एसआयसी आयसीपी एचिंग प्लेट

आयसीपी एचिंग (इंडक्टिव्हली युग्मित प्लाझ्मा एचिंग) तंत्रज्ञान सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये एक अचूक एचिंग प्रक्रिया आहे, सामान्यत: उच्च-परिशुद्धता आणि उच्च-गुणवत्तेच्या पॅटर्न ट्रान्सफरसाठी वापरली जाते, विशेषत: खोल छिद्र एचिंग, मायक्रो-पॅटर्न प्रोसेसिंगसाठी योग्य आहे.

सेमीकॉनएसआयसी आयसीपी एचिंग प्लेट उच्च-गुणवत्तेच्या एसआयसी सामग्रीचा वापर करून आयसीपी प्रक्रियेसाठी खास डिझाइन केलेले आहे आणि उच्च तापमान, मजबूत संक्षारक आणि उच्च उर्जा वातावरणात उत्कृष्ट कामगिरी प्रदान करू शकते. बेअरिंग आणि सपोर्ट करण्यासाठी एक महत्त्वाचा घटक म्हणून,आयसीपी एचएचिंग प्रक्रियेदरम्यान प्लेट स्थिरता आणि कार्यक्षमता सुनिश्चित करते.

एसआयसी आयसीपी एचिंग प्लेटउत्पादन वैशिष्ट्ये

● उच्च तापमान सहनशीलता

एसआयसी आयसीपी एचिंग प्लेट तापमानात 1600 डिग्री सेल्सियस पर्यंत बदलू शकते, उच्च तापमान आयसीपी एचिंग वातावरणात स्थिर वापर सुनिश्चित करते आणि तापमानातील चढ -उतारांमुळे होणारे विकृती किंवा कार्यक्षमता कमी करणे टाळते.

●  उत्कृष्ट गंज प्रतिकार

सिलिकॉन कार्बाइड मटेरियलहायड्रोजन फ्लोराईड, हायड्रोजन क्लोराईड, सल्फ्यूरिक acid सिड इ. सारख्या अत्यंत संक्षिप्त रसायनांचा प्रभावीपणे प्रतिकार करू शकतो जे एचिंग दरम्यान उघडकीस येऊ शकते, हे सुनिश्चित करते की दीर्घकालीन वापरादरम्यान उत्पादन खराब होत नाही.

●  कमी थर्मल विस्तार गुणांक

एसआयसी आयसीपी एचिंग प्लेटमध्ये कमी थर्मल एक्सपेंशन गुणांक असतो, जो उच्च तापमान वातावरणात चांगली आयामी स्थिरता राखू शकतो, तापमानातील बदलांमुळे उद्भवणारा ताण आणि विकृती कमी करू शकतो आणि अचूक एचिंग प्रक्रिया सुनिश्चित करू शकतो.

●  उच्च कडकपणा आणि परिधान प्रतिकार

एसआयसीमध्ये 9 एमओएचएस कठोरपणाची कडकपणा आहे, जे एचिंग प्रक्रियेदरम्यान उद्भवू शकणार्‍या, सेवा जीवन वाढवू आणि बदलण्याची वारंवारता कमी करू शकणार्‍या यांत्रिक पोशाख प्रभावीपणे प्रतिबंधित करू शकते.

● ईएक्ससेलंट थर्मल चालकता

उत्कृष्ट थर्मल चालकता हे सुनिश्चित करते कीSic ट्रेएचिंग प्रक्रियेदरम्यान उष्णता कमी होऊ शकते, उष्णता जमा झाल्यामुळे स्थानिक तापमानात वाढ टाळता येते, ज्यामुळे एचिंग प्रक्रियेची स्थिरता आणि एकरूपता सुनिश्चित होते.

मजबूत तांत्रिक कार्यसंघाच्या समर्थनासह, वेटेकसेमॉन एसआयसी आयसीपी एचिंग ट्रेने विविध कठीण प्रकल्प पूर्ण केले आहेत आणि आपल्या गरजेनुसार सानुकूलित उत्पादने प्रदान केली आहेत. आम्ही आपल्या चौकशीची अपेक्षा करीत आहोत.

सीव्हीडी एसआयसीचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म: