बातम्या
उत्पादने

T टीएसी कोटिंगद्वारे एसआयसी क्रिस्टल्समध्ये दोष आणि शुद्धतेचे ऑप्टिमायझेशन

1. दोष घनता लक्षणीय घटली आहे

टीएसी कोटिंगग्रॅफाइट क्रूसिबल आणि एसआयसी वितळण दरम्यान थेट संपर्क अलग ठेवून कार्बन एन्केप्युलेशन इंद्रियगोचर जवळजवळ पूर्णपणे काढून टाकते, मायक्रोट्यूबची दोष घनता लक्षणीय प्रमाणात कमी करते. प्रायोगिक डेटा दर्शवितो की टीएसी लेपित क्रूसिबल्समध्ये वाढलेल्या क्रिस्टल्समध्ये कार्बन लेपमुळे उद्भवलेल्या मायक्रोट्यूब दोषांची घनता पारंपारिक ग्रेफाइट क्रूसीबल्सच्या तुलनेत 90% पेक्षा जास्त कमी झाली आहे. क्रिस्टल पृष्ठभाग एकसमान उत्तल आहे आणि काठावर पॉलीक्रिस्टलिन रचना नाही, तर सामान्य ग्रेफाइट क्रूसिबल्समध्ये बहुतेकदा एज पॉलीक्रिस्टलायझेशन आणि क्रिस्टल डिप्रेशन आणि इतर दोष असतात.



2. अशुद्धता प्रतिबंध आणि शुद्धता सुधारणे

टीएसी मटेरियलमध्ये एसआय, सी आणि एन वाष्पांना उत्कृष्ट रासायनिक जडत्व आहे आणि ग्रेफाइटमधील नायट्रोजनसारख्या अशुद्धी प्रभावीपणे प्रतिबंधित करू शकतात क्रिस्टलमध्ये विखुरण्यापासून. जीडीएमएस आणि हॉल चाचण्या दर्शविते की क्रिस्टलमधील नायट्रोजन एकाग्रता 50%पेक्षा जास्त कमी झाली आहे आणि प्रतिरोधकता पारंपारिक पद्धतीपेक्षा 2-3 पट वाढली आहे. जरी टीए घटकाची एक ट्रेस रक्कम समाविष्ट केली गेली (अणु प्रमाण <0.1%), एकूण एकूण अशुद्धता सामग्री 70%पेक्षा जास्त कमी केली गेली, ज्यामुळे क्रिस्टलच्या विद्युत गुणधर्मांमध्ये लक्षणीय सुधारणा झाली.



3. क्रिस्टल मॉर्फोलॉजी आणि वाढ एकसमानता

टीएसी कोटिंग क्रिस्टल ग्रोथ इंटरफेसवर तापमान ग्रेडियंटचे नियमन करते, क्रिस्टल इनगॉटला बहिर्गोल वक्र पृष्ठभागावर वाढण्यास आणि धार वाढीच्या दरास एकसंध बनवते, अशा प्रकारे पारंपारिक ग्रेफाइट क्रूसिबल्समध्ये ओव्हरकूलिंगमुळे होणार्‍या पॉलीक्रिस्टलायझेशन इंद्रियगोचर टाळते. वास्तविक मोजमाप दर्शविते की टीएसी लेपित क्रूसिबलमध्ये उगवलेल्या क्रिस्टल इनगॉटचे व्यास विचलन ≤2%आहे आणि क्रिस्टल पृष्ठभाग सपाटपणा (आरएमएस) 40%ने सुधारित केले आहे.



