सॉलिड एसआयसी डिस्क-आकाराचे शॉवर हेड

सीव्हीडी प्रक्रियेमध्ये सॉलिड एसआयसी डिस्क-आकाराच्या शॉवर हेडची भूमिका म्हणजे जमा क्षेत्राच्या वरील प्रतिक्रिया गॅस समान रीतीने वितरित करणे जेणेकरून सपाट आणि एकसमान चित्रपट मिळविण्यासाठी गॅस संपूर्ण अणुभट्टीमध्ये समान रीतीने विखुरला जाऊ शकेल.

सॉलिड एसआयसी शॉवर हेड सीव्हीडी फर्नेसच्या शीर्षस्थानी किंवा गॅस इनलेटजवळ सेट केले आहे. रिएक्शन गॅस शॉवरच्या डोक्यावर वितरित केलेल्या छिद्रांमधून डिस्क-आकाराच्या संरचनेत प्रवेश करते आणि शॉवरच्या डोक्याच्या पृष्ठभागावर पसरते. एकाधिक चॅनेल डिझाइनद्वारे आणि समान रीतीने वितरित आउटलेट्सद्वारे, प्रतिक्रिया वायू संपूर्ण अणुभट्टी क्षेत्रात समान रीतीने वाहू शकते, एकाग्रता किंवा अशांतता टाळणे आणि थरात जमा केलेल्या थर जाडीची सुसंगतता सुनिश्चित करते.

त्याच वेळी, सेमीकंडक्टर डिस्क शेप शॉवर हेडची रचना देखील एक प्रसार प्रभाव आहे, ज्यामुळे गॅसचा प्रवाह दर प्रभावीपणे कमी होऊ शकतो, जेणेकरून ते नोजल आउटलेटमध्ये समान रीतीने विखुरले जाऊ शकते आणि जमा होण्याच्या परिणामावरील स्थानिक गॅस प्रवाहातील बदलांचा प्रभाव कमी करू शकतो. हे सब्सट्रेटवर थेट गॅस प्रभाव टाळण्यास आणि असमान ठेवण्याची समस्या टाळण्यास मदत करते.

सामग्रीच्या दृष्टीकोनातून, सॉलिड एसआयसी गॅस शॉवर हेड उच्च-तापमान प्रतिरोधक, गंज-प्रतिरोधक आणि अत्यंत उच्च स्थिरतेसह उच्च-सामर्थ्यवान सॉलिड एसआयसी सामग्रीपासून बनलेले आहे. हे सीव्हीडी फर्नेसमध्ये बर्‍याच काळासाठी स्थिरपणे कार्य करू शकते आणि एक दीर्घ सेवा आयुष्य आहे.

वेटेक सेमीकंडक्टर उच्च-गुणवत्तेच्या सानुकूलित सेवा प्रदान करते. सॉलिड एसआयसी डिस्क-आकाराच्या शॉवर हेडचे आकार आणि छिद्र लेआउट ग्राहकांच्या प्रक्रियेच्या आवश्यकतेनुसार भिन्न गॅस प्रकार, प्रवाह दर आणि जमा सामग्रीशी जुळवून घेण्यासाठी लवचिकपणे समायोजित केले जाऊ शकते. वेगवेगळ्या आकाराच्या अणुभट्ट्या किंवा सब्सट्रेट आकारांसाठी, गॅस वितरण परिणामास अनुकूल करण्यासाठी भिन्न व्यास आणि छिद्र वितरणासह डिस्क-आकाराचे शॉवर हेड सानुकूलित केले जाऊ शकतात.

वेटेक सेमीकंडक्टरकडे सॉलिड एसआयसी सेमीकंडक्टर शॉवर हेड उत्पादनांसाठी परिपक्व प्रक्रिया आणि प्रगत तंत्रज्ञान आहे, जे मोठ्या संख्येने ग्राहकांना सीव्हीडी प्रक्रियेत सतत प्रगती करण्यास मदत करतात. वेटेक सेमीकंडक्टर चीनमधील आपला दीर्घकालीन भागीदार होण्यास उत्सुक आहे.

घन sic चे भौतिक गुणधर्म

हे सेमीकंडक्टरसॉलिड एसआयसी डिस्क-आकाराचे शॉवर हेड प्रॉडक्शन शॉप्स