क्षैतिज सिक वेफर कॅरियर

सेमीकंडक्टरचा सौदाक्षैतिज सिक वेफर कॅरियर/बोटचा एक अत्यंत उच्च वितळणारा बिंदू (सुमारे 2700 डिग्री सेल्सियस) आहे, जो सक्षम करतोक्षैतिज सिक वेफर कॅरियर/बोट विकृती किंवा अधोगतीशिवाय उच्च तापमान वातावरणात स्थिरपणे कार्य करण्यासाठी. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेमध्ये हे वैशिष्ट्य विशेषतः महत्त्वपूर्ण आहे, विशेषत: उच्च-तापमान ne नीलिंग किंवा केमिकल वाष्प जमा (सीव्हीडी) सारख्या प्रक्रियेत.

दक्षैतिज सिक वेफर कॅरियर/बोट वेफर कॅरियर वाहून नेण्याच्या प्रक्रियेत खालील भूमिका निभावते:

सिलिकॉन वेफर वाहून नेणे आणि समर्थन: क्षैतिज SiC वेफर बोट मुख्यतः सेमीकंडक्टर उत्पादनादरम्यान सिलिकॉन वेफर्स वाहून नेण्यासाठी आणि समर्थन देण्यासाठी वापरली जाते. संपूर्ण प्रक्रिया प्रक्रियेदरम्यान ते चांगल्या स्थितीत आणि स्थिरतेमध्ये राहतील याची खात्री करण्यासाठी ते अनेक सिलिकॉन वेफर्स एकत्र व्यवस्थितपणे व्यवस्थित करू शकतात.

एकसमान हीटिंग आणि कूलिंग: SiC च्या उच्च थर्मल चालकतेमुळे, वेफर बोट सर्व सिलिकॉन वेफर्समध्ये समान रीतीने उष्णता वितरीत करू शकते. हे उच्च-तापमान प्रक्रियेदरम्यान सिलिकॉन वेफर्सचे एकसमान गरम किंवा थंड होण्यास मदत करते, प्रक्रिया प्रक्रियेची सुसंगतता आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करते.

दूषितपणा प्रतिबंधित करा: एसआयसीची रासायनिक स्थिरता यामुळे उच्च-तापमान आणि संक्षारक वायू वातावरणात चांगले प्रदर्शन करण्यास सक्षम करते, ज्यामुळे सिलिकॉन वेफर्सचे संभाव्य दूषित पदार्थ किंवा रिएक्टंट्सचे प्रदर्शन कमी होते, ज्यामुळे सिलिकॉन वेफर्सची शुद्धता आणि गुणवत्ता सुनिश्चित होते.

खरं तर, क्षैतिज SiC वेफर बोट त्याच्या अद्वितीय उत्पादन वैशिष्ट्यांमुळे वरील भूमिका बजावू शकते:

उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता: SiC सामग्रीमध्ये विविध रासायनिक माध्यमांना उत्कृष्ट गंज प्रतिकार असतो. संक्षारक वायू किंवा द्रवपदार्थांवर प्रक्रिया करण्याच्या प्रक्रियेत, SiC वेफर बोट रासायनिक गंजांना प्रभावीपणे प्रतिकार करू शकते आणि सिलिकॉन वेफर्सचे दूषित किंवा नुकसान होण्यापासून संरक्षण करू शकते.

उच्च थर्मल चालकता: SiC ची उच्च थर्मल चालकता वाहक प्रक्रियेत उष्णता समान रीतीने वितरित करण्यास आणि उष्णता संचय कमी करण्यास मदत करते. हे अचूक प्रक्रियेदरम्यान तापमान नियंत्रणाची अचूकता सुधारू शकते आणि सिलिकॉन वेफर्स एकसमान गरम करणे किंवा थंड करणे सुनिश्चित करू शकते.

कमी थर्मल विस्तार गुणांक: एसआयसी मटेरियलचा कमी थर्मल विस्तार गुणांक म्हणजे तापमान बदल दरम्यान एसआयसी वेफर बोटचा आयामी बदल खूपच कमी असतो. हे उच्च-तापमान प्रक्रियेदरम्यान आयामी स्थिरता राखण्यास मदत करते आणि थर्मल विस्तारामुळे उद्भवणार्‍या सिलिकॉन वेफर्सचे विकृती किंवा स्थितीत विस्थापन प्रतिबंधित करते.

क्षैतिज sic वेफर कॅरियरचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म:

VeTek सेमीकंडक्टर उत्पादन दुकान:

सेमीकंडक्टर चिप एपिटॅक्सी उद्योग साखळीचे विहंगावलोकन: