सॉलिड सिलिकॉन कार्बाईडचा वापर

सॉलिड सिलिकॉन कार्बाईड एसआयसी ही एक प्रगत सिरेमिक सामग्री आहे जी सिलिकॉन (एसआय) आणि कार्बन (सी) ची बनलेली आहे. हे निसर्गात मोठ्या प्रमाणात आढळणारे पदार्थ नाही आणि सामान्यत: उच्च-तापमान संश्लेषण आवश्यक असते. भौतिक आणि रासायनिक गुणधर्मांचे त्याचे अद्वितीय संयोजन ही एक महत्त्वाची सामग्री बनवते जी अत्यंत वातावरणात चांगली कामगिरी करते, विशेषत: सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये.

Ⅰ? सॉलिड सिलिकॉन कार्बाईडचे की भौतिक गुणधर्म (सॉलिड एसआयसी)

▶ उच्च कडकपणा आणि परिधान प्रतिकार:

एसआयसीमध्ये सुमारे 9-9.5 ची एमओएचएस कठोरता आहे, जी डायमंडच्या दुसर्‍या क्रमांकावर आहे. हे त्यास उत्कृष्ट स्क्रॅच आणि पोशाख प्रतिकार देते आणि हे अशा वातावरणात चांगले कार्य करते ज्यास यांत्रिक तणाव किंवा कण इरोशनचा प्रतिकार करणे आवश्यक आहे.

▶ उत्कृष्ट उच्च-तापमान शक्ती आणि स्थिरता

1. एसआयसी अत्यंत उच्च तापमानात (त्याची यांत्रिक सामर्थ्य आणि स्ट्रक्चरल अखंडता (प्रकार आणि शुद्धतेवर अवलंबून 1600 डिग्री सेल्सिअस तापमानात किंवा त्याहून अधिक तापमानात कार्यरत आहे) राखू शकते.

२. थर्मल विस्ताराचे त्याचे कमी गुणांक म्हणजे त्यात चांगले आयामी स्थिरता असते आणि तापमानात मोठ्या प्रमाणात बदल झाल्यास विकृती किंवा क्रॅक होण्याची शक्यता नसते.

▶ उच्च थर्मल चालकता:

इतर बर्‍याच सिरेमिक सामग्रीप्रमाणे, एसआयसीमध्ये तुलनेने उच्च थर्मल चालकता असते. हे यामुळे उष्णता कार्यक्षमतेने आयोजित करण्यास आणि नष्ट करण्यास अनुमती देते, जे अचूक तापमान नियंत्रण आणि एकसारखेपणा आवश्यक असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी गंभीर आहे.

उत्कृष्ट रासायनिक जडत्व आणि गंज प्रतिकार:

एसआयसी बहुतेक मजबूत ids सिडस्, मजबूत तळ आणि सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये सामान्यतः वापरल्या जाणार्‍या संक्षारक वायूंचा (जसे की प्लाझ्मा वातावरणात फ्लोरिन-आधारित आणि क्लोरीन-आधारित वायू) अत्यंत तीव्र प्रतिकार दर्शवितो, अगदी उच्च तापमानात. प्रक्रिया चेंबरचे घटक कॉर्डेड किंवा दूषित होण्यापासून प्रतिबंधित करण्यासाठी हे गंभीर आहे.

High उच्च शुद्धतेची संभाव्यता:

अत्यंत उच्च शुद्धता एसआयसी कोटिंग्ज किंवा सॉलिड एसआयसी भाग विशिष्ट उत्पादन प्रक्रियेद्वारे तयार केले जाऊ शकतात (जसे की रासायनिक वाष्प जमा - सीव्हीडी). सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये, भौतिक शुद्धता थेट वेफरच्या दूषिततेच्या पातळीवर आणि अंतिम उत्पादनाच्या उत्पन्नावर परिणाम करते.

▶ उच्च कडकपणा (यंगचे मॉड्यूलस):

एसआयसीमध्ये उच्च यंगचे मॉड्यूलस आहे, याचा अर्थ असा आहे की ते खूप कठीण आहे आणि लोड अंतर्गत विकृत करणे सोपे नाही. तंतोतंत आकार आणि आकार (जसे की वेफर कॅरियर) राखण्यासाठी आवश्यक असलेल्या घटकांसाठी हे खूप महत्वाचे आहे.

▶ ट्यूनबल इलेक्ट्रिकल गुणधर्म:

जरी हे बर्‍याचदा इन्सुलेटर किंवा सेमीकंडक्टर म्हणून वापरले जाते (त्याच्या क्रिस्टल फॉर्म आणि डोपिंगवर अवलंबून), त्याची उच्च प्रतिरोधकता प्लाझ्मा वर्तन व्यवस्थापित करण्यास किंवा काही घटक अनुप्रयोगांमध्ये अनावश्यक कंस स्त्राव रोखण्यास मदत करते.