थर्मल फील्ड आणि उष्णता हस्तांतरण वैशिष्ट्यांवरील टीएसी कोटिंगची नियमन यंत्रणा

Cha characteristic‌
Lactac कोटिंग यंत्रणा
क्रिस्टल ग्रोथ वर ‌ ‌
Mer थर्मल चालकता आणि तापमान वितरण
थर्मल चालकता (20-22 डब्ल्यू/एम · के) ग्रेफाइट (> 100 डब्ल्यू/एम · के) पेक्षा लक्षणीय कमी आहे, रेडियल उष्णता अपव्यय कमी करते आणि ग्रोथ झोनमध्ये रेडियल तापमान ग्रेडियंट कमी करते 30%
सुधारित तापमान फील्ड एकरूपता, थर्मल तणावामुळे आणि दोष निर्मितीची संभाव्यता कमी झाल्यामुळे जाळीचे विकृती कमी करणे
Radradiative उष्णता कमी होणे
पृष्ठभाग एमिसिव्हिटी (0.3-0.4) ग्रेफाइट (0.8-0.9) पेक्षा कमी आहे, ज्यामुळे रेडिएटिव्ह उष्णता कमी होते आणि उष्णता संवहनद्वारे भट्टीच्या शरीरावर परत येऊ देते
क्रिस्टलच्या आसपास वर्धित थर्मल स्थिरता, अधिक एकसमान सी/एसआय वाष्प एकाग्रता वितरण आणि रचनात्मक सुपरसॅटोरेशनमुळे होणारे दोष कमी करते
Mical केमिकल अडथळा प्रभाव
उच्च तापमानात ग्रेफाइट आणि एसआय वाष्प यांच्यातील प्रतिक्रिया प्रतिबंधित करते (एसआय + सी → एसआयसी), अतिरिक्त कार्बन स्त्रोत रीलिझ टाळणे
ग्रोथ झोनमध्ये आदर्श सी/एसआय गुणोत्तर (1.0-1.2) राखते, कार्बन सुपरसॅटरेशनमुळे उद्भवलेल्या समावेशातील दोष दाबून


इतर क्रूसिबल सामग्रीसह टीएसी कोटिंगची कार्यक्षमता तुलना


Tymateral प्रकार ‌
Te टेम्पेरेचर रेझिस्टन्स ‌
Camecamical जडत्व-
Chemecanical सामर्थ्य-
Ry क्रिस्टल दोष घनता
Typical अनुप्रयोग परिदृश्य
Tac टॅक लेपित ग्रेफाइट
≥2600 ° से
एसआय/सी वाष्प सह कोणतीही प्रतिक्रिया नाही
एमओएचएस कडकपणा 9-10, मजबूत थर्मल शॉक प्रतिरोधक
<1 सेमी (मायक्रोपाइप्स)
उच्च-शुद्धता 4 एच/6 एच-एसआयसी सिंगल क्रिस्टल वाढ
Gragebare ग्रेफाइट
≤2200 ° से
सी वाष्प रिलीझिंग सी द्वारे कोरडेड सी
कमी सामर्थ्य, क्रॅकिंगची प्रवण
10-50 सेमी
पॉवर डिव्हाइससाठी खर्च-प्रभावी एसआयसी सब्सट्रेट्स
Ledsic लेपित ग्रेफाइट
≤1600 ° से
उच्च तापमानात एसआय तयार करणार्‍या एसआय सह प्रतिक्रिया देते
उच्च कडकपणा परंतु ठिसूळपणा
5-10 सेमी
मध्य-तापमान अर्धसंवाहकांसाठी पॅकेजिंग सामग्री
Cruc बीएन क्रूसिबल
<2000 के
एन/बी अशुद्धी सोडते
खराब गंज प्रतिकार
8-15 सेमी
कंपाऊंड सेमीकंडक्टरसाठी एपिटॅक्सियल सब्सट्रेट्स

टीएसी कोटिंगने रासायनिक अडथळा, थर्मल फील्ड ऑप्टिमायझेशन आणि इंटरफेस रेग्युलेटच्या तिहेरी यंत्रणेद्वारे एसआयसी क्रिस्टल्सच्या गुणवत्तेत सर्वसमावेशक सुधारणा केली आहे.



  • दोष नियंत्रण मायक्रोट्यूब घनता 1 सेमीपेक्षा कमी आहे आणि कार्बन कोटिंग पूर्णपणे काढून टाकले जाते
  • शुद्धता सुधारणा: नायट्रोजन एकाग्रता <1 × 10⁷ सेमी ⁻, प्रतिरोधकता> 10⁴ ω · सेमी;
  • वाढीच्या कार्यक्षमतेत थर्मल फील्ड एकरूपतेत सुधारणा उर्जा वापर कमी करते 4% आणि क्रूसिबल लाइफला 2 ते 3 वेळा वाढवते.




संबंधित बातम्या
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept