूलिंग प्लेट्ससह सिरेमिक प्लेट्स बाँड करून अत्यंत शीतकरण कार्यक्षमता असते.

रेडिओ फ्रिक्वेन्सी इलेक्ट्रोड

बल्क मेटल इलेक्ट्रोड एकाच वेळी स्थिर वेफर क्लॅम्पिंग आणि रेडिओ फ्रिक्वेन्सी प्लाझ्मा निर्मिती प्रदान करू शकतात.

Pअरामीटर

1.सेमीकंडक्टर आणि इलेक्ट्रॉनिक मॅन्युफॅक्चरिंगच्या क्षेत्रात: सेमीकंडक्टर आणि इलेक्ट्रॉनिक मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेदरम्यान, इलेक्ट्रोस्टेटिक सक्शन कप पातळ आणि नाजूक सिलिकॉन वेफर्स, वेफर्स इत्यादी निश्चित करण्यासाठी आणि हाताळण्यासाठी वापरले जातात. त्याचे फायदे मजबूत शोषण शक्ती, कोणतेही यांत्रिक ताण आणि साधे ऑपरेशनमध्ये आहेत, जे उत्पादन कार्यक्षमता आणि उत्पादनाची गुणवत्ता प्रभावीपणे सुधारते.

२. ग्लास आणि सिरेमिक्स उद्योग: काचेचे कटिंग, पीसणे आणि काचेच्या आणि सिरेमिक्स हाताळण्याच्या प्रक्रियेदरम्यान, इलेक्ट्रोस्टेटिक सक्शन कप ठिसूळ सामग्रीवर विना-विध्वंसक ऑपरेशन्स करू शकतात, उत्पादनाचा ब्रेक दर कमी करतात.

3. अचूक यंत्रणा आणि ऑप्टिकल घटकांचे उत्पादन: अचूक यंत्रणा आणि ऑप्टिकल घटकांसाठी, इलेक्ट्रोस्टेटिक सक्शन कप प्रक्रियेदरम्यान विकृती किंवा स्क्रॅच प्रतिबंधित, स्थिर शोषण शक्ती प्रदान करू शकतात.

4. स्वयंचलित उत्पादन रेषा: स्वयंचलित उत्पादन ओळींमध्ये, इलेक्ट्रोस्टेटिक सक्शन कप मोठ्या प्रमाणात वापरल्या जातात आणि भागांची स्थिती, हाताळणी आणि असेंब्लीमध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरली जातात, ज्यामुळे उत्पादन लाइनची ऑटोमेशन आणि कार्यक्षमता वाढते.