Ⅱ? सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये सॉलिड सिलिकॉन कार्बाईड (सॉलिड एसआयसी) तयार केलेल्या उत्पादनांचे विशिष्ट अनुप्रयोग आणि फायदे

वरील भौतिक गुणधर्मांच्या आधारे, सॉलिड एसआयसी विविध अचूक घटकांमध्ये तयार केले जाते आणि सेमीकंडक्टर फ्रंट-एंड प्रक्रियेच्या एकाधिक की दुव्यांमध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरले जाते.

1) सॉलिड सिक वेफर कॅरियर (सॉलिड सिक वेफर कॅरियर / बोट):

अनुप्रयोग:

उच्च-तापमान प्रक्रियेत सिलिकॉन वेफर्स वाहून नेण्यासाठी आणि हस्तांतरित करण्यासाठी वापरले जाते (जसे की प्रसार, ऑक्सिडेशन, एलपीसीव्हीडी-कमी-दाब रासायनिक वाष्प जमा).

फायदे विश्लेषण:

१. उच्च तापमान स्थिरता: प्रक्रिया तापमान १००० डिग्री सेल्सिअसपेक्षा जास्त, एसआयसी कॅरियर क्वार्ट्जइतके सहजपणे मऊ, विकृत किंवा झेप घेणार नाहीत आणि प्रक्रिया एकरूपता सुनिश्चित करण्यासाठी वेफर स्पेसिंग अचूकपणे राखू शकतात.

२. दीर्घ आयुष्य आणि कमी कण निर्मिती: एसआयसीची कडकपणा आणि पोशाख प्रतिकार क्वार्ट्जपेक्षा जास्त आहे आणि वेफर्सला दूषित करण्यासाठी लहान कण तयार करणे सोपे नाही. त्याचे सेवा आयुष्य सहसा क्वार्ट्ज वाहकांपेक्षा बर्‍याच वेळा किंवा डझनभर वेळा असते, बदलण्याची वारंवारता आणि देखभाल खर्च कमी करते.

3. रासायनिक जडत्व: ते प्रक्रियेच्या वातावरणात रासायनिक धूप प्रतिकार करू शकते आणि त्याच्या स्वत: च्या सामग्रीच्या पर्जन्यवृष्टीमुळे उद्भवलेल्या वेफरचे दूषितपणा कमी करू शकते.

.

5. उच्च शुद्धता: अशुद्धता नियंत्रणासाठी प्रगत नोड्सच्या कठोर आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी उच्च-शुद्धता एसआयसी वाहक तयार केले जाऊ शकतात.

वापरकर्त्याचे मूल्य:

प्रक्रिया स्थिरता सुधारित करा, उत्पादनाचे उत्पन्न वाढवा, घटक अपयशामुळे किंवा दूषिततेमुळे होणारे डाउनटाइम कमी करा आणि दीर्घकाळ मालकीची एकूण किंमत कमी करा.

२) सॉलिड एसआयसी डिस्क-आकाराचे / गॅस शॉवर हेड:

अनुप्रयोग:

प्लाझ्मा एचिंग, केमिकल वाफ डिपॉझिशन (सीव्हीडी), अणु थर जमा (एएलडी) इत्यादीसारख्या उपकरणांच्या रिएक्शन चेंबरच्या शीर्षस्थानी स्थापित, खाली असलेल्या वेफर पृष्ठभागावर समान प्रमाणात प्रक्रिया वायू वितरित करण्यासाठी जबाबदार.

फायदा विश्लेषण:

१. प्लाझ्मा सहिष्णुता: उच्च-उर्जा, रासायनिक सक्रिय प्लाझ्मा वातावरणात, एसआयसी शॉवर हेड प्लाझ्मा बोंबाबोंब आणि रासायनिक गंजला अत्यंत तीव्र प्रतिकार दर्शविते, जे क्वार्ट्ज किंवा एल्युमिनापेक्षा श्रेष्ठ आहे.

२. एकरूपता आणि स्थिरता: सुस्पष्टता-मशीन्ड एसआयसी शॉवर हेड हे सुनिश्चित करू शकते की गॅसचा प्रवाह संपूर्ण वेफर पृष्ठभागावर समान रीतीने वितरित केला गेला आहे, जो चित्रपटाची जाडी, रचना एकरूपता किंवा एचिंग रेटच्या एकसमानतेसाठी गंभीर आहे. त्यात चांगली दीर्घकालीन स्थिरता आहे आणि विकृत करणे किंवा चिकटविणे सोपे नाही.

3. थर्मल मॅनेजमेंट: चांगली थर्मल चालकता शॉवरहेड पृष्ठभागावर तापमान एकरूपता राखण्यास मदत करते, जे बर्‍याच उष्णता-संवेदनशील जमा किंवा एचिंग प्रक्रियेसाठी गंभीर आहे.

4. कमी दूषित होणे: उच्च शुद्धता आणि रासायनिक जडत्व प्रक्रियेमध्ये शॉवरहेडच्या स्वतःच्या सामग्रीचे दूषितपणा कमी करते.

वापरकर्त्याचे मूल्य:

प्रक्रियेच्या निकालांची एकरूपता आणि पुनरावृत्ती सुधारणे, शॉवरहेडची सेवा जीवन वाढवा, देखभाल वेळ आणि कण समस्या कमी करा आणि अधिक प्रगत आणि अधिक कठोर प्रक्रियेच्या परिस्थितीस समर्थन द्या.

