एसआयसी वेफर कॅरियर तंत्रज्ञानावर संशोधन

Sic वेफर कॅरियर, तृतीय-पिढीतील सेमीकंडक्टर इंडस्ट्री साखळीतील मुख्य उपभोग्य वस्तू म्हणून, त्यांची तांत्रिक वैशिष्ट्ये थेट एपिटॅक्सियल ग्रोथ आणि डिव्हाइस मॅन्युफॅक्चरिंगच्या उत्पन्नावर परिणाम करतात. 5 जी बेस स्टेशन आणि नवीन ऊर्जा वाहनांसारख्या उद्योगांमध्ये उच्च-व्होल्टेज आणि उच्च-तापमान उपकरणांच्या वाढत्या मागणीसह, एसआयसी वेफर कॅरियर्सच्या संशोधन आणि अनुप्रयोगास आता विकासाच्या महत्त्वपूर्ण संधींचा सामना करावा लागत आहे.

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगच्या क्षेत्रात, सिलिकॉन कार्बाईड वेफर कॅरियर प्रामुख्याने एपिटॅक्सियल उपकरणांमध्ये वेफर्स वाहून नेण्याचे आणि प्रसारित करण्याचे महत्त्वपूर्ण कार्य करतात. पारंपारिक क्वार्ट्ज वाहकांच्या तुलनेत, एसआयसी कॅरियर तीन कोर फायदे दर्शवितात: प्रथम, त्यांचे थर्मल विस्ताराचे गुणांक (4.0 × 10^-6/℃) एसआयसी वेफर्स (2.२ × १०^-6/℃) च्या तुलनेत अत्यधिक जुळले आहे, उच्च-तापमान प्रक्रियेत थर्मल तणाव प्रभावीपणे कमी करते; दुसरे म्हणजे, रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी) पद्धतीने तयार केलेल्या उच्च-शुद्धता एसआयसी वाहकांची शुद्धता 99.9995%पर्यंत पोहोचू शकते, ज्यामुळे क्वार्ट्ज वाहकांच्या सामान्य सोडियम आयन दूषितपणाची समस्या टाळता येते. याउप्पर, २3030० वर एसआयसी मटेरियलचा वितळणारा बिंदू ℃ एमओसीव्हीडी उपकरणांमध्ये १00०० च्या वर दीर्घकालीन कार्यरत वातावरणाशी जुळवून घेण्यास सक्षम करते.

सध्या, मुख्य प्रवाहातील उत्पादने 20-30 मिमीच्या श्रेणीमध्ये आणि 0.5μm पेक्षा कमी पृष्ठभागाच्या उग्रपणाची आवश्यकता असलेल्या 6 इंचाचे तपशील स्वीकारतात. एपिटॅक्सियल एकरूपता वाढविण्यासाठी, आघाडीचे उत्पादक सीएनसी मशीनिंगद्वारे कॅरियर पृष्ठभागावर विशिष्ट टोपोलॉजिकल स्ट्रक्चर्स तयार करतात. उदाहरणार्थ, सेमीसेरीने विकसित केलेल्या मधमाशांच्या आकाराच्या खोबणीची रचना ± 3%च्या आत एपिटॅक्सियल लेयरच्या जाडीच्या चढ-उतारांवर नियंत्रण ठेवू शकते. कोटिंग तंत्रज्ञानाच्या बाबतीत, टीएसी/टीएएसआय 2 कंपोझिट कोटिंग कॅरियरच्या सर्व्हिस लाइफला 800 पेक्षा जास्त वेळा वाढवू शकते, जे अनकोटेड उत्पादनाच्या तुलनेत तीन पट जास्त आहे.

औद्योगिक अनुप्रयोग स्तरावर, एसआयसी वाहकांनी हळूहळू सिलिकॉन कार्बाइड पॉवर डिव्हाइसची संपूर्ण उत्पादन प्रक्रिया वाढविली आहे. एसबीडी डायोड्सच्या उत्पादनात, एसआयसी कॅरियर्सचा वापर एपिटॅक्सियल दोष घनता 0.5 सेमीपेक्षा कमी कमी करू शकतो. एमओएसएफईटी उपकरणांसाठी, त्यांची उत्कृष्ट तापमान एकरूपता चॅनेलची गतिशीलता 15% ते 20% पर्यंत वाढविण्यात मदत करते. उद्योगाच्या आकडेवारीनुसार, ग्लोबल एसआयसी कॅरियर मार्केट आकार २०२24 मध्ये २0० दशलक्ष अमेरिकन डॉलर्सपेक्षा जास्त आहे, ज्यात चक्रवाढ वार्षिक वाढीचा दर २ 28%आहे.

तथापि, तांत्रिक अडथळे अद्याप अस्तित्त्वात आहेत. मोठ्या आकाराच्या वाहकांचे वॉरपेज नियंत्रण एक आव्हान आहे-8-इंचाच्या वाहकांच्या सपाटपणा सहनशीलतेस 50μm च्या आत संकुचित करणे आवश्यक आहे. सध्या, सेमीसेरा ही काही घरगुती कंपन्यांपैकी एक आहे जी वॉर्पिंगवर नियंत्रण ठेवू शकते. टियान्के हेडासारख्या घरगुती उद्योगांनी 6 इंचाच्या वाहकांचे मोठ्या प्रमाणात उत्पादन केले आहे. सेमीसीरा सध्या त्यांच्यासाठी एसआयसी कॅरियर सानुकूलित करण्यात टियानके हेडाला मदत करीत आहे. सध्या कोटिंग प्रक्रिया आणि दोष नियंत्रणाच्या बाबतीत आंतरराष्ट्रीय दिग्गजांकडे संपर्क साधला आहे. भविष्यात, हेटरोएपिटॅक्सी तंत्रज्ञानाच्या परिपक्वतामुळे, गॅन-ऑन-एसआयसी अनुप्रयोगांसाठी समर्पित वाहक एक नवीन संशोधन आणि विकासाची दिशा बनेल.