3) सॉलिड एसआयसी एचिंग फोकसिंग रिंग (सॉलिड एसआयसी एचिंग फोकसिंग रिंग / एज रिंग):

अनुप्रयोग:

मुख्यतः प्लाझ्मा एचिंग उपकरणांच्या चेंबरमध्ये (जसे की कॅपेसिटिव्हली युग्मित प्लाझ्मा सीसीपी किंवा इंडक्टिव्हली युग्मित प्लाझ्मा आयसीपी इचर), सामान्यत: वेफर कॅरियर (चक) च्या काठावर ठेवलेले, वेफरच्या सभोवताल. त्याचे कार्य प्लाझ्माला प्रतिबंधित करणे आणि मार्गदर्शन करणे आहे जेणेकरून ते चेंबरच्या इतर घटकांचे संरक्षण करताना वेफर पृष्ठभागावर अधिक समान रीतीने कार्य करेल.

फायदा विश्लेषण:

1. प्लाझ्मा इरोशनला तीव्र प्रतिकार: एसआयसी फोकसिंग रिंगचा हा सर्वात प्रमुख फायदा आहे. अत्यंत आक्रमक एचिंग प्लाझ्मामध्ये (जसे फ्लोरिन- किंवा क्लोरीन असलेली रसायने), एसआयसी क्वार्ट्ज, एल्युमिना किंवा अगदी यट्रिया (यट्रियम ऑक्साईड) पेक्षा खूपच हळू घालते आणि त्याचे दीर्घ आयुष्य आहे.

२. गंभीर परिमाण राखणे: उच्च कडकपणा आणि उच्च कडकपणा एसआयसी फोकसिंग रिंग्जला दीर्घकाळ वापरात त्यांचे अचूक आकार आणि आकार अधिक चांगल्या प्रकारे राखण्यास अनुमती देते, जे प्लाझ्मा मॉर्फोलॉजी स्थिर करण्यासाठी आणि एचिंग एकरूपता सुनिश्चित करण्यासाठी गंभीर आहे.

3. कमी कण पिढी: त्याच्या पोशाख प्रतिकारांमुळे, घटक वृद्धत्वाद्वारे व्युत्पन्न केलेले कण मोठ्या प्रमाणात कमी करते, ज्यामुळे उत्पन्न सुधारते.

4. उच्च शुद्धता: धातू किंवा इतर अशुद्धींचा परिचय टाळा.

वापरकर्त्याचे मूल्य:

घटक बदलण्याची चक्र मोठ्या प्रमाणात वाढवा, देखभाल खर्च आणि उपकरणे डाउनटाइम लक्षणीय प्रमाणात कमी करा; एचिंग प्रक्रियेची स्थिरता आणि पुनरावृत्ती सुधारणे; दोष कमी करा आणि उच्च-अंत चिप मॅन्युफॅक्चरिंगचे उत्पन्न सुधारित करा.

Ⅲ.सारांश

भौतिक गुणधर्मांच्या अद्वितीय संयोजनामुळे - उच्च कडकपणा, उच्च वितळण्याचे बिंदू, उच्च थर्मल चालकता, उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता आणि गंज प्रतिकार यामुळे आधुनिक सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमधील सॉलिड सिलिकॉन कार्बाईड एक अपरिहार्य की सामग्री बनली आहे. ते वेफर्स वाहून नेण्यासाठी कॅरियर असो, गॅस वितरण नियंत्रित करण्यासाठी शॉवर हेड किंवा प्लाझ्मा मार्गदर्शन करण्यासाठी फोकसिंग रिंग, सॉलिड एसआयसी उत्पादने चिप उत्पादकांना त्यांच्या उत्कृष्ट कामगिरी आणि विश्वासार्हतेसह वाढत्या कठोर प्रक्रियेच्या आव्हानांचा सामना करण्यास मदत करतात, उत्पादन कार्यक्षमता आणि उत्पादनांचे उत्पादन सुधारतात आणि अशा प्रकारे संपूर्ण अर्धवट उद्योगाच्या शाश्वत विकासास प्रोत्साहित करतात.

चीनमधील सॉलिड सिलिकॉन कार्बाईड उत्पादनांचे अग्रगण्य निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून,सेमीकॉनची उत्पादने अशी उत्पादनेसॉलिड सिक वेफर कॅरियर / बोट, सॉलिड एसआयसी डिस्क-आकाराचे / गॅस शॉवर हेड, सॉलिड sic एचिंग फोकसिंग रिंग / एज रिंगयुरोप आणि अमेरिकेत मोठ्या प्रमाणात विकले जातात आणि या ग्राहकांकडून उच्च स्तुती आणि मान्यता जिंकली आहे. आम्ही चीनमधील आपला दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी प्रामाणिकपणे उत्सुक आहोत. सल्लामसलत मध्ये आपले स्वागत आहे.

मॉब/व्हाट्सएप: +86-180 6922 0752

ईमेल: any@vetekesemi.com